公开(公告)号：CN116852339A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202311072208.X

申请日：2023-08-24

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 焦子洋 ,  杨琦 ,  刘恩龙 ,  武一鸣 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  古市昌稔 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  周伟强 ,  王贺明 ,  贾豪 ,  李家璇 ,  西超博 ,  苗义 ,  朱骏驰 ,  王晨旭 ,  张文磊 ,  徐圳

IPC分类号： B25J9/00

摘要： 一种不等臂长的双臂机械手，包括本体、左手臂、右手臂，所述本体包括绕旋转轴同轴设置的左臂伸缩驱动轴、右臂伸缩驱动轴和手臂旋转驱动轴；所述本体内的所述左臂伸缩驱动轴、所述右伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴以轴套轴的结构将所述本体内驱动单元的旋转运动传递到所述左手臂和所述的右手臂，实现所述左手臂和所述右手臂的伸缩和旋转运动，在所述左手大臂和左手小臂臂长不等时，或右手大臂和右手小臂臂长不等时，大臂和小臂传动副各带轮的传动比按推算出来的公式进行计算，不仅可以实现对单个工位和双工位进行晶圆取放片功能，还可以实现对水平间距可调、跨度大且存在高度差两工位晶圆的传输。

公开(公告)号：CN116852330A

公开(公告)日：2023-10-10

申请号：CN202311106929.8

申请日：2023-08-30

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 王贺明 ,  刘恩龙 ,  杨琦 ,  武一鸣 ,  中岛隆志 ,  古市昌稔 ,  川辺哲也 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  周伟强 ,  张菊 ,  贾豪 ,  李家璇 ,  焦子洋 ,  西超博 ,  苗义 ,  朱骏驰 ,  王晨旭 ,  张文磊

IPC分类号： B25J5/02 ,  B25J11/00 ,  B25J18/00

摘要： 本发明提供了一种变轨伸缩机械臂组、半导体晶圆双臂搬运机器人，其中该变轨伸缩机械臂组，包括：基座，直线交替驱动装置，一对呈镜像结构的末端执行器单元，其中直线交替驱动装置横向设置在基座上，各末端执行器单元分别与直线交替驱动装置的传动端连接并呈镜像位设置，所述基座上对应各所述末端执行器单元的位置处分别设有导槽，各所述末端执行器单元分别与导槽配接，以经导槽引导，沿直线交替驱动装置传动方向变轨，促使双臂交替外伸时令末端执行器单元逐渐汇入双臂间中心线航道、回退时双臂于交汇处相互避让，籍此以替代Scara双臂机器人，实现晶圆搬运工序中的搬运动作。