公开(公告)号：CN117198978A

公开(公告)日：2023-12-08

申请号：CN202311206642.2

申请日：2023-09-19

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 王贺明 ,  刘恩龙 ,  杨琦 ,  武一鸣 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  周伟强 ,  张菊 ,  贾豪 ,  李家璇 ,  焦子洋 ,  西超博 ,  方指东 ,  苗义 ,  朱骏驰 ,  王晨旭 ,  张文磊 ,  徐圳

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L21/677

摘要： 本发明公开了一种间距可变的晶圆搬运器，包括：沿着第一方向堆叠设置M个末端手指，末端手指的前端设置有晶圆放置位，末端手指的后端滑动安装在限位导轨中；末端手指远离晶圆放置位的一端还设置有凸轮；凸轮槽板位于所述凸轮远离末端手指的一侧，凸轮槽板中设置有M个不平行设置的凸轮滑槽，凸轮一一对应位于凸轮滑槽内部；驱动件连接凸轮滑槽；驱动件带动凸轮滑槽沿着第二方向滑动时，凸轮带动对应的末端手指同时沿着限位导轨和对应的凸轮滑槽滑动，使得相邻的末端手指之间的间距变化。本发明通过限位滑轨和凸轮滑槽同时限定末端手指的移动轨迹，以实现末端手指的平稳精准变距，进而适配不同尺寸的晶圆存储单元。

公开(公告)号：CN117067243A

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202311247425.8

申请日：2023-09-26

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 李家璇 ,  刘恩龙 ,  杨琦 ,  武一鸣 ,  中岛隆志 ,  古市昌稔 ,  川辺哲也 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  周伟强 ,  张菊 ,  贾豪 ,  王贺明 ,  焦子洋 ,  西超博 ,  苗义 ,  朱骏驰 ,  王晨旭 ,  张文磊

IPC分类号： B25J15/00 ,  B25J11/00

摘要： 本公开的实施例提供了一种用于晶圆传输系统的机器人末端执行器，适用于高温环境，所述机器人末端执行器包括手臂转接单元和手指单元，其中，所述手臂转接单元连接在所述机器人的手臂和所述手指单元之间；以及所述手指单元，所述手指单元由陶瓷材料一体成型并包括手掌部分和手指，其中，所述手掌部分连接所述手臂转接单元，所述手掌部分上固定有一个吸附式石英垫，所述手指从所述手掌部分向外延伸，所述手指远离所述手掌部分的一端设置有石英支撑垫。还提供了一种用于晶圆传输系统的机器人。

公开(公告)号：CN116852339B

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202311072208.X

申请日：2023-08-24

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 焦子洋 ,  杨琦 ,  刘恩龙 ,  武一鸣 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  古市昌稔 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  周伟强 ,  王贺明 ,  贾豪 ,  李家璇 ,  西超博 ,  苗义 ,  朱骏驰 ,  王晨旭 ,  张文磊 ,  徐圳

IPC分类号： B25J9/00

摘要： 一种不等臂长的双臂机械手，包括本体、左手臂、右手臂，所述本体包括绕旋转轴同轴设置的左臂伸缩驱动轴、右臂伸缩驱动轴和手臂旋转驱动轴；所述本体内的所述左臂伸缩驱动轴、所述右伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴以轴套轴的结构将所述本体内驱动单元的旋转运动传递到所述左手臂和所述的右手臂，实现所述左手臂和所述右手臂的伸缩和旋转运动，在所述左手大臂和左手小臂臂长不等时，或右手大臂和右手小臂臂长不等时，大臂和小臂传动副各带轮的传动比按推算出来的公式进行计算，不仅可以实现对单个工位和双工位进行晶圆取放片功能，还可以实现对水平间距可调、跨度大且存在高度差两工位晶圆的传输。

公开(公告)号：CN117067193B

公开(公告)日：2024-08-27

申请号：CN202311206643.7

申请日：2023-09-19

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 西超博 ,  杨琦 ,  焦子洋 ,  刘恩龙 ,  武一鸣 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  古市昌稔 ,  代国俊 ,  张平 ,  周伟强 ,  王贺明 ,  贾豪 ,  李家璇 ,  曲泉铀 ,  苗义 ,  朱骏驰 ,  王晨旭 ,  张文磊 ,  徐圳

IPC分类号： B25J9/10 ,  B25J9/14 ,  H01L21/677

摘要： 一种基于磁流体的防抖动型同心两轴真空机器人传动结构，包括机器人手臂组件、磁流体组件、传动组件和丝杆螺母连接件；传动组件设置在所述磁流体组件的底部，传动组件底端与丝杆螺母连接件固定连接；磁流体组件包括磁流体外轴和磁流体内轴；传动组件包括伺服电机一和内轴连接件；当伺服电机一通过谐波减速机二带动磁流体外轴旋转时，磁流体内轴和磁流体外轴同时旋转时，机器人手臂组件做旋转运动。因此，本发明通过一个伺服电机控制机器人手臂的旋转，有效避免了多电机同步运动时造成的抖动问题，减少了晶圆在搬运过程中的脱落风险。

公开(公告)号：CN117293054A

公开(公告)日：2023-12-26

申请号：CN202311138096.3

申请日：2023-09-05

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 王贺明 ,  刘恩龙 ,  杨琦 ,  武一鸣 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  周伟强 ,  张菊 ,  贾豪 ,  李家璇 ,  焦子洋 ,  西超博 ,  程宇俊 ,  方指东 ,  苗义 ,  朱骏驰 ,  王晨旭 ,  张文磊 ,  徐圳

IPC分类号： H01L21/67 ,  G01N21/01 ,  H01L21/66

摘要： 本发明公开了一种耐高温的晶圆在位检测装置，其特征在于，包括末端手指和末端手臂；所述末端手臂的一端固定在机械臂中，另一端固定连接末端手指；所述末端手指的表面设置有晶圆放置位；所述末端手指内部设置有检测组件，所述检测组件的末端设置有导光孔，且所述导光孔位于所述晶圆放置位所在的表面。本发明提供的一种耐高温的晶圆在位检测装置及方法，将检测组件内置于末端手指内部，并通过导光孔将检测组件的信号引出，使得现有的检测组件能够适用于高温工艺，提高了高温工艺下晶圆在位检测的效率。

公开(公告)号：CN117116843A

公开(公告)日：2023-11-24

申请号：CN202311138049.9

申请日：2023-09-05

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  张菊 ,  武一鸣 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  王贺明 ,  李家璇 ,  周伟强 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  贾豪 ,  焦子洋 ,  西超博 ,  方指东 ,  程宇骏

IPC分类号： H01L21/687 ,  H01L21/677 ,  H01L21/67

摘要： 本发明公开了一种兼容型的晶圆夹持搬运装置，包括：末端手指和末端手臂，所述末端手指固定在末端手臂中；所述末端手臂包括固定组件和移动组件，所述固定组件固定在末端手臂中，所述移动组件滑动设置在固定组件中，所述移动组件中设置有晶圆紧固件；当末端手指中晶圆尺寸不同时，所述移动组件移动至移动组件不同位置处实现不同尺寸晶圆的夹持。本发明的目的在于提供一种兼容型的晶圆夹持搬运装置和方法，能够实现多种尺寸晶圆的夹持搬运，兼容性强，调节方便。

公开(公告)号：CN117067189A

公开(公告)日：2023-11-17

申请号：CN202311256641.9

申请日：2023-09-27

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  张菊 ,  武一鸣 ,  张平 ,  曲泉铀 ,  王贺明 ,  李家璇 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  西超博 ,  焦子洋

IPC分类号： B25J9/00 ,  B25J19/00

摘要： 一种可实现手臂升降的晶圆传输机械手，包括本体单元、支撑大臂单元、支撑小臂单元、下升降臂单元、上升降臂单元、下末端执行器单元和上末端执行器单元；其中，所述支撑大臂单元可旋转且上下升降地固定在所述本体单元上；所述支撑小臂单元可旋转固定在所述支撑大臂单元上，并随着所述支撑大臂单元共同做上下升降运动，所述下升降臂单元和所述上升降臂单元可旋转且上下升降地固定在所述支撑小臂单元的升降轴上，所述下末端执行器单元和上末端执行器单元分别可旋转地固定在下升降臂单元和上升降臂单元上。因此，本发明不仅可以实现对单个工位和双工位进行晶圆取放片功能，还可以实现对水平间距可调、跨度大且存在高度差两工位晶圆的传输。

公开(公告)号：CN117116817B

公开(公告)日：2024-10-29

申请号：CN202311228991.4

申请日：2023-09-22

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  杨琦 ,  王贺明 ,  武一鸣 ,  张菊 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  李家璇 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  焦子洋 ,  西超博

IPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/687 ,  H01L21/677

摘要： 本发明公开了一种尺寸兼容的晶圆缓存装置，包括M个承载支柱，且M个承载支柱均匀间隔分布以围成圆形，承载支柱朝向圆心的一侧沿着承载支柱的延伸方向设置有若干个晶圆支撑块15；M个直线导轨，一一对应位于所述承载支柱的端部，且所述直线导轨的一端位于承载支柱所围成的圆心位置处，另一端朝着圆形边缘延伸；驱动件，带动M个承载支柱沿着对应的直线导轨同步移动。本发明提供的一种尺寸兼容的晶圆缓存装置，通过调整承载支柱之间的距离使得承载支柱上的晶圆支撑块能够缓存不同尺寸的晶圆，本申请结构简单，尺寸调节快捷且精准，提高了不同尺寸晶圆缓存的效率和兼容性。

公开(公告)号：CN117174627B

公开(公告)日：2024-10-22

申请号：CN202311228992.9

申请日：2023-09-22

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 刘恩龙 ,  武一鸣 ,  杨琦 ,  张菊 ,  王贺明 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  李家璇 ,  中岛隆志 ,  川辺哲也 ,  焦子洋 ,  西超博

IPC分类号： H01L21/673 ,  H01L21/687 ,  H01L21/677

摘要： 本发明公开了一种兼容型的晶圆缓存装置，包括：M个承载支柱，且M个承载支柱均匀间隔分布以围成圆形，承载支柱朝向圆心的一侧沿着承载支柱的延伸方向设置有若干个晶圆支撑块；位于承载支柱外侧的推杆，所述推杆的固定端与承载支柱转动连接，所述推杆的活动端连接第一驱动件；所述推杆中设置有与晶圆支撑块一一固定连接的限位块；所述第一驱动件带动推杆沿着固定端旋转。本发明提供的一种兼容型的晶圆缓存装置，通过调整承载支柱中晶圆支撑块的距离，实现不同场景下的晶圆缓存，本申请结构简单，尺寸调节快捷且精准，提高了不同尺寸晶圆缓存的效率和兼容性。

公开(公告)号：CN116834046A

公开(公告)日：2023-10-03

申请号：CN202311106868.5

申请日：2023-08-30

申请人： 上海广川科技有限公司

发明人： 王贺明 ,  武一鸣 ,  杨琦 ,  刘恩龙 ,  中岛隆志 ,  古市昌稔 ,  川辺哲也 ,  曲泉铀 ,  张平 ,  周伟强 ,  张菊 ,  贾豪 ,  李家璇 ,  焦子洋 ,  西超博 ,  苗义 ,  朱骏驰 ,  王晨旭 ,  张文磊

IPC分类号： B25J15/00 ,  B25J17/00 ,  B25J11/00 ,  B25J18/00

摘要： 本发明提供了一种自调节定位销及末端执行器、FOUP搬运机器人，其中自调节定位销包括：基座，平移单元，伸缩定位单元，其中该基座顶部开口并设有内腔，以供在容纳平移单元的同时，为平移单元在基座内腔中留有水平位移空间，其中所述伸缩定位单元设置在平移单元上，并至少部分容纳在基座内腔中，且所述伸缩定位单元的销柱端常态下伸出基座顶部开口，其中所述伸缩定位单元的销柱端呈弹性伸缩状，以当销柱端经FOUP底面销孔引导其水平位移，以同轴对准并继续下压后，可压迫销柱退缩，令其底端抵住基座内腔底面，从而同步形成水平位移后的位置固定。籍此以自调节末端执行器上定位销的位置，消除与各FOUP底面销孔的位置偏差，并固定位置。