-
公开(公告)号：CN116978846B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202311165095.8
申请日：2023-09-11
申请人： 上海广川科技有限公司
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/683 , H01L21/687
摘要： 一种带缓存工位的晶圆校正器，包括两个晶圆支架组件、OCR组件、控制器和晶圆吸附&旋转组件；晶圆支架组件的上表面为上层晶圆放置工位，用于缓存等待校正的晶圆，两个晶圆支架组件对称设置于晶圆吸附&旋转组件的两侧；晶圆吸附&旋转组件包括在晶圆进行校正时提供旋转运动旋转伺服、调整前后位置的吸盘直线模组及吸附固定晶圆的晶圆吸盘，晶圆吸盘为下层晶圆放置工位，并载着晶圆进行前后运行；OCR组件用于实时采集晶圆边缘的轮廓信息，并实时上传控制器；控制器根据下层晶圆放置工位实时的轮廓信息及旋转运动旋转伺服的实时位置，计算晶圆偏心量以及晶圆缺口特征的位置。本发明通过新增缓存工位，增加了晶圆的取放数量，还提升晶圆传输的效率。
-
公开(公告)号：CN117621105A
公开(公告)日：2024-03-01
申请号：CN202311791404.2
申请日：2023-12-25
申请人： 上海广川科技有限公司
摘要： 本公开的实施例提供了一种抗腐蚀真空机器人，包括：导轨底座；滚珠丝杠，安装在所述导轨底座上；第一中空轴，套设在滚珠丝杠上，并可以沿所述滚珠丝杠移动；第一转接轴，套设在第一中空轴上；以及第一电动马达，包括第一定子、第一转子以及第一壳体，所述第一转子套设固定在第一转接轴上，所述第一定子固定在所述第一壳体上并与所述第一转子相对，所述第一壳体通过第一轴承固定在第一转接轴上；其中，所述抗腐蚀真空机器人还包括第一迷宫结构，所述第一迷宫结构设置在所述第一电动马达上，并与所述第一转接轴、所述第一壳体配合，密封设置在所述第一壳体内的第一定子和第一转子。
-
公开(公告)号：CN116834046A
公开(公告)日：2023-10-03
申请号：CN202311106868.5
申请日：2023-08-30
申请人： 上海广川科技有限公司
发明人： 王贺明 , 武一鸣 , 杨琦 , 刘恩龙 , 中岛隆志 , 古市昌稔 , 川辺哲也 , 曲泉铀 , 张平 , 周伟强 , 张菊 , 贾豪 , 李家璇 , 焦子洋 , 西超博 , 苗义 , 朱骏驰 , 王晨旭 , 张文磊
摘要： 本发明提供了一种自调节定位销及末端执行器、FOUP搬运机器人，其中自调节定位销包括：基座，平移单元，伸缩定位单元，其中该基座顶部开口并设有内腔，以供在容纳平移单元的同时，为平移单元在基座内腔中留有水平位移空间，其中所述伸缩定位单元设置在平移单元上，并至少部分容纳在基座内腔中，且所述伸缩定位单元的销柱端常态下伸出基座顶部开口，其中所述伸缩定位单元的销柱端呈弹性伸缩状，以当销柱端经FOUP底面销孔引导其水平位移，以同轴对准并继续下压后，可压迫销柱退缩，令其底端抵住基座内腔底面，从而同步形成水平位移后的位置固定。籍此以自调节末端执行器上定位销的位置，消除与各FOUP底面销孔的位置偏差，并固定位置。
-
公开(公告)号：CN116141379A
公开(公告)日：2023-05-23
申请号：CN202310088161.X
申请日：2023-02-09
申请人： 上海广川科技有限公司
IPC分类号： B25J19/00 , H01L21/677 , H01L21/687
摘要： 本发明公开了一种晶圆搬运机器人的测试系统，包括搬运机器人和晶圆测试台架，所述晶圆测试台架包括位于台面上相对设置的两个支撑组件，所述支撑组件连接驱动件，所述驱动件能够带动支撑组件朝着远离或者靠近彼此的方向移动；所述支撑组件包括堆叠且间隙设置的支撑板，所述支撑板用于承载晶圆的边缘。本发明提供的一种晶圆搬运机器人的测试系统，能够兼容不同尺寸和型号的晶圆搬运，进而实现搬运机器人中不同种类末端执行器的开发测试，以提高搬运机器人的测试效率和测试兼容性。
-
公开(公告)号：CN112635378B
公开(公告)日：2023-05-16
申请号：CN202011573358.5
申请日：2020-12-25
申请人： 上海广川科技有限公司
IPC分类号： H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种晶圆传输系统，包括上料单元、校正单元和/或缓存单元、处理单元和机械手臂，所述上料单元、校正单元和/或缓存单元中晶圆水平放置，所述处理单元中晶圆竖直放置；所述机械手臂包括本体、大臂、小臂、上末端执行器和下末端执行器，其中，所述大臂的固定端可旋转地安装在所述本体一端，所述小臂的固定端可旋转地安装在所述大臂的移动端，所述上末端执行器和下末端执行器的固定端上下叠加且可旋转地安装在所述小臂的移动端；所述上末端执行器和下末端执行器的移动端可旋转地安装上手指和下手指。本发明晶圆传输系统中晶圆可以实现水平放置位置和竖直放置位置的切换。
-
公开(公告)号：CN115922763A
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202310047162.X
申请日：2023-01-31
申请人： 上海广川科技有限公司
IPC分类号： B25J15/06 , B25J9/00 , B25J9/08 , B25J19/00 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种耐高温的机械人末端执行器、晶圆搬运装置和方法，其中，机械人末端执行器，包括手臂和手指，所述手臂的末端连接所述手指，所述手臂中包括凹槽，所述凹槽内设置有隔热腔室、真空气路阀门和常压气路阀门；所述真空气路阀门和常压气路阀门均连接至隔热腔室；所述手指包括真空气道和真空吸盘，所述真空气道的一端连接隔热腔室，另一端连接真空吸盘；当需要吸附晶圆时，真空气路阀门打开，常压气路阀门关闭，使得隔热腔室、真空气道和真空吸盘形成真空；当需要松开晶圆时，真空气路阀门关闭，常压气路阀门打开，使得隔热腔室、真空气道和真空吸盘形成常压。本申请用于解决真空吸附式末端执行器无法耐受更高温度的问题。
-
公开(公告)号：CN112497265A
公开(公告)日：2021-03-16
申请号：CN202011561726.4
申请日：2020-12-25
申请人： 上海广川科技有限公司
IPC分类号： B25J18/00
摘要： 本发明公开了一种可实现翻转的机械手臂，包括本体、大臂、小臂、上末端执行器和下末端执行器，其中，所述大臂的固定端可旋转地安装在所述本体一端，所述小臂的固定端可旋转地安装在所述大臂的移动端，所述上末端执行器和下末端执行器的固定端上下叠加且可旋转地安装在所述小臂的移动端；所述上末端执行器和下末端执行器的移动端可旋转地安装上手指和下手指；其中，所述上手指在所述上末端执行器的带动下实现直线、旋转和翻转运动；所述下手指在所述下末端执行器的带动下实现直线和旋转运动。本发明具有两个可独立运动的末端执行器，其中上末端执行器可翻转，通过各驱动轴电机的协同工作可实现不同的运动姿态。
-
公开(公告)号：CN113972158B
公开(公告)日：2024-08-27
申请号：CN202111246239.3
申请日：2021-10-26
申请人： 上海广川科技有限公司
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67
摘要： 本发明公开了一种晶圆传输系统，包括具有搬运腔室的壳体，以及位于所述搬运腔室中的机器人、晶圆载具上料站、预对准单元和缓存冷却单元；所述机器人位于搬运腔室的中央，所述晶圆载具上料站、预对准单元和缓存冷却单元分布在所述机器人的周围；所述晶圆载具上料站能够兼容M种尺寸的晶圆载具；所述机器人、预对准单元和缓存冷却单元能够分别对不同尺寸的晶圆进行搬运、预对准和缓存冷却。本发明提供的一种晶圆搬运系统，主要用于解决多规格晶圆需求，以及实现多规格晶圆校准标识既有Notch又有Flat情况下的晶圆突出检测要求的技术问题；同时还能兼容多种规格晶圆的搬运、预对准和冷却缓存，用于提高晶圆的传输效率。
-
公开(公告)号：CN118073253A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202311853544.8
申请日：2023-12-29
申请人： 上海广川科技有限公司
发明人： 周伟强 , 武一鸣 , 杨琦 , 刘恩龙 , 曲泉铀 , 张平 , 王贺明 , 中岛隆志 , 川辺哲也 , 张菊 , 贾豪 , 李家璇 , 焦点子洋 , 西超博 , 程宇骏 , 苗义 , 朱骏驰 , 王晨旭 , 张文磊 , 徐圳
IPC分类号： H01L21/677 , H01L21/67 , H01L21/66
摘要： 本发明涉及半导体设备，公开了一种用于立式炉晶圆搬运机器人的多功能组装测试台架，包括按照测试距离要求设置的移动式晶舟测试单元、移动式机器人组装单元、移动式FOUP测试单元，所述移动式机器人组装单元采用L型结构，其内侧能够拆卸地与待测机器人相连，其外侧的底部设置有多个移动轮结构；所述移动式FOUP测试单元设置为层式框架结构，其底部也设置有多个移动轮结构，每层均能够拆卸地设置有FOUP盒；所述移动式晶舟测试单元包括倒工字形支架，在所述倒工字形支架的两个侧部的底部均设置有多个移动轮结构，在其横部上能够拆卸地连接有晶舟。
-
公开(公告)号：CN116852330B
公开(公告)日：2024-02-20
申请号：CN202311106929.8
申请日：2023-08-30
申请人： 上海广川科技有限公司
发明人： 王贺明 , 刘恩龙 , 杨琦 , 武一鸣 , 中岛隆志 , 古市昌稔 , 川辺哲也 , 曲泉铀 , 张平 , 周伟强 , 张菊 , 贾豪 , 李家璇 , 焦子洋 , 西超博 , 苗义 , 朱骏驰 , 王晨旭 , 张文磊
摘要： 本发明提供了一种变轨伸缩机械臂组、半导体晶圆双臂搬运机器人，其中该变轨伸缩机械臂组，包括：基座，直线交替驱动装置，一对呈镜像结构的末端执行器单元，其中直线交替驱动装置横向设置在基座上，各末端执行器单元分别与直线交替驱动装置的传动端连接并呈镜像位设置，所述基座上对应各所述末端执行器单元的位置处分别设有导槽，各所述末端执行器单元分别与导槽配接，以经导槽引导，沿直线交替驱动装置传动方向变轨，促使双臂交替外伸时令末端执行器单元逐渐汇入双臂间中心线航道、回退时双臂于交汇处相互避让，籍此以替代Scara双臂机器人，实现晶圆搬运工序中的搬运动作。
-
-
-
-
-
-
-
-
-
搜索结果
52 条记录 (耗时 0.334 秒)