一种深紫外滤光片及其设计方法
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    发明公开

    公开(公告)号:CN113050272A

    公开(公告)日:2021-06-29

    申请号:CN202110235225.5

    申请日:2021-03-03

    IPC分类号: G02B27/00 G02B5/28 G02B5/20

    摘要: 本发明属于光学薄膜技术领域,具体涉及一种深紫外滤光片及设计方法,该深紫外滤光片结构为:Sub/Ma(HL)mb(HL)n x1Hx2Lx3Hx4Lx5Hx6Lx7H/Air,其中Sub表示基板,H和L表示光学厚度为λ/4的高低折射率材料膜层,a、b、x1、x2、x3、x4、x5、x6和x7为H和L层的系数,m和n为膜层的周期数,M为应力调节层。本发明提出的深紫外滤光片的设计方法,在基板上设计深紫外滤光片膜系,将滤光片膜堆和应力调节层通过膜层厚度优化,在220nm波长处实现高透射率和235‑285nm波长处低透射率的同时,解决了深紫外薄膜所用氟化物材料张应力过大导致膜层龟裂的问题。该设计方法提供的深紫外滤光片,可以对人体无害的220nm特定紫外线的捕捉,同时抑制对人体有害的其他紫外线,在紫外线消毒杀菌仪器中有广泛地应用前景。

    宽带低色散啁啾镜的设计方法

    公开(公告)号:CN112666641A

    公开(公告)日:2021-04-16

    申请号:CN202110062472.X

    申请日:2021-01-18

    IPC分类号: G02B5/00 G02B1/00

    摘要: 一种宽带低色散啁啾镜结构的设计方法,初始膜系结构为:其中S表示基底,H和L分别代表光学厚度为λ/4的高低折射率材料,为底部高反射膜层,m1为高反射膜层的周期数,为对称的周期啁啾层,an为啁啾层系数,m2为周期啁啾层周期数,A为空气。本发明通过在高反膜层结构的低色散镜上加入周期啁啾层,使得不同波长在膜层内穿透过相同的光学厚度后同时反射,即通过给予所有波长相同的群延迟时间(groupdelay,GD),而使得群延迟色散(groupdelaydispersion,GDD)为零,同样实现了低色散效果。通过调整参数m1,an和m2,可调控不同带宽内的群延迟时间和反射率。宽带低色散啁啾镜有效提升了介质膜的低色散带宽,对于超快激光技术的发展具有最重要的意义。

    一种基于F-P腔的多层薄膜三倍频输出镜结构

    公开(公告)号:CN112379555A

    公开(公告)日:2021-02-19

    申请号:CN202010886002.0

    申请日:2020-08-28

    IPC分类号: G02F1/35

    摘要: 本发明提供了一种基于F‑P腔的多层薄膜三倍频输出镜结构,其特征在于,由下到上依次为基底、反射膜系I、间隔层、反射膜系II。基本表达式为:G/R1LR2/A。其中,G代表基底材料,R1代表反射膜系I,R2代表反射膜系II,L代表间隔层,A代表入射介质。本发明运用两组反射膜系及间隔层组成F‑P腔结构,使腔内产生多光束干涉效应,通过调控腔内干涉效应强度和间隔层内材料种类及其厚度,增强基频光与非线性薄膜态材料的相互作用,实现三倍频高效转换输出。本发明具有物理尺度小、可实现精细调控非线性响应输出,提升薄膜态材料三倍频转换效率等优点。

    一种大尺寸光学元件镀膜夹具和装夹方法

    公开(公告)号:CN111251217B

    公开(公告)日:2020-11-10

    申请号:CN202010170308.6

    申请日:2020-03-12

    IPC分类号: B25B11/00

    摘要: 一种大尺寸光学元件的镀膜夹具及装夹方法,所述的镀膜夹具包括框架结构和方形支撑结构,方形支撑结构四边各由支撑板、缓冲条、加强筋、定位块和螺栓组成,加强筋、缓冲条、支撑板和定位块设有多个螺栓通孔,框架结构内侧面具有多个螺栓通孔和多个凹槽,多个凹槽分别位于方形支撑结构其中一组对边的外侧,将螺栓旋入四边的加强筋、缓冲条、支撑板和框架结构的螺栓通孔,用于支撑待镀膜的大尺寸光学元件,将螺栓旋入定位块、缓冲条、支撑板和框架结构,对待镀膜的大尺寸光学元件夹持定位,形成一个整体,框架结构外框尺寸与镀膜夹具盘内框一致,正好放置于镀膜夹具盘中。本发明可以与机械手配合使用进行装夹,可以提升大尺寸光学元件的波面质量。