公开(公告)号：CN203455364U

公开(公告)日：2014-02-26

申请号：CN201320548882.6

申请日：2013-09-04

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 夏国明 ,  裘安萍 ,  施芹 ,  张晶 ,  苏岩 ,  丁衡高

IPC: G01P15/08 ,  G01P15/125

Abstract: 本实用新型公开了一种基于片式集成高精度测温结构的硅振梁加速度计，上层为真空封装盖板，下层为衬底，中层单晶硅上制作有加速度计机械结构；加速度计机械结构包括外框架、质量块、两个刚度调整组件、两个测加速度谐振器、两个测温谐振器和四个一级杠杆放大机构，测加速度谐振器对称布置在质量块的上、下两端，该两个测加速度谐振器的一端与外框架相连，另一通过刚度调整组件与左右对称的一级杠杆放大机构的输出端相连；各一级杠杆放大机构的支点端均与外框架相连，输入端分别与质量块相连；测温谐振器对称布置在质量块的左、右两侧，外框架通过固定基座使机械结构悬空在下层的单晶硅衬底之上。本实用新型提高了温度补偿的精度，且实时性好、灵敏度高。

公开(公告)号：CN203455010U

公开(公告)日：2014-02-26

申请号：CN201320547641.X

申请日：2013-09-04

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 施芹 ,  裘安萍 ,  夏国明 ,  苏岩 ,  丁衡高

IPC: G01C25/00 ,  G01M7/02

Abstract: 本实用新型公开了一种芯片式微陀螺的减振测试装置，包括胶盒、胶盖、减振胶、质量块和基板，其中胶盒通过其底部设置的安装孔固定于振动台上，胶盒腔体内壁设有环绕内壁的第一凸台，质量块外壁中间位置设有环绕外壁的第二凸台，减振胶上设有与第二凸台相配合的装配凹槽，质量块和减振胶装配后置于胶盒腔体内的第一凸台上，胶盖中间开孔且与胶盒配套设置，质量块从胶盖中间孔中穿过，胶盖内表面沿开孔边沿设有第三凸台且第三凸台压置于减振胶上，质量块的顶部固定设置基板，基板的上表面设有两个第四凸块用于固定芯片式微陀螺。本实用新型芯片式微陀螺的减振测试装置结构简单、安装方便、频率可调，能够满足批量生产。

公开(公告)号：CN202216694U

公开(公告)日：2012-05-09

申请号：CN201120340974.6

申请日：2011-09-13

Applicant: 南京理工大学

Inventor： 苏岩 ,  姜劭栋 ,  丁衡高 ,  裘安萍 ,  施芹 ,  董金虎

IPC: G01C19/5705

Abstract: 本实用新型公开了一种扭摆式角速率陀螺仪，由上层的机械结构和下层的玻璃衬底构成，整个机械结构通过第一组水平扭杆与第一固定基座连接，通过第二组水平扭杆与第二固定基座连接，使上层的机械结构悬空在下层的玻璃衬底之上；第一固定基座布置在第一横梁的下面，第二固定基座布置在第二横梁的上面；两组水平扭杆均在XY平面内；第一组扭杆中的第一、第三扭杆和第二组扭杆中的第四、第六扭杆沿X轴方向布置；第一组扭杆中的第二扭杆和第二组扭杆中的第五扭杆沿Y轴方向布置。本实用新型减少了干扰模态的数目，降低了加工精度的影响，提高了陀螺仪的灵敏度和稳定性。