一种基于PWM的MEMS传感器温度控制电路

    公开(公告)号:CN117055651A

    公开(公告)日:2023-11-14

    申请号:CN202311095316.9

    申请日:2023-08-29

    发明人: 张晶 蒋金玲 苏岩

    IPC分类号: G05D23/20

    摘要: 本发明公开了一种基于PWM的MEMS传感器温度控制电路,包括:测温模块,用于感知MEMS传感器工作环境温度,并输出相应的电压信号;参考基准模块,用于设定与恒定温度相对应的恒定参考电压基准;比较放大模块,用于将测温模块输出的电压值与参考基准模块输出的参考电压基准进行比较放大,将所得偏差电压输入PWM加热控制模块;PWM加热控制模块,用于依据所述偏差电压改变输出PWM信号的占空比,通过调整占空比控制加热元件加热时长。本发明温控电路结构简单、占用空间小、成本低、不易受到外界的电磁干扰稳定性高,可以适用于各种MEMS传感器的温度控制。

    一种双质量块音叉式角速率陀螺仪

    公开(公告)号:CN106813655B

    公开(公告)日:2023-08-22

    申请号:CN201610878920.2

    申请日:2016-10-08

    IPC分类号: G01C19/5621

    摘要: 本发明公开了一种双质量块音叉角速率陀螺仪,包括上层真空封装盖板、下层硅衬底和中层单晶硅片,中层单晶硅片上设有陀螺机械结构,所述陀螺机械结构的两个子结构对称分布在质量块连接机构和两个桁架与水平直梁的组合机构的两侧,第一U型梁沿子结构的长边设置,且位于长边的两端,桁架与水平直梁的组合机构通过第一U型梁与子结构连接,U型梁组合梁沿子结构的长边设置;直梁沿子结构宽度方向设置,用于连接子结构两侧的第一U型梁。本发明既能实现驱动模态与检测模态为第一阶模态和第二阶模态,又能有效抑制所有常见的驱动同向、检测同向和Z向模态等干扰模态,其一致性强,抗振动干扰能力强。

    一种具有应力隔离能力的双质量块音叉陀螺

    公开(公告)号:CN107782294B

    公开(公告)日:2021-01-26

    申请号:CN201610720981.6

    申请日:2016-08-24

    发明人: 苏岩 杨海波 张晶

    IPC分类号: G01C19/5621

    摘要: 本发明涉及一种具有应力隔离能力的双质量块音叉陀螺,属于圆片级真空封装,由上、中、下三层硅构成,上层为真空封装盖板,下层为硅衬底,中层单晶硅片上制作有陀螺机械结构,由两个相同的子结构组成,这两个子结构左右对称布置,并通过多个U形梁与应力隔离框架连接,该应力框架由直梁与矩形环式框构成,矩形环式框作为固定基座,与下层硅衬底上直接键合,使其余机械结构部分悬空在下层的硅衬底部分之上,上层的真空封装盖板布置信号引线以及键合区域。本发明的整体结构通过一个应力隔离框架相连,提高了结构内部的一致性,降低了对工艺误差的要求。

    一种风电场并网的无源滑模控制方法

    公开(公告)号:CN110518614A

    公开(公告)日:2019-11-29

    申请号:CN201810498167.3

    申请日:2018-05-21

    IPC分类号: H02J3/36 H02J3/38

    摘要: 本发明提出一种风电场并网的无源滑模控制方法。本发明通过构造VSC-HVDC系统期望的平衡点,得到闭环系统期望的Hamilton函数,得出了基于PCHD模型的VSC-HVDC系统的无源控制方法,并且在此基础上,选取系统相应的滑模面,加入辅助滑模控制,得到了基于PCHD模型的VSC-HVDC系统的无源滑模控制方法,本发明在借助了控制方法设计的简便性,提高了系统的鲁棒性。

    一种基于激光位移传感器的车轮踏面磨耗检测方法

    公开(公告)号:CN107607044B

    公开(公告)日:2019-10-18

    申请号:CN201710718970.9

    申请日:2017-08-21

    IPC分类号: G01B11/02 G01N21/88

    摘要: 本发明公开了一种基于激光位移传感器的车轮踏面磨耗检测方法。该方法包括以下步骤:在轨道外侧低于钢轨平面位置布设一组2D激光位移传感器;通过分析输出有效值数据点个数的分布规律,将各个车轮所对应的数据进行分段,滤除与车轮数据不一致的车轮刹车片及车底装置数据;根据激光位移传感器的安装位置参数值,通过坐标旋转,将传感器自身坐标系xoy转换到踏面基准坐标系uov下;将标准车轮轮廓数据与传感器测量数据进行融合,获取完整的车轮轮廓数据;选取车轮轮缘高最小的数据作为最佳踏面数据,计算车轮踏面磨耗;标准车轮轮缘高和实际车轮轮缘高的差值即为踏面磨耗值。本发明测量原理简单,系统稳定,能满足踏面磨耗测量的实际要求。

    一种用于连续搅拌釜式反应器系统的采样控制方法

    公开(公告)号:CN109870908A

    公开(公告)日:2019-06-11

    申请号:CN201910146505.1

    申请日:2019-02-27

    IPC分类号: G05B13/04

    摘要: 本发明公开了一种用于连续搅拌釜式反应器系统的采样控制方法,该方法包括以下步骤:首先建立连续搅拌釜式反应器系统的状态空间模型;然后对于一个采样周期内系统不发生切换时与一个采样周期内系统发生切换时的情况,分别构造相应的李雅普诺夫函数,并设置相应的控制率;最后设置采样周期与平均驻留时间以使构造的李雅普诺夫函数有界,证明闭环系统的稳定性,从而完成连续搅拌釜式反应器系统的采样控制方法。本发明的采样控制方法使连续搅拌釜式反应器系统在不同运行条件下具有更好的性能与鲁棒性,且方法简单,使控制成本显著降低,且更加便于用微处理器实现,具有较高的工程实用价值。

    一种静电负刚度谐振式加速度计的敏感结构及其使用方法

    公开(公告)号:CN109557336A

    公开(公告)日:2019-04-02

    申请号:CN201811617230.7

    申请日:2018-12-28

    IPC分类号: G01P15/097

    摘要: 本发明公开一种静电负刚度谐振式加速度计的敏感结构及其使用方法,静电负刚度谐振式加速度计的敏感结构包括相邻布置的第一质量块和第二质量块、第一静电驱动部分、第一检测部分、第一敏感部分、第二静电驱动部分、第二检测部分、第二敏感部分、第一至第八固定基座、第一至第八弹性连接梁和质量块弹性连接件。先将两个质量块驱动到驱动模态,在敏感部分加上初始电压,敏感部分会产生静电力,计算出初始静电刚度,并且这时d1、d2相对于开始的位置已经发生了变化,当有加速度加在质量块上的时候质量块的位置发生变化导致d1、d2再次发生变化,进而导致静电刚度发生改变,谐振频率发生改变,从而达到用谐振频率敏感加速度的目的。

    一种基于激光位移传感器的车轮踏面磨耗检测方法

    公开(公告)号:CN107607044A

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201710718970.9

    申请日:2017-08-21

    IPC分类号: G01B11/02 G01N21/88

    摘要: 本发明公开了一种基于激光位移传感器的车轮踏面磨耗检测方法。该方法包括以下步骤:在轨道外侧低于钢轨平面位置布设一组2D激光位移传感器;通过分析输出有效值数据点个数的分布规律,将各个车轮所对应的数据进行分段,滤除与车轮数据不一致的车轮刹车片及车底装置数据;根据激光位移传感器的安装位置参数值,通过坐标旋转,将传感器自身坐标系xoy转换到踏面基准坐标系uov下;将标准车轮轮廓数据与传感器测量数据进行融合,获取完整的车轮轮廓数据;选取车轮轮缘高最小的数据作为最佳踏面数据,计算车轮踏面磨耗;标准车轮轮缘高和实际车轮轮缘高的差值即为踏面磨耗值。本发明测量原理简单,系统稳定,能满足踏面磨耗测量的实际要求。

    基于硼硅酸盐玻璃退火成型的微型半球谐振陀螺及制造方法

    公开(公告)号:CN105021179A

    公开(公告)日:2015-11-04

    申请号:CN201510496488.6

    申请日:2015-08-14

    IPC分类号: G01C19/5691

    CPC分类号: G01C19/5691

    摘要: 本发明公开了一种基于硼硅酸盐玻璃退火成型的微型半球谐振陀螺及其制造方法,即将一个硅片作为基底构成硅基底,硅片上表面刻蚀一个圆柱形腔体及腔体圆心处的中心支柱,该中心支柱与半球谐振子中心相连,形成悬空结构;同时,在硅片上表面的圆柱形腔体外围,并围绕半球谐振子均匀布置八个平板式电极,该八个平板式电极由四个驱动电极和四个检测电极组成,所有驱动电极、检测电极与半球谐振子不接触,存在相同的间隙,且驱动电极和检测电极依次间隔分布。本发明制作的玻璃金属吹制式微型半球谐振陀螺,结构简单、表面应力低与高对称性等优点使其具有较稳定的性能与更广泛的应用范围。

    一种静电调谐分离式微机电加速度计及其闭环控制方法

    公开(公告)号:CN113552386B

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202110637867.8

    申请日:2021-06-08

    发明人: 吴天豪 张晶 苏岩

    IPC分类号: G01P15/125 G05B11/42

    摘要: 本发明公开了一种静电调谐分离式微机电加速度计及其闭环控制方法,该加速度计包括至少一个敏感质量块、至少一对差分谐振器、驱动模块和检测模块;所述谐振器与敏感质量块非接触式连接,每个差分谐振器的两侧分别设置对应的驱动模块和检测模块,并与差分谐振器之间非接触式连接。所述加速度计控制方案包含两套闭环回路,其中所述差分谐振器受闭环驱动控制实现自激振荡,所述敏感质量块受电压反馈回路使得敏感质量块在加速度输入下不发生偏移。本发明避免多源应力互相传递干扰和电路噪声干扰,提高系统精度和稳定性,且本发明工作于该控制模式下输出与加速度成线性关系,实现了高精度、高稳定性、环境依赖性小和结构设计便利的要求。