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公开(公告)号：CN111979514A
公开(公告)日：2020-11-24
申请号：CN202010775602.X
申请日：2020-08-05
申请人： 清华大学无锡应用技术研究院
摘要： 本发明提供了一种用于快速制备氮化镓薄膜的装置，属于真空溅射领域技术领域。该用于快速制备氮化镓薄膜的装置包括供气组件、制备组件、溅射电解组件以及冷却组件。所述隔板连接在所述第一罐体的内部，所述氩气收集腔的一侧与所述氮气收集腔的底端设置有出气口，所述第一管道和所述第二管道的一端与所述出气口连通，所述第一吸气泵的输入端与所述第一管道和所述第二管道连接。所述电机固定在所述第二罐体的上端，所述转轴设置在所述第二罐体的内部，所述转轴的一端与所述电机的输出端转动连接，所述固定板与所述转轴的另一端固定连接，有利于控制氮气和氩气注入量，稳固了镓的形态，提高了氮化镓薄膜制备的质量。
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公开(公告)号：CN101269463B
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：CN200810104937.8
申请日：2008-04-25
申请人： 清华大学
摘要： 本发明涉及一种多轴联动混联机床，属于数控机床制造领域。该机床主要包括床身、安装主轴的动平台、安装被切削工件的工作台以及设置在床身上的立柱，该三根立柱呈三角形布置，各立柱导轨上均配置有作直线运动的滑鞍，该动平台通过三条支链与三个滑鞍相连形成空间并联闭链机构，该空间并联闭链机构用于实现二维移动和一维转动自由度；该安装被切削工件的工作台用于实现一维移动和一维转动自由度，该工作台与空间并联闭链机构用于实现多达五轴的联动控制。本发明具有结构简单、布局合理、加工灵活、易于控制、工作空间大、加工精度高和可实现立卧两用等优点，综合了串联式和并联式机床的优势，用于对复杂曲面类零件的多轴联动数控加工。
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公开(公告)号：CN101269463A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810104937.8
申请日：2008-04-25
申请人： 清华大学
摘要： 本发明涉及一种多轴联动混联机床，属于数控机床制造领域。该机床主要包括床身、安装主轴的动平台、安装被切削工件的工作台以及设置在床身上的立柱，该三根立柱呈三角形布置，各立柱导轨上均配置有作直线运动的滑鞍，该动平台通过三条支链与三个滑鞍相连形成空间并联闭链机构，该空间并联闭链机构用于实现二维移动和一维转动自由度；该安装被切削工件的工作台用于实现一维移动和一维转动自由度，该工作台与空间并联闭链机构用于实现多达五轴的联动控制。本发明具有结构简单、布局合理、加工灵活、易于控制、工作空间大、加工精度高和可实现立卧两用等优点，综合了串联式和并联式机床的优势，用于对复杂曲面类零件的多轴联动数控加工。
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公开(公告)号：CN112071962B
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202010774402.2
申请日：2020-08-04
申请人： 清华大学无锡应用技术研究院
IPC分类号： H01L33/00
摘要： 本发明公开了一种在图形化蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工装置，包括加工箱体，加工箱体内壁的底部固定连接有转动电机，所述转动电机的输出端固定连接有加工台，所述加工台上设置有夹紧机构，所述加工箱体内壁之间的上方固定连接有固定板，所述加工箱体的内部设置有调节机构（6）；该加工装置利用加热管产生的高温使得加工箱体内部产生高温环境，满足蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的加工时所需的高温环境，结构简单，成本低，方便快速的调节蓝宝石衬底上生长氮化镓外延层的温度条件的问题。
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公开(公告)号：CN113645761A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202110908211.5
申请日：2021-08-09
申请人： 恩纳基智能科技无锡有限公司 , 清华大学无锡应用技术研究院
摘要： 本发明公开了一种具有校准功能的贴片机，包括：贴片平台；贴片机头，所述贴片机头通过平面移动机构架设于所述贴片平台上；基板固定座，所述基板固定座通过姿态调整机构安装于所述贴片平台上，所述基板固定座表面涂刻有第一位置标记；图像采集装置，所述图像采集装置架设于所述所述贴片平台上方，所述图像采集装置用于采集第一位置标记；处理单元，所述贴片机头、平面移动机构、姿态调整机构、以及图像采集装置均与处理单元连接。
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公开(公告)号：CN113644019A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202110907503.7
申请日：2021-08-09
申请人： 恩纳基智能科技无锡有限公司 , 清华大学无锡应用技术研究院
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/687 , H01L21/677
摘要： 本发明公开了一种半导体贴片机的复合上料装置，包括：平移轨道，所述平移轨道架设于预设位置；行走座，所述行走座行走于所述平移轨道上；升降座，所述升降座安装于所述行走座底端；复合上料机构，所述复合上料单元安装于所述升降座底端；其中，所述复合上料机构可完成料盒的抓取、上料。本发明提供的一种半导体贴片机的复合上料装置，复合上料机构可以利用吸盘或者卡爪完成料盒的抓取、上料，行走座带动料盒沿着平移轨道运动，升降座完成料盒的升降，从而完成料盒的复合上料，上料方式多样，提高了工作效率，迎合了生产需求。
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公开(公告)号：CN101609480B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200910088226.0
申请日：2009-07-13
申请人： 清华大学
摘要： 基于广域测量类噪声信号的电力系统节点间相位关系辨识方法属于电力系统稳定分析技术领域，其特征在于，向仿真电力系统负荷处注入随机小幅扰动信号，采集类似噪声信号的系统小幅波动响应作为分析对象，建立这些类噪声信号的自回归滑动平均模型，计算所述模型的自回归部分和滑动平均部分的模型参数，基于这些参数求解类似于系统单位脉冲响应的ARMA模型Green函数的系数，并根据系统振荡模态向量和ARMA模型Green函数系数向量之间的关系，辨识各节点之间的相位关系。本发明在系统正常运行情况下能正确估计当前系统的动态特性，且信号易于采集。
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公开(公告)号：CN1986148B
公开(公告)日：2010-05-19
申请号：CN200610165571.6
申请日：2006-12-22
申请人： 清华大学
IPC分类号： B23Q1/48
摘要： 本发明涉及一种并联式三轴主轴头结构，属于机械制造领域。该结构包括：主轴、一个动平台、一个定平台，以及连接动平台和定平台的三个相同的分支，主轴固接在动平台上；其中，所述的三个分支中，每个分支均包括：一个输入杆件、一个与动平台连接的多自由度铰链，以及两个运动副，一个运动副是连接于输入杆件与定平台之间的运动副a，另一个运动副是连接于输入杆件与多自由度铰链之间的运动副b，运动副a具有一个自由度且是驱动的，运动副b具有一个或两个自由度且是被动的。本发明既能独立工作又能配合其它装置进行复合加工；且具有高刚度，低运动质量，高动态性能，构造简单，相同零件数量多，成本低，易制造以及沿移动方向等特点。
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公开(公告)号：CN101609480A
公开(公告)日：2009-12-23
申请号：CN200910088226.0
申请日：2009-07-13
申请人： 清华大学
摘要： 基于广域测量类噪声信号的电力系统节点间相位关系辨识方法属于电力系统稳定分析技术领域，其特征在于，向仿真电力系统负荷处注入随机小幅扰动信号，采集类似噪声信号的系统小幅波动响应作为分析对象，建立这些类噪声信号的自回归滑动平均模型，计算所述模型的自回归部分和滑动平均部分的模型参数，基于这些参数求解类似于系统单位脉冲响应的ARMA模型Green函数的系数，并根据系统振荡模态向量和ARMA模型Green函数系数向量之间的关系，辨识各节点之间的相位关系。本发明在系统正常运行情况下能正确估计当前系统的动态特性，且信号易于采集。
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