一种衬管侧漏检测治具
    21.
    发明公开

    公开(公告)号:CN115824513A

    公开(公告)日:2023-03-21

    申请号:CN202211696620.4

    申请日:2022-12-28

    IPC分类号: G01M3/08

    摘要: 本发明涉及旋转靶材领域,具体涉及旋转靶材中的衬管检测领域,特别是涉及一种衬管侧漏检测治具。本发明提供一种衬管侧漏检测治具:包括用于盖住衬管后端口的后端密封盖和用于盖住衬管前端口的前端密封盖;包括用于连接后端密封盖和前端密封盖的锁紧拉杆,后端密封盖安装在锁紧拉杆的后端,锁紧拉杆的前端往前穿出到前端密封盖前方,前端密封盖可沿锁紧拉杆相对后端密封盖作前后平移;在前端密封盖前方可拆卸地安装有附加密封罩,附加密封罩罩住锁紧拉杆的穿出到前端密封盖前方的杆段,附加密封罩上设有能够通往罩内的充气口。本发明要解决的技术问题是提供另一种检测衬管的思路,具体提供一种衬管侧漏检测治具,其能够检测衬管是否存在裂纹。

    定位工装和平面靶材的烧结方法

    公开(公告)号:CN113277835B

    公开(公告)日:2022-10-11

    申请号:CN202010104812.6

    申请日:2020-02-20

    IPC分类号: F27D5/00 C04B35/01 C04B35/64

    摘要: 本发明提供了一种定位工装和平面靶材的烧结方法。其中,定位工装包括:基座;定位板,定位板与基座滑动相连,定位板被配置为适于装配靶材生坯;其中,当靶材生坯大小发生变化时,定位板相对基座滑动并夹紧靶材生坯。本发明通过定位板与基座的相对移动代替了定位板与靶材之间的相对移动,平衡靶材与收缩时产生的摩擦力,从而抵消掉靶材在发生形变时与定位板产生的摩擦力,避免靶材在发生形变时由于靶材与摩擦力导致的靶材开裂或者变形,提高了利用该定位工装烧结的靶材的良品率。

    靶材生坯摆放用布粉器、定位件及旋转靶材的烧结方法

    公开(公告)号:CN113375463A

    公开(公告)日:2021-09-10

    申请号:CN202110742009.X

    申请日:2021-06-30

    IPC分类号: F27B17/00 C04B35/64

    摘要: 本发明涉及靶材生坯摆放用布粉器、定位件及旋转靶材的烧结方法,在承烧板上用辅助滑动粉堆出顶部具有斜坡的粉堆,再把旋转靶材生坯摆放到粉堆的斜坡上。烧结时,靶材生坯收缩会带动氧化铝粉堆相对承烧板沿径向向内移动,从而使旋转靶材生坯和承烧板之间的水平静摩擦力转变为滑动摩擦力,辅助滑动粉形成粉堆后的滑动效果要优于现有技术平铺一层的滑动效果,能更好地降低靶材与承烧板之间的摩擦阻力,减小靶材生坯收缩时产生的摩擦阻力,防止由摩擦阻力导致的靶材不规则变形和开裂。

    定位工装和平面靶材的烧结方法

    公开(公告)号:CN113277835A

    公开(公告)日:2021-08-20

    申请号:CN202010104812.6

    申请日:2020-02-20

    IPC分类号: C04B35/01 C04B35/64

    摘要: 本发明提供了一种定位工装和平面靶材的烧结方法。其中,定位工装包括:基座;定位板,定位板与基座滑动相连,定位板被配置为适于装配靶材生坯;其中,当靶材生坯大小发生变化时,定位板相对基座滑动并夹紧靶材生坯。本发明通过定位板与基座的相对移动代替了定位板与靶材之间的相对移动,平衡靶材与收缩时产生的摩擦力,从而抵消掉靶材在发生形变时与定位板产生的摩擦力,避免靶材在发生形变时由于靶材与摩擦力导致的靶材开裂或者变形,提高了利用该定位工装烧结的靶材的良品率。

    靶材的制造方法和靶材
    28.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111018515A

    公开(公告)日:2020-04-17

    申请号:CN201911367972.3

    申请日:2019-12-26

    摘要: 本发明提出了一种靶材的制造方法和靶材,其中,靶材的制造方法包括:将氧化锌基材与氧化钇基材进行研磨混合;在研磨混合的过程中,加入分散剂与水;在混合后的混合液中加入粘结剂并搅拌,得到浆料;将浆料进行喷雾造粒,得到粒料;将粒料定型,得到素坯;对素坯进行烧结,得到靶材。本发明提出的靶材的制造方法,将氧化锌基材与氧化钇基材研磨混合,并加入分散剂与水,再加入粘结剂,经充分搅拌后得到浆料,对浆料进行喷雾造粒,得到粒料,将粒料按预设形状定型,得到素坯,将素坯烧结,得到靶材,通过氧化锌与氧化钇的混合,进而提升靶材的致密性,并能够提升薄膜的附着力,且生产工艺简单,适于工业化生产。

    一种氧化锌锡靶材及其制备方法

    公开(公告)号:CN118561591A

    公开(公告)日:2024-08-30

    申请号:CN202411045970.3

    申请日:2024-08-01

    摘要: 本发明属于半导体材料技术领域,本发明具体公开了一种氧化锌锡靶材及其制备方法,本发明首先将氧化锌、氧化锡、锌粉、锡粉混合均匀,在混合粉体中加入锌粉和锡粉,能够起到活化作用,有效的提高混合粉体的活性,提高整体的稳定性,促进晶粒更加细化,提高粉体的致密性;本发明分别将氧化锌晶须、石墨烯通过溶液的形式引入到混合粉体中,十二烷基苯磺酸钠、聚乙二醇、聚乙烯吡咯烷酮、羧甲基纤维素以及硫酸和磷酸能够更进一步提高体系的活性,提高混合粉体的可塑性,有效的抑制晶粒长大,促进形成更加致密和尺寸均匀的结构,降低孔隙率,提高载流子的迁移率,提升导电速度和效率,有效的提高靶材的导电性能。