公开(公告)号：CN112635278A

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN202010993810.7

申请日：2020-09-21

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 麻生拓笃 ,  满欣 ,  佐藤诚 ,  麻畑达也

IPC: H01J37/22 ,  H01J37/244 ,  H01J37/28

Abstract: 提供粒子束照射装置，进行基于多个检测器的观察时，能缩短多个检测器的亮度调整的时间。粒子束照射装置具有照射粒子束的照射部、检测第1粒子的第1检测部、检测第2粒子的第2检测部、像形成部和控制部，像形成部进行如下处理：形成基于第1检测部检测到第1粒子的第1信号的观察像；形成基于第2检测部检测到第2粒子的第2信号的观察像，控制部进行如下处理：计算形成的第1观察像的第1区域的亮度，第1区域的亮度与第1目标亮度不同时，根据第1目标亮度进行第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；计算形成的第2观察像的第2区域的亮度，第2区域的亮度与第2目标亮度不同时，根据第2目标亮度进行第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。

公开(公告)号：CN106461516B

公开(公告)日：2021-04-09

申请号：CN201580030690.8

申请日：2015-06-29

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 上本敦 ,  麻畑达也 ,  佐藤诚 ,  山本洋

IPC: G01N1/28 ,  H01J37/31 ,  H01J37/317

Abstract: 本发明提供一种带电粒子束装置(10a)，具备计算机(21)，该计算机(21)至少基于样品片保持件(P)、机针(18)以及样品片(Q)的预先获取的多个带电粒子束的图像来控制多个带电粒子束照射光学系统、机针(18)以及气体供给部(17)，以使样品片(Q)移设至预定的样品片保持件(P)的位置。

公开(公告)号：CN105388048A

公开(公告)日：2016-03-09

申请号：CN201510542307.9

申请日：2015-08-28

Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学

Inventor： 富松聪 ,  佐藤诚 ,  山本洋

IPC: G01N1/28

Abstract: 本发明提供自动试样片制作装置，其使取出通过利用离子束的试样加工而形成的试样片并将其移设到试样片保持器的动作自动化。该自动试样片制作装置具备计算机，该计算机以在试样片与柱状部之间形成沉积膜的方式控制带电粒子束照射光学系统、试样片移设单元和气体供给部，直到试样片移设单元与试样片保持器之间的电气特性达到预定状态为止。