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公开(公告)号：CN110520958B
公开(公告)日：2022-12-30
申请号：CN201880021028.X
申请日：2018-03-27
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/22 , H01J37/317
Abstract: 截面观察装置对物体照射带电粒子束而使物体的截面反复露出，并且对露出的多个该截面中的至少一部分截面照射带电粒子束而取得表示该至少一部分截面中的各个截面的截面像信息，生成取得的各个截面像信息所表示的每个该截面的截面像，从而生成将所生成的各个截面像叠加而得到的三维像，其中，截面观察装置将第1三维像与第2三维像一起进行显示，该第1三维像是将基于第1条件而取得的各个截面像信息所表示的该截面的截面像即第1截面像叠加而得到的三维像，该第2三维像是将基于第2条件而取得的各个截面像信息所表示的该截面的截面像即第2截面像叠加而得到的三维像。
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公开(公告)号：CN110243318A
公开(公告)日：2019-09-17
申请号：CN201910163613.X
申请日：2019-03-05
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01B15/04
Abstract: 提供截面加工观察装置及其方法、程序以及形状测定方法，提高试样的形状的测定精度。具有：保持试样的试样台；向试样照射聚焦离子束的聚焦离子束镜筒；在与照射聚焦离子束的方向垂直的方向上向试样照射电子束的电子束镜筒；检测二次电子或反射电子的电子检测器；照射位置控制部，根据作为示出针对试样的波束的照射目标位置的信息的照射目标位置信息来控制聚焦离子束和电子束的照射位置；工序控制部，按照照射位置控制部控制的每个照射位置，对朝向试样照射聚焦离子束以使试样的截面露出的截面露出工序和向截面照射电子束而取得截面的截面像的截面像取得工序进行控制；画质校正部，对在照射位置取得的所述截面像的画质进行校正。
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公开(公告)号：CN112635277A
公开(公告)日：2021-04-09
申请号：CN202010985029.5
申请日：2020-09-18
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/147 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
Abstract: 本发明提供带电粒子束照射装置和控制方法，能够缩短观察多层试样中包含的多个观察对象层各自的物质或构造所需的时间。带电粒子束照射装置具备：会聚离子束镜筒，其对多层试样照射会聚离子束；电子束镜筒，其对多层试样照射电子束；电子检测器，其检测从多层试样产生的二次电子或反射电子；像形成部，其形成基于从电子检测器输出的信号的观察像；以及控制部，其控制会聚离子束镜筒来反复进行如下露出控制：利用会聚离子束朝向层叠方向使多层试样的截面露出，控制部在反复进行露出控制的过程中，每检测出观察对象层在多层试样的截面上露出时，控制电子束镜筒来进行如下观察控制：照射电子束而使像形成部形成多层试样的截面的观察像。
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公开(公告)号：CN112635278B
公开(公告)日：2025-05-09
申请号：CN202010993810.7
申请日：2020-09-21
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/22 , H01J37/244 , H01J37/28
Abstract: 提供粒子束照射装置，进行基于多个检测器的观察时，能缩短多个检测器的亮度调整的时间。粒子束照射装置具有照射粒子束的照射部、检测第1粒子的第1检测部、检测第2粒子的第2检测部、像形成部和控制部，像形成部进行如下处理：形成基于第1检测部检测到第1粒子的第1信号的观察像；形成基于第2检测部检测到第2粒子的第2信号的观察像，控制部进行如下处理：计算形成的第1观察像的第1区域的亮度，第1区域的亮度与第1目标亮度不同时，根据第1目标亮度进行第1检测部的亮度调整作为第1亮度调整；计算形成的第2观察像的第2区域的亮度，第2区域的亮度与第2目标亮度不同时，根据第2目标亮度进行第2检测部的亮度调整作为第2亮度调整。
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公开(公告)号：CN107230649B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201710182754.7
申请日：2017-03-24
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Abstract: 本发明涉及剖面加工观察方法、剖面加工观察装置。在短时间内高精度地进行包含特定观察对象物的特定部位的加工，并且，迅速地生成特定观察对象物的高分辨率的三维立体像。具有：位置信息取得工序，使用光学显微镜或电子显微镜对观察对象的样品整体进行观察，取得所述样品所包含的特定观察对象物的在所述样品内的大概的三维位置坐标信息；剖面加工工序，基于所述三维位置坐标信息，朝向所述样品之中所述特定观察对象物所存在的特定部位照射聚焦离子束，使该特定部位的剖面露出；剖面像取得工序，向所述剖面照射电子束，取得包含所述特定观察对象物的规定的大小的区域的图像；以及立体像生成工序，以规定间隔沿着规定方向多次重复进行所述剖面加工工序和所述剖面像取得工序，根据所取得的多个所述剖面图像来构筑包含所述特定观察对象物的三维立体像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110243318B
公开(公告)日：2023-02-28
申请号：CN201910163613.X
申请日：2019-03-05
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: G01B15/04
Abstract: 提供截面加工观察装置及其方法、程序以及形状测定方法，提高试样的形状的测定精度。具有：保持试样的试样台；向试样照射聚焦离子束的聚焦离子束镜筒；在与照射聚焦离子束的方向垂直的方向上向试样照射电子束的电子束镜筒；检测二次电子或反射电子的电子检测器；照射位置控制部，根据作为示出针对试样的波束的照射目标位置的信息的照射目标位置信息来控制聚焦离子束和电子束的照射位置；工序控制部，按照照射位置控制部控制的每个照射位置，对朝向试样照射聚焦离子束以使试样的截面露出的截面露出工序和向截面照射电子束而取得截面的截面像的截面像取得工序进行控制；画质校正部，对在照射位置取得的所述截面像的画质进行校正。
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公开(公告)号：CN110520958A
公开(公告)日：2019-11-29
申请号：CN201880021028.X
申请日：2018-03-27
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
IPC: H01J37/22 , H01J37/317
Abstract: 截面观察装置对物体照射带电粒子束而使物体的截面反复露出，并且对露出的多个该截面中的至少一部分截面照射带电粒子束而取得表示该至少一部分截面中的各个截面的截面像信息，生成取得的各个截面像信息所表示的每个该截面的截面像，从而生成将所生成的各个截面像叠加而得到的三维像，其中，截面观察装置将第1三维像与第2三维像一起进行显示，该第1三维像是将基于第1条件而取得的各个截面像信息所表示的该截面的截面像即第1截面像叠加而得到的三维像，该第2三维像是将基于第2条件而取得的各个截面像信息所表示的该截面的截面像即第2截面像叠加而得到的三维像。
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公开(公告)号：CN109841534A
公开(公告)日：2019-06-04
申请号：CN201811425291.3
申请日：2018-11-27
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Inventor： 满欣
IPC: H01L21/66
Abstract: 提供截面加工观察方法、带电粒子束装置，能够容易并且准确地形成用于观察试样的内部的观察用截面。该截面加工观察方法的特征在于，具有如下的工序：设计数据取得工序，取得具有三维立体构造物的试样的所述三维立体构造物的设计数据；移动工序，根据所述设计数据的坐标信息使所述试样移动；表面观察工序，取得所述试样的表面的观察像；截面形成工序，对所述试样的所述表面照射离子束，形成所述三维立体构造物的截面；截面观察工序，取得所述截面的观察像；以及显示工序，显示所述设计数据中的与所述表面和所述截面相当的位置的表面和截面的图像数据。
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公开(公告)号：CN103308356A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310083008.4
申请日：2013-03-15
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Inventor： 满欣
IPC: G01N1/28 , H01J37/317 , H01J37/28
CPC classification number: H01J37/261 , H01J37/265 , H01J37/2955 , H01J2237/31745
Abstract: 本发明提供了一种样本制备装置和样本制备方法。样本制备装置包括样本台，用于支撑样本；聚焦离子束镜筒，用于将聚焦离子束施加到样本并且处理样本；以及照射区域设置单元，用于设置聚焦离子束照射区域，该聚焦离子束照射区域包括第一照射区域和第二照射区域，第一照射区域用于形成将被电子束照射以检测背向散射电子的观察区段，第二照射区域用于倾斜表面，该倾斜表面相对于观察区段的法线方向倾斜67.5°以上且小于90°的角度。
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公开(公告)号：CN109841534B
公开(公告)日：2023-08-01
申请号：CN201811425291.3
申请日：2018-11-27
Applicant: 日本株式会社日立高新技术科学
Inventor： 满欣
IPC: H01L21/66
Abstract: 提供截面加工观察方法、带电粒子束装置，能够容易并且准确地形成用于观察试样的内部的观察用截面。该截面加工观察方法的特征在于，具有如下的工序：设计数据取得工序，取得具有三维立体构造物的试样的所述三维立体构造物的设计数据；移动工序，根据所述设计数据的坐标信息使所述试样移动；表面观察工序，取得所述试样的表面的观察像；截面形成工序，对所述试样的所述表面照射离子束，形成所述三维立体构造物的截面；截面观察工序，取得所述截面的观察像；以及显示工序，显示所述设计数据中的与所述表面和所述截面相当的位置的表面和截面的图像数据。
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