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公开(公告)号:CN1323124C
公开(公告)日:2007-06-27
申请号:CN03119819.8
申请日:1997-09-30
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: C09K3/1463 , C01F17/0043 , C01P2004/61 , C01P2004/62 , C01P2006/12 , C09G1/02 , C09K3/1409 , H01L21/02024 , H01L21/02065 , H01L21/31053
Abstract: 本发明涉及氧化铈研磨剂及基板的研磨方法,提供了一种能够在不划伤SiO2绝缘膜等被研磨面的高研磨速度下进行研磨的氧化铈研磨剂。本发明的研磨剂含有把氧化铈颗粒分散于介质中的浆料,其中该氧化铈颗粒的一次颗粒粒径为10~600纳米,一次颗粒粒径中央值为30~250纳米,颗粒粒径中央值为150~600纳米,颗粒最大粒径在3000纳米以下。
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公开(公告)号:CN1935927A
公开(公告)日:2007-03-28
申请号:CN200610142509.5
申请日:1997-09-30
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: C09K3/14 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供了一种能够在不划伤SiO2绝缘膜等被研磨面的高研磨速度下进行研磨的氧化铈研磨剂。本发明的研磨剂含有把氧化铈颗粒分散于介质中的浆料,其中该氧化铈颗粒的一次颗粒粒径为10~600纳米,一次颗粒粒径中央值为30~250纳米,颗粒粒径中央值为150~600纳米,颗粒最大粒径在3000纳米以下。
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公开(公告)号:CN1245471C
公开(公告)日:2006-03-15
申请号:CN03119818.X
申请日:1997-09-30
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: C09K3/1463 , C01F17/0043 , C01P2004/61 , C01P2004/62 , C01P2006/12 , C09G1/02 , C09K3/1409 , H01L21/02024 , H01L21/02065 , H01L21/31053
Abstract: 本发明涉及氧化铈研磨剂及基板的研磨方法,提供了一种能够在不划伤SiO2绝缘膜等被研磨面的高研磨速度下进行研磨的氧化铈研磨剂。本发明的研磨剂含有把氧化铈颗粒分散于介质中的浆料,其中该氧化铈颗粒的一次颗粒粒径为10~600纳米,一次颗粒粒径中央值为30~250纳米,颗粒粒径中央值为150~600纳米,颗粒最大粒径在3000纳米以下。
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公开(公告)号:CN1128195C
公开(公告)日:2003-11-19
申请号:CN98812295.2
申请日:1998-12-18
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: C09K3/14
CPC classification number: C09G1/02 , C09K3/1409 , C09K3/1463 , H01L21/31053
Abstract: 在本发明中,为了进行高速研磨又不伤及SiO2绝缘膜等的被研磨面,提供含有把具有由2个以上的晶粒构成的晶界的氧化铈子、或者是体积密度为6.5g/cm3以下的氧化铈粒子、或者是具有气孔的磨粒中的至少一种分散到介质中去的浆液的研磨剂、使用该研磨剂的基片的研磨方法和半导体装置的制造方法。
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公开(公告)号:CN105977143B
公开(公告)日:2018-03-30
申请号:CN201610524236.4
申请日:2011-01-25
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: H01L21/22 , H01L21/223 , H01L31/068 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种用于形成p型扩散层的组合物和方法,以及一种用于制备光伏电池的方法。所述组合物在使用硅基板制备光伏电池的工艺过程中能够形成p型扩散层,而不引起硅基板中的内应力和基板的翘曲。根据本发明的用于形成p型扩散层的组合物含有含受体元素的玻璃粉末和分散介质。p型扩散层和具有p型扩散层的光伏电池通过下列方法制备:涂敷用于形成p型扩散层的组合物,随后进行热扩散处理。
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公开(公告)号:CN102169738B
公开(公告)日:2017-06-13
申请号:CN201110031097.9
申请日:2011-01-25
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: H01L21/22 , H01B1/22 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: H01L21/2225 , H01L21/223 , H01L31/068 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521
Abstract: 本发明提供一种用于形成p型扩散层的组合物和方法,以及一种用于制备光伏电池的方法。所述组合物在使用硅基板制备光伏电池的工艺过程中能够形成p型扩散层,而不引起硅基板中的内应力和基板的翘曲。根据本发明的用于形成p型扩散层的组合物含有含受体元素的玻璃粉末和分散介质。p型扩散层和具有p型扩散层的光伏电池通过下列方法制备:涂敷用于形成p型扩散层的组合物,随后进行热扩散处理。
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公开(公告)号:CN106158603A
公开(公告)日:2016-11-23
申请号:CN201610345273.9
申请日:2011-01-25
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: H01L21/22 , H01L31/0224 , H01L31/18
CPC classification number: H01L21/2255 , H01L21/2225 , H01L31/068 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521 , H01L21/22 , H01L31/0224 , H01L31/18
Abstract: 本发明提供一种用于形成n型扩散层的组合物和方法,以及制备广泛电池的方法。所述组合物能够在使用硅基板的光伏电池的制造工艺中,在基板的某个部分上形成n型扩散层,而且不形成不必要的n型扩散层。根据本发明的用于形成n型扩散层的组合物包含含给体元素的玻璃粉末和分散介质。n型扩散层和具有n型扩散层的光伏电池通过下列方法制备:涂敷用于形成n型扩散层的组合物,随后进行热扩散处理。
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公开(公告)号:CN104835724A
公开(公告)日:2015-08-12
申请号:CN201510193767.5
申请日:2011-01-25
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: H01L21/223 , H01L31/18 , H01L31/068 , H01L21/22
Abstract: 本发明提供一种用于形成p型扩散层的组合物和方法,以及一种用于制备光伏电池的方法。所述组合物在使用硅基板制备光伏电池的工艺过程中能够形成p型扩散层,而不引起硅基板中的内应力和基板的翘曲。根据本发明的用于形成p型扩散层的组合物含有含受体元素的玻璃粉末和分散介质。p型扩散层和具有p型扩散层的光伏电池通过下列方法制备:涂敷用于形成p型扩散层的组合物,随后进行热扩散处理。
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公开(公告)号:CN104810258A
公开(公告)日:2015-07-29
申请号:CN201510194303.6
申请日:2011-01-25
Applicant: 日立化成工业株式会社
IPC: H01L21/22 , H01L31/0224 , H01L31/18 , C03C12/00 , H01B1/22
CPC classification number: H01L21/2255 , H01L21/2225 , H01L31/068 , H01L31/1804 , Y02E10/547 , Y02P70/521 , H01L31/022425 , H01L31/0236
Abstract: 本发明提供一种用于形成n型扩散层的组合物和方法,以及制备广泛电池的方法。所述组合物能够在使用硅基板的光伏电池的制造工艺中,在基板的某个部分上形成n型扩散层,而且不形成不必要的n型扩散层。根据本发明的用于形成n型扩散层的组合物包含给体元素的玻璃粉末和分散介质。n型扩散层和具有n型扩散层的光伏电池通过下列方法制备:涂敷用于形成n型扩散层的组合物,随后进行热扩散处理。
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公开(公告)号:CN102934174A
公开(公告)日:2013-02-13
申请号:CN201280001595.1
申请日:2012-03-30
Applicant: 日立化成工业株式会社
CPC classification number: H01L31/022425 , C22C9/00 , H01B1/16 , H01B1/22 , H01L31/02245 , Y02E10/50
Abstract: 本发明提供一种电极用糊剂组合物,其含有含磷率为6质量%以上且8质量%以下的含磷的铜合金粒子、玻璃粒子、溶剂和树脂而构成。此外,还提供一种太阳能电池,其具有使用该电极用糊剂组合物而形成的电极。
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