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公开(公告)号：CN101355134A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200810135194.0
申请日：2003-06-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01P15/0922 , B41J2/14233 , B41J2/14282 , B41J2002/1425 , B41J2202/03 , G01C19/5607 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/094 , H01L41/0973 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 本发明涉及压电元件、喷墨头、角速度传感器及其制法和喷墨式记录装置，压电元件具备第一电极层、压电体层和第二电极层，第一电极层由选自钴、镍、铁、锰及铜的至少一种金属与贵金属构成，压电体层由钙钛矿型氧化物构成，在第一电极层与压电体层间设有由优先取向于立方或正方晶系的(100)或(001)面的钙钛矿型氧化物构成的取向控制层，该控制层的第一电极层侧的部分为：(100)或(001)面取向的区域存在于位于第一电极层中取向控制层侧的表面部的所述至少一种金属上，且与层厚方向垂直的截面中的所述(100)或(001)面取向区域的面积从第一电极层侧向着压电体层侧变大，所述至少一种金属，在第一电极层以控制取向控制层的成长方向的方式形成图案。
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公开(公告)号：CN100345320C
公开(公告)日：2007-10-24
申请号：CN02807189.1
申请日：2002-12-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/0815 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1646 , B41J2002/14491 , B41J2202/03 , G01C19/5607 , H01L41/1876 , H01L41/316 , Y10T29/49401
Abstract: 在压电元件中，在基板(11)上设置附着层(12)，在该附着层(12)上设置由含有钛或氧化钛的贵金属构成的第1电极层(14)，在该第1电极层(14)上设置优先取向(100)面或(001)面的取向控制层(15)。该取向控制层(15)中的第1电极层(14)侧的表面附近部的结构为：(100)面或(001)面取向的区域存在于位于第1电极层(14)中的取向控制层(15)侧的表面部的钛或氧化钛上且上述区域在垂直于层厚方向的截面上的面积从第1电极层(14)侧向相反侧变大。于是，在该取向控制层(15)上设置优先取向(001)面的压电体层(16)。
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公开(公告)号：CN1498428A
公开(公告)日：2004-05-19
申请号：CN02807189.1
申请日：2002-12-12
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: H01L41/0815 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1646 , B41J2002/14491 , B41J2202/03 , G01C19/5607 , H01L41/1876 , H01L41/316 , Y10T29/49401
Abstract: 在压电元件中，在基板(11)上设置附着层(12)，在该附着层(12)上设置由含有钛或氧化钛的贵金属构成的第1电极层(14)，在该第1电极层(14)上设置优先取向(100)面或(001)面的取向控制层(15)。该取向控制层(15)中的第1电极层(14)侧的表面附近部的结构为：(100)面或(001)面取向的区域存在于位于第1电极层(14)中的取向控制层(15)侧的表面部的钛或氧化钛上且上述区域在垂直于层厚方向的截面上的面积从第1电极层(14)侧向相反侧变大。于是，在该取向控制层(15)上设置优先取向(001)面的压电体层(16)。
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公开(公告)号：CN1471181A
公开(公告)日：2004-01-28
申请号：CN03149264.9
申请日：2003-06-17
Applicant: 松下电器产业株式会社
CPC classification number: G01P15/0922 , B41J2/14233 , B41J2/14282 , B41J2002/1425 , B41J2202/03 , G01C19/5607 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/094 , H01L41/0973 , H01L41/316 , H01L41/319
Abstract: 一种压电元件(20)，在硅基板(1)上形成第一电极层，该第一电极层由从钴、镍、铁、锰及铜的组中选择的至少一种金属与贵金属的合金构成，在该第一电极层(2)上形成由菱面体晶系或正方晶系的钙钛矿型氧化物(PZT等)构成的压电体层(3)，使该压电体层(3)优先取向于(001)面。
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公开(公告)号：CN1461703A
公开(公告)日：2003-12-17
申请号：CN03142519.4
申请日：2003-05-30
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: B41J2/14 , B41J2/16 , H01L41/187 , H01L41/22
CPC classification number: G01C19/5607 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1623 , B41J2/1628 , B41J2/1631 , B41J2/1632 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14491 , H01L41/0477 , H01L41/0815 , H01L41/1876 , H01L41/316
Abstract: 一种压电元件，在基板11上设置第1电极层14，该第1电极层由添加了从Mg、Ca、Sr、Ba和Al以及它们的氧化物的组中选择的至少一种添加物的贵金属构成，在该第1电极层14上设置取向控制层15，该取向控制层由优先取向于立方晶系或正方晶系的(100)面或(001)面的钙钛矿型氧化物构成，在该取向控制层15上形成压电体层16，该压电体层由优先取向于菱面体晶系或正方晶系的(001)面的钙钛矿型氧化物构成。
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公开(公告)号：CN1080455C
公开(公告)日：2002-03-06
申请号：CN96112720.1
申请日：1996-10-04
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: H01L21/3105
Abstract: 一种有经过精细加工的电介质元件的制造方法。该方法包括利用由氢氟酸和氧化剂构成的腐蚀剂，将在基板上形成的电介质膜蚀刻成规定的图形的工序、以及通过利用由还原剂构成的第1处理液、接着利用由酸构成的第2处理液分别进行处理，将蚀刻残渣除去的工序。能不产生残渣而使电介质膜形成精细的图形。
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公开(公告)号：CN1052299C
公开(公告)日：2000-05-10
申请号：CN96190708.8
申请日：1996-05-10
Applicant: 松下电器产业株式会社
Abstract: 一种测定汽车发动机排放的气体温度用的温度传感元件，它备有平板状金属支撑体、位于上述支撑体上的第1电绝缘膜、位于上述第1电绝缘膜上的备有一对电极的热敏膜、及位于上述热敏膜上的第2电绝缘膜。该温度传感元件耐热冲击性好、而且不需要耐热帽、热容量小，所以热应答性能好。
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公开(公告)号：CN1232969A
公开(公告)日：1999-10-27
申请号：CN99106299.X
申请日：1999-04-13
Applicant: 松下电器产业株式会社
IPC: G01P15/09
CPC classification number: G01P15/0907 , G01P15/0922 , G01P15/18
Abstract: 加速度传感器201包括纵向效应型检测部203和横向效应型检测部204。纵向效应型检测部203包括由薄膜压电体211a和电极211b、211c构成的纵向效应型压电元件211。横向效应型检测部204设有横向效应型压电元件213,使其支撑在底板105上形成的沟状凹部105a的上方附近。检测电路116根据纵向效应型检测部203和横向效应型检测部204两者的输出检测出规定方向上加速度等。因此,能够检测规定方向上的加速度并实现大动态范围和宽频带。
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