公开(公告)号：CN111380466A

公开(公告)日：2020-07-07

申请号：CN201911373287.1

申请日：2019-12-27

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 吉田悟 ,  长滨龙也 ,  矶部仁志 ,  山中雅史 ,  老田直人 ,  久保光司 ,  宍户裕子 ,  大庭信男 ,  大竹贵久 ,  松井大树 ,  新井雅典 ,  伊贺崎史朗 ,  仓桥佑旗 ,  酒井裕志 ,  渡边裕

IPC: G01B11/02 ,  G01B11/24 ,  H04N5/225

Abstract: 一种图像测定装置(1)兼做非接触形状测定装置使用。作为拍摄装置，具有：图像传感器(14)；可变焦距透镜(液体透镜单元(13))，其配置于从工件(9)到图像传感器(14)的光轴(Ai)上；控制装置(拍摄用透镜控制部(30)、图像测定处理部(51))，其控制可变焦距透镜，并且处理图像传感器(14)的检测图像。并且，作为非接触位移检测装置，具有：图像传感器(24)；可变焦距透镜(液体透镜单元(23))，其配置于从工件(9)到图像传感器(24)的光轴(Ad)上；控制装置(位移检测用透镜控制部(40)、形状测定处理部(53))，其控制可变焦距透镜，并且处理图像传感器(24)的检测图像。

公开(公告)号：CN108802870A

公开(公告)日：2018-11-13

申请号：CN201810396310.8

申请日：2018-04-27

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 伊贺崎史朗 ,  大庭信男 ,  久保光司 ,  大竹贵久

IPC: G02B3/14

CPC classification number: G02B15/14 ,  G02B3/0087 ,  G02B3/14 ,  G02B7/08 ,  G02B7/28 ,  G06K9/3241 ,  H04N5/2253 ,  H04N5/2254 ,  H04N5/2256 ,  H04N5/232 ,  H04N5/23212

Abstract: 本发明的可变焦距透镜装置(1)具有：折射率根据输入的驱动信号(Cf)变化的透镜系统(3)；配置在与透镜系统(3)相同的光轴上的物镜；通过透镜系统(3)和物镜来检测测量对象物的图像的图像检测单元(4)；使驱动信号(Cf)跟随透镜系统(3)的谐振频率的谐振锁定控制单元(611)；以及切换谐振锁定控制单元(611)的动作或停止的谐振锁定操作单元(711)。

公开(公告)号：CN107966098A

公开(公告)日：2018-04-27

申请号：CN201710997257.2

申请日：2017-10-20

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 松宫贞行 ,  冈部宪嗣 ,  久保光司 ,  金子展也

IPC: G01B11/00

CPC classification number: G01B11/002 ,  G01B11/0608 ,  G01B2210/50 ,  G01J3/0218 ,  G01J3/0248 ,  G01J3/2823 ,  G01J5/0896 ,  G01B11/00

Abstract: 一种光谱共焦传感器，包括：光源部，用于射出具有不同波长的多个光束；物镜，用于使所述多个光束会聚于不同的聚焦位置处；射出口，其中所述多个光束中的在所述聚焦位置处被待测物体反射的测量光从所述射出口射出；位置计算部，用于基于所射出的测量光来计算所述待测物体的位置；观察部，其包括图像传感器和用于射出观察光的观察光源；以及分束器，用于使穿过所述物镜的所述测量光的至少一部分射出到所述射出口，并且使穿过所述物镜并被所述待测物体反射的所述观察光的至少一部分射出到所述图像传感器。

公开(公告)号：CN102192714B

公开(公告)日：2015-07-01

申请号：CN201110057679.4

申请日：2011-03-10

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 长滨龙也 ,  久保光司 ,  浅野秀光 ,  宫仓常太

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B9/02068 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/0209

Abstract: 一种光干涉测量装置，其包括：宽带光的光源；物镜部，其将宽带光的光路分成包括参照镜的参照光路和包括测量对象的测量光路，并且物镜部输出两个分支光的合成波；以及光路长度改变部，其改变参照光路的光路长度或改变测量光路的光路长度；其中，物镜部包括控制参照光和对象光之间的相位差以产生相消干涉条纹的相位差控制构件以及检测相消干涉条纹的最小辉度位置的最小辉度位置检测部。

公开(公告)号：CN102192714A

公开(公告)日：2011-09-21

申请号：CN201110057679.4

申请日：2011-03-10

Applicant: 株式会社三丰

Inventor： 长滨龙也 ,  久保光司 ,  浅野秀光 ,  宫仓常太

IPC: G01B11/24

CPC classification number: G01B9/02068 ,  G01B9/02057 ,  G01B9/0209

Abstract: 一种光干涉测量装置，其包括：宽带光的光源；物镜部，其将宽带光的光路分成包括参照镜的参照光路和包括测量对象的测量光路，并且物镜部输出两个分支光的合成波；以及光路长度改变部，其改变参照光路的光路长度或改变测量光路的光路长度；其中，物镜部包括控制参照光和对象光之间的相位差以产生相消干涉条纹的相位差控制构件以及检测相消干涉条纹的最小辉度位置的最小辉度位置检测部。