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公开(公告)号：CN102801369A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210241762.1
申请日：2012-07-12
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC分类号： H02N15/00
摘要： 一种基于双台交换系统的电流环辅助整定装置，所述双台交换系统包括基台、两个结构相同的硅片台和平面电机，平面电机定子采用平面永磁阵列，动子采用线圈阵列，平面电机动子采用气浮支承，所述电流环辅助整定装置包括磁钢阵列、移动部件和驱动器组件，将平面电机动子安装于电流环辅助整定装置的移动部件上，采用驱动器依次对动子每组线圈进行电流环整定，整定完成后，将平面电机动子和线圈对应的驱动器移至双台交换系统。本发明为带有复杂动子线圈结构的单台或多台系统提供一种简单、快捷的电流环整定方式，避免单台或多台系统在电流环整定过程中在结构上或控制上增添附加设备造成的麻烦。
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公开(公告)号：CN102799195A
公开(公告)日：2012-11-28
申请号：CN201210242269.1
申请日：2012-07-12
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC分类号： G05D13/62
摘要： 一种增量光栅信号处理方法，所述增量光栅信号包括三相差分信号，即：A+、A-、B+、B-、C+、C-，所述信号处理方法包括以下步骤：首先对增量光栅信号驱动整形，将整形后的差分信号转换为第一单端信号，再将所述第一单端信号输入到可编程逻辑器件中，可编程逻辑器件输出第二单端信号和第三单端信号，其中第二单端信号与第一单端信号相同，第三单端信号的频率是第一单端信号频率的1/n，n为正整数，将两路单端信号转换为差分信号后输出。本发明有效地解决了控制系统中位置测量分辨率与运动台速度的制约关系，分频信号给驱动器作为信号反馈，未分频信号给上位机作为控制系统位置反馈，既提高了允许的最大速度，又提高控制系统精度。
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公开(公告)号：CN105141106B
公开(公告)日：2018-01-16
申请号：CN201510587639.9
申请日：2015-09-15
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC分类号： H02K44/06
摘要： 一种三自由度的运动工作台，主要应用于半导体光刻设备中。本发明含有一个动子、一个定子和一套位置测量系统，定子包含有一个基台、一个盖板和一组线圈阵列；一组线圈阵列设置在基台凹槽内，盖板设置在线圈阵列上部；动子包含有一磁性流体；所述的磁性流体设置在盖板的上表面，在线圈阵列产生的变化的磁场中在盖板上表面沿X方向、Y方向和θz方向做平面三自由运动；盖板上表面做表面疏水处理；所述的一套位置测量系统设置在动子的正上方。磁性流体作为动子可任意聚合或分散，承载物体时还可变换形状增大抓取的摩擦力，具有动子轻巧、灵活多变，结构简单等优点。
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公开(公告)号：CN105207430B
公开(公告)日：2017-11-14
申请号：CN201510587651.X
申请日：2015-09-15
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
摘要： 一种磁轮驱动的磁悬浮动量球，用于卫星姿态调整，所述磁轮驱动的磁悬浮动量球包含定子和一个动子，所述动子为球壳形，动子材料为非铁磁性的导电金属材料；所述定子分为三组，三组定子的轴线相互正交，每组包括两个定子，每组中的两个定子以动子的球心对称布置，每个定子包含定子电机和磁轮，磁轮安装在定子电机上并由定子电机驱动旋转；磁轮的上表面是和动子外表面同心的球面，且磁轮上表面的球面半径大于动子外表面的球面半径，磁轮与动子的外表面留有气隙。本发明实现了磁悬浮动量球的悬浮旋转驱动一体化，结构简单紧凑，体积小质量轻，成本低,效率高，并且属于固有的稳定悬浮，悬浮控制简单。
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公开(公告)号：CN104006777B
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201410256318.6
申请日：2014-06-10
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC分类号： G01B21/00
摘要： 一种二维大行程精密工作台测量系统自标定方法，属于精密加工及测量领域。该方法利用自标定原理，通过使用带均匀栅格的玻璃板做辅助测量装置，将二维工作台按区域分别进行自标定，获取各区域的系统误差；对相应区域做系统误差补偿，获得标定坐标系的离散点坐标；对各区域离散点坐标进行线性拟合，得到标定坐标系网格；利用坐标系变换原理，分别对相领区域的标定坐标系进行坐标系转换，获得整个区域内统一的标定坐标系，最终完成二维大行程精密工作台测量系统自标定。本发明实现了二维工作台的大行程、高精度自标定，同时实现了利用低精度栅格玻璃板标定高精度二维工作台的功能，不需要高精度标定工具，标定精度高，适用于标定各种二维精密工作台。
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公开(公告)号：CN105207430A
公开(公告)日：2015-12-30
申请号：CN201510587651.X
申请日：2015-09-15
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
摘要： 一种磁轮驱动的磁悬浮动量球，用于卫星姿态调整，所述磁轮驱动的磁悬浮动量球包含定子和一个动子，所述动子为球壳形，动子材料为非铁磁性的导电金属材料；所述定子分为三组，三组定子的轴线相互正交，每组包括两个定子，每组中的两个定子以动子的球心对称布置，每个定子包含定子电机和磁轮，磁轮安装在定子电机上并由定子电机驱动旋转；磁轮的上表面是和动子外表面同心的球面，且磁轮上表面的球面半径大于动子外表面的球面半径，磁轮与动子的外表面留有气隙。本发明实现了磁悬浮动量球的悬浮旋转驱动一体化，结构简单紧凑，体积小质量轻，成本低,效率高，并且属于固有的稳定悬浮，悬浮控制简单。
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公开(公告)号：CN103292706B
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201310151394.6
申请日：2013-04-27
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC分类号： G01B11/02
摘要： 一种动圈式平面电机动子三自由度位移测量方法，该方法包括3个电涡流传感器、2个绝对直线光栅和信号处理系统；根据3个电涡流传感器的测量值和Ⅰ号绝对直线光栅的测量值求解平面电机动子在线缆台坐标系下的三自由度位移，再根据Ⅱ号绝对直线光栅的测量值求解线缆台坐标系与基台坐标系的转换矩阵，从而求解平面电机动子在基台坐标系下的三自由度位移，进一步可求解平面电机任意线圈中心在基台坐标系下的坐标。本发明为平面电机动子提供了一种结构简单、测量精度高、响应速度快的三自由度位移测量方法，并满足其大行程水平直线位移测量的需求。
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公开(公告)号：CN103439867B
公开(公告)日：2015-09-30
申请号：CN201310388961.X
申请日：2013-08-30
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种用于光刻机工件台的线缆台，主要应用于半导体光刻机中。该线缆台含有从平面电机引出的线缆束、X方向和Y方向直线导轨滑块机构、X方向直线电机和Y方向驱动装置。Y方向直线导轨滑块机构通过L型连接板与X方向直线导轨滑块机构的滑块连接；线缆束与X方向直线导轨滑块机构的滑块连接；Y方向驱动装置含有微型伺服电机、一个沿Y轴方向布置的同步带传动机构和悬臂支撑杆。本发明的线缆束与平面电机之间没有硬连接，线缆台可自由运动；通过线性光栅尺和光电位置探测器跟随的方式控制线缆台和平面电机动子之间的距离，避免了线缆束对平面电机动子运动的干扰，进而降低了线缆束对工作台的响应速度和运动过程中的速度和运动定位精度的影响。
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公开(公告)号：CN103309176B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201310239699.2
申请日：2013-06-17
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
IPC分类号： G03F7/20
摘要： 一种带升降真空爪的六自由度微动台，含有实现微动工作台在水平面内沿X方向、Y方向和绕Z轴旋转的第一种电磁力驱动模块和实现微动工作台沿Z方向、绕X轴旋转和绕Y轴旋转的第二种电磁力驱动模块、真空吸盘、微动台上盖、升降真空爪和基座；真空吸盘设置在微动台上盖的上表面的凹槽内；升降真空爪布置在微动台上盖的下方，包括驱动模块、导向模块和测量模块；驱动模块是一个音圈电机，导向模块由两组微型滚珠导轨组成，测量模块是一个线性光栅尺传感器组件。本发明与现有六自由度微动台相比，由于增加了一个带升降真空爪，使得该六自由度微动台具有一个沿垂直方向的大行程的单自由度抬升与抓取功能，满足了光刻机对于硅片的抬升与抓取的要求。
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公开(公告)号：CN104753273A
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：CN201510197943.2
申请日：2015-04-23
申请人： 清华大学 , 北京华卓精科科技有限公司
摘要： 一种磁悬浮动量球，用于航天器姿态调整，磁悬浮动量球包含一个球壳形动子和多个定子，所述定子有三组，每组包含两个以动子的球心为对称中心的定子，三组定子的轴线相互正交，每个定子包含定子铁芯和线圈阵列，定子铁芯与动子相配合的内表面为球面，并和动子的外表面留有气隙，定子铁芯沿径向开有通槽，通槽在定子铁芯的圆周上均匀分布；线圈阵列采用盘式电机定子绕组，线圈阵列中每个线圈的两个有效边分别放置于定子铁芯的两个通槽内。本发明成本低，悬浮、旋转驱动一体化，结构简单紧凑，体积小质量轻，并且属于固有的稳定悬浮，悬浮控制简单。
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