-
公开(公告)号:CN104078476A
公开(公告)日:2014-10-01
申请号:CN201410123124.9
申请日:2014-03-28
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L27/146 , G01J3/36 , G01J3/02
CPC classification number: H01L31/02165 , A61B5/14552 , A61B2562/0238 , A61B2562/046 , A61B2562/12 , A61B2562/164 , H01L31/02024
Abstract: 本发明提供一种光谱传感器及其制造方法。该制造方法包括:在半导体基板上形成受光元件的工序(a);在半导体基板之上形成角度限制滤波器的工序(b);在角度限制滤波器之上形成光谱滤波器的工序(c)。形成光谱滤波器的工序(c)包括如下工序:工序(c1),通过剥离法而形成第一透光膜,所述第一透光膜具有在俯视观察半导体基板时与遮光部重叠的边缘部;工序(c2),通过剥离法而在俯视观察半导体基板时远离第一透光膜的位置处形成第二透光膜,所述第二透光膜具有在俯视观察半导体基板时与遮光部重叠的边缘部。
-
公开(公告)号:CN101174751A
公开(公告)日:2008-05-07
申请号:CN200710184967.X
申请日:2007-10-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本发明提供即使发生温度变化等也能高效地抑制输出光的功率下降从而光利用效率高、输出稳定的激光光源装置,及利用效率提高了的图像显示装置。该激光光源装置,具备:射出第1波长的光的光源(311);对从光源所射出的光进行反射而形成谐振器的多层膜镜(314);设置于在光源与多层膜镜之间形成的光路(LW)上的、将第1波长的光之中的一部分光的波长变换成第2波长的波长变换元件(313)、及在第1波长附近具有带通特性的带通滤波器(312);使透射了多层膜镜的光分离于光路(LW)和第2光路的反射镜(315);和对所分离的光的输出进行测定的激光输出测定部(316);其中:多层膜镜具有对第1波长的光进行反射、并使第2波长的光进行透射的电介质多层膜;基于激光输出测定部的输出信号进行带通滤波器的倾斜角度(θ)的调节。
-
公开(公告)号:CN1867862A
公开(公告)日:2006-11-22
申请号:CN200480030302.8
申请日:2004-10-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: G03B21/14
CPC classification number: G03B21/208 , G03B21/2026 , G03B21/2066
Abstract: 本发明的照明装置,是具有椭圆面反射器130、发光管120、辅助反射镜122、平行化透镜140A的照明装置100A,其特征在于:在平行化透镜140A的光入射面140Ai上,形成有与从发光管120的发光中心P发射的光之中的以与照明光轴110Aax成60°~80°中的任意角度向椭圆面反射器侧发射的光、由椭圆面反射器130反射后入射到平行化透镜140A的光入射面140Ai上的光对应地被最优化的减反射膜142A。因此,如果采用本发明的照明装置,则可以整体地进一步降低平行化透镜的光入射面或光射出面的反射率,进一步提高光利用效率,并且可以进一步减少不需要的杂散光。另外,如果采用本发明的投影机,则由于具有如上述的可以进一步提高光利用效率并且进一步减少不需要的杂散光的照明装置,所以成为高亮度高画质的投影机。
-
-