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公开(公告)号：CN118076208A
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202311561489.5
申请日：2023-11-21
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H10N30/853 , H10N30/20 , H10N30/00
Abstract: 本发明提供一种压电特性和耐久性优异的压电元件、压电致动器。压电元件具备基板、第一电极、包含钾、钠和铌的薄膜压电体和第二电极。在将薄膜压电体在成膜方向上二等分，并将第一电极侧设为第一区域且将第二电极侧设为第二区域时，在第一区域中(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值除以(100)面的XRD峰值强度、(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值的得到的值A，小于在薄膜压电体中(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值除以(100)面的XRD峰值强度、(111)面的XRD峰值强度和(011)面的XRD峰值强度的合计值而得到的值B。
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公开(公告)号：CN116367695A
公开(公告)日：2023-06-30
申请号：CN202211674272.0
申请日：2022-12-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
Abstract: 本申请提供压电体、压电元件以及液体喷出头，其不具有中间层地不易产生裂纹。一种压电体，包含钾、钠以及铌，并具有钙钛矿结构，针对多个测量区域进行拉曼光谱分析而得到的归属于A1g的峰的拉曼位移为400cm‑1以上且700cm‑1以下，所述多个测量区域中的所述峰中的拉曼位移的最大值和最小值之差为11.0cm‑1以下。
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公开(公告)号：CN106486595B
公开(公告)日：2020-06-23
申请号：CN201610740490.8
申请日：2016-08-26
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/187 , H01L41/09 , B41J2/045
Abstract: 一种压电元件，具备第1电极，利用溶液法形成于上述第1电极上且由含有钾、钠及铌的钙钛矿型结构的复合氧化物构成的压电体层，以及设置在上述压电体层上的第2电极，上述压电体层在通过θ‑2θ测定得到的X射线衍射图案中具有来自（200）面的峰和来自（002）面的峰。
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公开(公告)号：CN106427217A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610640074.0
申请日：2016-08-04
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 酒井朋裕
IPC: B41J2/14
CPC classification number: H01L41/0805 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2002/1425 , B41J2202/03 , H01L41/0477 , H01L41/0478 , H01L41/0815 , H01L41/0973 , H01L41/1878 , H01L41/27 , H01L41/29 , H01L41/297 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种压电元件，具备：第一电极；压电体层，设置于所述第一电极，由优先取向于面的钙钛矿型结构的复合氧化物的结晶形成；以及第二电极，设置于所述压电体层，由优先取向于面的铂形成，所述压电体层的所述第二电极侧的结晶的面间隔(L2)大于所述第一电极侧的结晶的面间隔(L1)。
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公开(公告)号：CN102189797B
公开(公告)日：2015-06-10
申请号：CN201110060931.7
申请日：2011-03-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/1612 , C01G23/003 , C01G29/006 , C01P2002/52 , C04B35/462 , C04B35/475 , C04B2235/3201 , C04B2235/3215 , C04B2235/3281 , C04B2235/3298 , C04B2235/768 , H01L41/083 , H01L41/187
Abstract: 本发明的目的在于提供一种减轻对环境的负担且压电特性优良的液体喷射头、液体喷射装置、压电元件以及压电材料。该液体喷射头具有：压力发生室，其与喷出液体的喷嘴开口连通；和压电元件，其具备由具有钙钛矿型构造的复合氧化物形成的压电材料层以及设置于压电材料层的电极层，复合氧化物含有铋、钠、钡、钛以及铜，铜相对于钛和铜的总量的比例为0.35mol％～0.70mol％。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102529371A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110360314.9
申请日：2011-11-14
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045
CPC classification number: H01L41/0815 , B41J2/055 , B41J2/14233 , B41J2/161 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1634 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , B41J2002/14241 , B41J2002/14258 , B41J2002/14419 , H01L41/1878 , H01L41/318
Abstract: 本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。提供具有电极与压电体层的密合性优异的压电元件的液体喷射头。该液体喷射头具备与喷嘴开口连通的压力发生室和压电元件，所述压电元件具备由铂形成的第1电极，和由含有铋、钡、铁、锰和钛的具有钙钛矿结构的复合氧化物形成的压电体层，和第2电极；在所述压电体层与所述第1电极之间具有含铁、钡、钛和氧的层状化合物。
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公开(公告)号：CN102233731A
公开(公告)日：2011-11-09
申请号：CN201110092551.1
申请日：2011-04-08
Applicant: 精工爱普生株式会社
Inventor： 酒井朋裕
IPC: B41J2/14 , B41J2/045 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/14032 , B41J2202/03 , H01L41/0973 , H01L41/1878
Abstract: 一种液体喷射头、液体喷射装置以及压电元件。本发明提供具备环境负担小并且具有良好压电特性的压电体层的液体喷射头以及具备该液体喷射头的液体喷射装置。本发明的液体喷射头(600)具备包含由薄膜法形成的压电体层(30)以及对压电体层30施加电压的电极(10、20)的压电致动器(102)。液体喷射头(600)的压电体层(30)是包含钛酸铋钠和0.2摩尔％以上8.0摩尔％以下的铜的固溶体。
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公开(公告)号：CN102189797A
公开(公告)日：2011-09-21
申请号：CN201110060931.7
申请日：2011-03-09
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/045 , H01L41/083
CPC classification number: B41J2/1612 , C01G23/003 , C01G29/006 , C01P2002/52 , C04B35/462 , C04B35/475 , C04B2235/3201 , C04B2235/3215 , C04B2235/3281 , C04B2235/3298 , C04B2235/768 , H01L41/083 , H01L41/187
Abstract: 本发明的目的在于提供一种减轻对环境的负担且压电特性优良的液体喷射头、液体喷射装置、压电元件以及压电材料。该液体喷射头具有：压力发生室，其与喷出液体的喷嘴开口连通；和压电元件，其具备由具有钙钛矿型构造的复合氧化物形成的压电材料层以及设置于压电材料层的电极层，复合氧化物含有铋、钠、钡、钛以及铜，铜相对于钛和铜的总量的比例为0.35mol％～0.70mol％。
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公开(公告)号：CN106229405B
公开(公告)日：2018-11-23
申请号：CN201610191495.X
申请日：2016-03-30
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: H01L41/08 , H01L41/18 , H01L41/187 , B41J2/045
CPC classification number: H01L41/04 , B41J2/14201 , B41J2/14233 , B41J2002/14241 , B41J2202/03 , H01L41/0805 , H01L41/18 , H01L41/1873 , H01L41/318
Abstract: 本发明提供一种实现了压电特性的提高和漏电流的抑制中的至少一方的压电元件及压电元件应用设备。压电元件(300)具备：第1电极(60)；通过溶液法在上述第1电极(60)上形成的由包含钾、钠、铌的钙钛矿型结构的复合氧化物构成的压电体层(70)；设置在上述压电体层(70)上的第2电极(80)，将上述压电体层(70)以10万倍拍摄截面SEM图像并在横向的测定值成为1273nm的条件下进行评价时，在该压电体层(70)中含有2个以上的空隙(75)，各空隙的在膜厚方向成为最大的直径中，最大值与最小值之差为14nm以下且上述最大值为24nm以下。
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公开(公告)号：CN107053848B
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201611224574.2
申请日：2016-12-27
Applicant: 精工爱普生株式会社
IPC: B41J2/14
Abstract: 本发明提供压电元件、压电元件应用设备以及压电元件的制造方法。一种压电元件，具备第1电极；压电体层，该压电体层包括第1压电体膜和多个第2压电体膜，上述第1压电体膜形成在第1电极上且含有钾、钠以及铌，上述多个第2压电体膜形成在第1压电体膜上且含有钾、钠以及铌；以及第2电极，该第2电极形成在压电体层上，压电体层是多个压电体膜的层叠体，第1压电体膜具有30nm以上且70nm以下的厚度，分别的压电体膜内的钠的浓度沿膜厚方向形成梯度，在第1电极侧高，在第2电极侧低。
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