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实用新型
一种金属剥离机边缘夹持形机械手臂有权转让

公开(公告)号：CN219426835U

公开(公告)日：2023-07-28

申请号：CN202320859362.0

申请日：2023-04-18

申请人： 苏州芯慧联半导体科技有限公司

发明人： 任潮群 , 陈泳 , 周军奎 , 崔建敏 , 崔国江 , 吴荣崇 , 杨冬野

IPC分类号： B25J18/00 , B25J19/00

摘要： 本实用新型属于晶圆加工制造技术领域，尤其涉及一种金属剥离机边缘夹持形机械手臂，包括：驱动手臂，驱动手臂为L型，驱动手臂一端与金属剥离机固定连接，另一端固定连接有固定夹持板，固定夹持板远离驱动手臂的一端的两侧分别固定连接有固定夹持手臂，两个固定夹持手臂远离固定夹持板的一端分别可拆卸连接有固定夹持块；固定夹持板远离驱动手臂的一端内侧滑动连接有移动夹持手臂，驱动手臂内侧设有驱动部，驱动部与移动夹持手臂一端传动连接，移动夹持手臂远离驱动手臂的一端可拆卸连接有移动夹持块。利用这些结构，实现了一种提高夹持晶圆的稳定性，并且能够方便地更换夹头实现对不同尺寸的晶圆的夹持的金属剥离机边缘夹持形机械手臂。