-
公开(公告)号:CN114447003A
公开(公告)日:2022-05-06
申请号:CN202110235650.4
申请日:2021-03-03
Applicant: 采钰科技股份有限公司
IPC: H01L27/146
Abstract: 本发明实施例提出一种图像感测器及其形成方法,图像感测器的形成方法包括提供基底,包括多个感测部;形成彩色滤光层于基底上;形成微透镜材料层于彩色滤光层上;以及形成硬掩模图案于微透镜材料层上,其中硬掩模图案具有第一间隙和大于第一间隙的第二间隙。图像感测器的形成方法包括回流硬掩模图案以形成多个圆盖物;将圆盖物转移至微透镜材料层以形成多个微透镜;以及形成顶膜顺应性地于微透镜上。
-
公开(公告)号:CN113658963A
公开(公告)日:2021-11-16
申请号:CN202010922443.1
申请日:2020-09-04
Applicant: 采钰科技股份有限公司
Inventor: 林绮涵
IPC: H01L27/146
Abstract: 本公开实施例提供一种固态成像装置,其具有一第一区域及围绕第一区域的一第二区域。固态成像装置包含一基板,基板具有多个光电转换元件。固态成像装置也包含一彩色滤光片层,彩色滤光片层设置于基板之上。彩色滤光片层包含多个彩色滤光片区段,彩色滤光片区段对应于光电转换元件。固态成像装置还包含一光波导层,光波导层设置于彩色滤光片层上方。光波导层包含一波导分隔网格、在波导分隔网格的空隙中的一波导材料及在波导分隔网格与波导材料上的一抗反射膜。波导分隔网格的顶部的宽度大于波导分隔网格的底部的宽度。
-
公开(公告)号:CN110703383B
公开(公告)日:2021-03-02
申请号:CN201910476906.3
申请日:2019-06-03
Applicant: 采钰科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种光学元件的制造方法。该制造方法包括下列步骤:提供一基板;形成复数个金属栅于该基板上;形成一第一有机层于该基板上,位于该等金属栅之间;形成一第二有机层于该第一有机层与该等金属栅上;以及蚀刻该第二有机层与该第一有机层,以留下该等金属栅以及位于该等金属栅上的复数个图案化第二有机层。本发明亦提供一种通过该方法所制作的光学元件。
-
公开(公告)号:CN110703383A
公开(公告)日:2020-01-17
申请号:CN201910476906.3
申请日:2019-06-03
Applicant: 采钰科技股份有限公司
Abstract: 本发明提供一种光学元件的制造方法。该制造方法包括下列步骤:提供一基板;形成复数个金属栅于该基板上;形成一第一有机层于该基板上,位于该等金属栅之间;形成一第二有机层于该第一有机层与该等金属栅上;以及蚀刻该第二有机层与该第一有机层,以留下该等金属栅以及位于该等金属栅上的复数个图案化第二有机层。本发明亦提供一种通过该方法所制作的光学元件。
-
公开(公告)号:CN105810698B
公开(公告)日:2019-07-16
申请号:CN201510622474.4
申请日:2015-09-25
Applicant: 采钰科技股份有限公司
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14621 , H01L27/14623 , H01L27/14627 , H01L27/1464
Abstract: 本发明提供固态成像装置,其包含半导体基底含有多个光电转换元件,彩色滤光层包含彼此分隔的第一彩色滤光组件与第二彩色滤光组件设置于半导体基底上方,微透镜结构包含彼此分隔的第一微透镜元件与第二微透镜元件各别设置于第一与第二彩色滤光组件上,固态成像装置还包含填充空气的间隙,此间隙位于第一彩色滤光组件与第二彩色滤光组件之间,并且也位于第一微透镜元件与第二微透镜元件之间。本发明可增加固态成像装置的每一像素的灵敏度,例如信号对信噪比(signal to noise ratio,SNR10),也可提升固态成像装置的量子效率(QE)。
-
公开(公告)号:CN106206630A
公开(公告)日:2016-12-07
申请号:CN201510872230.1
申请日:2015-12-02
Applicant: 采钰科技股份有限公司
IPC: H01L27/146
Abstract: 本发明实施例公开了一种图像传感器,包括一感测层、一第一微透镜、以及多个第二微透镜。第一微透镜设置于感测层。第二微透镜设置于感测层,且邻近于第一微透镜。第一微透镜的直径大于每一第二微透镜的直径。本发明实施例的技术方案能改进图像信号的品质。
-
公开(公告)号:CN104934452A
公开(公告)日:2015-09-23
申请号:CN201410253500.6
申请日:2014-06-09
Applicant: 采钰科技股份有限公司
IPC: H01L27/146
CPC classification number: H01L27/14623 , H01L27/14621 , H01L27/14627 , H01L27/14685
Abstract: 本公开提供固态成像装置,固态成像装置包含基底,其含有第一和第二光电转换元件,彩色滤光层具有第一和第二彩色滤光部件分别设置在第一和第二光电转换元件之上,遮光分隔物设置于第一与第二彩色滤光部件之间,遮光分隔物的高度低于第一和第二彩色滤光部件的高度,缓冲层设置于第一与第二彩色滤光部件之间,并且缓冲层位于遮光分隔物上方,其中缓冲层的折射率低于彩色滤光层的折射率。本公开的固态成像装置可克服固态成像装置的相邻画素像素之间的光学串音干扰问题。
-
公开(公告)号:CN104167420A
公开(公告)日:2014-11-26
申请号:CN201410159090.9
申请日:2014-04-18
Applicant: 采钰科技股份有限公司
IPC: H01L27/146 , H01L21/8238
CPC classification number: H01L27/14685 , H01L27/14621 , H01L27/14627 , H01L27/14629 , H01L27/1464
Abstract: 本发明提供一种背照式CMOS图像传感器及其形成方法,所述背照式CMOS图像传感器包含:一第一保护层设于一光二极管阵列上;一氧化物格栅设于第一保护层上,并形成多个暴露第一保护层的孔洞;一彩色滤光片阵列,包含多个彩色滤光片并填入所述多个孔洞中,其中氧化物格栅的折射率小于这些彩色滤光片的折射率;一金属格栅,对齐于这些氧化物格栅,其中金属格栅的消光系数大于0。本发明不但可减少相邻像素单元之间的光串音问题,且可增加入射光入射至光二极管的强度,因而可更提升BSI CMOS图像传感器的效能及量子效率。
-
-
-
-
-
-
-