薄膜形成装置和薄膜形成方法

    公开(公告)号:CN104164650A

    公开(公告)日:2014-11-26

    申请号:CN201410203311.8

    申请日:2014-05-14

    Abstract: 本发明提供薄膜形成装置和薄膜形成方法,该装置能够在成膜对象部件的表面形成致密薄膜,其用于使蒸镀材料蒸镀在玻璃基板(2)的表面而在玻璃基板(2)的表面形成薄膜,具备安装有玻璃基板(2)的保持部件(10);使蒸镀材料蒸发的蒸发部(8)及朝向保持部件(10)对从蒸发部(8)蒸发出的蒸镀材料中照射离子束的离子枪(6),离子枪(6)包括阳极(26)和阴极(22);向阳极(26)和阴极(22)之间供给气体并产生等离子体的等离子体供给单元及分别对阳极(26)和阴极(22)施加电压以便在它们之间产生电位差的阳极电源(28)和阴极电源(24),阴极(22)具有与阴极电源(24)并联连接的2个以上灯丝(22A)。

    精密玻璃球的制造方法及玻璃光学元件的制造方法

    公开(公告)号:CN1654384B

    公开(公告)日:2013-06-26

    申请号:CN200510007502.8

    申请日:2005-02-04

    CPC classification number: C03C12/00 C03B7/12 C03B11/08 C03B40/04

    Abstract: 本发明公开了一种利用简便方法制造没有光学不均一层的玻璃原料,及从没有光学不均一层玻璃原料中,制造光学性能优良的玻璃光学元件的方法。这种精密玻璃球的制造方法:包括使熔融的玻璃滴下,把滴下的熔融玻璃块在承模上成型,形成玻璃原球的工序,及除去上述玻璃原球表面的光学不均一层,获得没有光学不均一层的玻璃球(精密玻璃球)的工序。玻璃光学元件的制造方法:包括根据所要获得的光学元件形状,使用加工精密形状的模压成型模,把加热软化的玻璃原料模压成型。即把上述精密玻璃球作为上述玻璃原料使用。

    模压成形模具及光学元件的制造方法

    公开(公告)号:CN1792906B

    公开(公告)日:2010-09-01

    申请号:CN200510128659.6

    申请日:2005-11-23

    CPC classification number: C03B11/08 C03B2215/72 Y02P40/57

    Abstract: 将上模(滑动模)(10)的大径部11的轴方向的长度设为(L1),将上模(10)的小径部(12)的轴方向的长度设为(L2)时,L1>L2成立,当在主体模(30)的第(2)内周大径部(33)内收容下模(静止模)(20)的大径部(21)时,通过主体模(30)与下模(20)的凸缘部(22)对接,规定下模(20)和主体模(30)的相互位置,上模(10)以10μm以下的滑动间隙、滑动导向于主体模(30)中的部分的轴方向的长度设为(L),将主体模(30)的轴方向的整体长度设为(S)时,L≥0.5S成立。

    模压成形模具及光学元件的制造方法

    公开(公告)号:CN1792906A

    公开(公告)日:2006-06-28

    申请号:CN200510128659.6

    申请日:2005-11-23

    CPC classification number: C03B11/08 C03B2215/72 Y02P40/57

    Abstract: 将上模(滑动模)(10)的大径部11的轴方向的长度设为(L1),将上模(10)的小径部(12)的轴方向的长度设为(L2)时,L1>L2成立,当在主体模(30)的第(2)内周大径部(33)内收容下模(静止模)(20)的大径部(21)时,通过主体模(30)与下模(20)的凸缘部(22)对接,规定下模(20)和主体模(30)的相互位置,上模(10)以10μm以下的滑动间隙、滑动导向于主体模(30)中的部分的轴方向的长度设为(L),将主体模(30)的轴方向的整体长度设为(S)时,L≥0.5S成立。

    精密玻璃球的制造方法及玻璃光学元件的制造方法

    公开(公告)号:CN1654384A

    公开(公告)日:2005-08-17

    申请号:CN200510007502.8

    申请日:2005-02-04

    CPC classification number: C03C12/00 C03B7/12 C03B11/08 C03B40/04

    Abstract: 本发明公开了一种利用简便方法制造没有光学不均一层的玻璃原料,及从没有光学不均一层玻璃原料中,制造光学性能优良的玻璃光学元件的方法。这种精密玻璃球的制造方法:包括使熔融的玻璃滴下,把滴下的熔融玻璃块在承模上成型,形成玻璃原球的工序,及除去上述玻璃原球表面的光学不均一层,获得没有光学不均一层的玻璃球(精密玻璃球)的工序。玻璃光学元件的制造方法:包括根据所要获得的光学元件形状,使用加工精密形状的模压成型模,把加热软化的玻璃原料模压成型。即把上述精密玻璃球作为上述玻璃原料使用。

Patent Agency Ranking