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公开(公告)号：CN107924806A
公开(公告)日：2018-04-17
申请号：CN201680049837.2
申请日：2016-05-12
申请人： MKS仪器有限公司
IPC分类号： H01J37/32
摘要： 一种用于对将功率施加到诸如等离子体腔室等的负载的RF功率供应器进行控制的系统包括：主控功率供应器和从属功率供应器。主控功率供应器向从属功率供应器提供诸如频率及相位信号的控制信号。从属功率供应器接收该频率及相位信号，并且还接收从负载检测到的频谱发射的信号特征。从属RF功率供应器改变施加到负载的从属RF功率供应器的RF输出信号的相位和功率。改变功率将对离子分布函数的宽度进行控制，并且改变相位将对离子分布的波峰进行控制。根据RF发生器与负载之间的耦合，检测不同的频谱发射，包括一次谐波、二次谐波、以及在双频驱动系统的情况下的互调失真。
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公开(公告)号：CN107836031A
公开(公告)日：2018-03-23
申请号：CN201680041188.1
申请日：2016-07-07
申请人： MKS仪器有限公司
摘要： 射频(RF)控制系统包括RF产生器，RF产生器具有输出RF信号的功率放大器以及控制器。匹配网络接收RF信号并且产生多个RF输出信号。匹配网络包括比率调谐元件，以改变多个RF输出信号之间的功率比率。第一控制器将比率控制信号传送至匹配网络，并且匹配网络根据比率控制信号控制比率调谐元件。RF控制系统以连续模式和脉冲模式的操作进行操作。控制器还可控制脉冲边缘的上升或下降、或脉冲边缘中的增量改变的电平或持续时间。
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公开(公告)号：CN104124130B
公开(公告)日：2017-07-28
申请号：CN201410171657.4
申请日：2014-04-25
申请人： MKS仪器有限公司
CPC分类号： H05H1/46 , H01J37/32082 , H01J37/32155 , H01J37/32165 , H01J37/32935 , H05H2001/4682
摘要： 本发明公开了频率和相位的多射频功率源控制。一种系统具有第一RF发生器及第二RF发生器。该第一RF发生器控制该第二RF发生器的频率。该第一RF发生器包括功率源、传感器及传感器信号处理单元。该传感器信号处理单元联接至该功率源和该传感器。该传感器信号处理单元缩放该第一RF发生器的频率，以控制该第二RF发生器的频率。
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公开(公告)号：CN103187968B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201210587127.9
申请日：2012-12-28
申请人： MKS仪器有限公司
发明人： 戴维·J·库莫
摘要： 本申请公开了频率调谐射频功率源的基于功率失真的伺服控制系统。一种射频系统包括：功率放大器，该功率放大器经由所述功率放大器与匹配网络之间的传输线路将射频信号输出到所述匹配网络。传感器监控所述射频信号并基于所述射频信号生成第一传感器信号。失真模块根据（i）所述第一传感器信号的正弦曲线函数和ii）所述第一传感器信号的互相关函数中的至少一个确定第一失真值。第一校正电路（i）基于所述第一失真值和第一预定值生成第一阻抗调谐值，以及（ii）提供在所述匹配网络中执行的阻抗匹配的前馈控制，包括将所述第一阻抗调谐值输出到所述功率放大器和所述匹配网络中的一个。
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公开(公告)号：CN105103660A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：CN201380074722.5
申请日：2013-11-21
申请人： MKS仪器有限公司
CPC分类号： B23K20/10 , B23K20/004 , B23K2101/42 , H01J37/32082 , H01J37/32165 , H01J37/32183
摘要： 一种射频(RF)功率传递系统包括第一RF发生器和第二RF发生器。该第一RF发生器作为主RF发生器操作，并且第二RF发生器作为从RF发生器操作。该从RF发生器包括用于感测该从RF发生器的RF信号的电气性质的检测器。该从RF发生器还包括用于感测来自该主RF发生器的RF信号的电气性质的检测器。该从RF发生器的操作受主管器或控制器控制。该主管器或控制器根据由第二检测器确定的电气性质，操作该从RF发生器。
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公开(公告)号：CN104969666A
公开(公告)日：2015-10-07
申请号：CN201380072406.4
申请日：2013-11-21
申请人： MKS仪器有限公司
发明人： 戴维·J·库莫 , 拉里·J·菲斯克二世 , 亚伦·T·瑞多姆斯基 , 金宰显 , 李相元 , 乔纳森·斯米卡
IPC分类号： H05H1/46
CPC分类号： H01J37/32174 , H01J37/3299
摘要： 公开一种射频(RF)系统。该RF系统包括RF传感器、模拟数字转换器(ADC)模块、处理模块和同步模块。该RF传感器测量RF输出的参数，并且基于该参数，生成RF信号。该ADC模块将该RF信号的样本转换为数字值。该处理模块基于该数字值生成处理过的值。该同步模块响应于该RF输出中的转变，输出该处理过的值中之一。
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公开(公告)号：CN103592494A
公开(公告)日：2014-02-19
申请号：CN201310359090.9
申请日：2013-08-16
申请人： MKS仪器有限公司
CPC分类号： G01R19/00 , G01R15/181 , H01F27/2804 , H01F38/30 , H01F2038/305 , H05H1/46 , H05H2001/4682
摘要： 本申请公开对基于平面的RF传感器技术的改进。射频传感器系统包括印刷电路板（PCB）。PCB包括第一和第二外层、第一和第二内层以及限定贯穿PCB的孔的内边缘。PCB还包括第一回路。第一回路包括通过多个第一迹线联接至多个第一通孔的多个第一传感器衬垫。多个第一传感器衬垫被布置在内边缘上。PCB还包括第二回路。第二回路包括通过多个第二迹线联接至多个第二通孔的多个第二传感器衬垫。多个第二传感器衬垫被布置在内边缘上。芯环被嵌入在接近于多个第一传感器衬垫、第一通孔以及第一迹线的第一内层中。用于传送RF电流的中心导体延伸穿过该孔。第一和第二回路基于多个第一和第二传感器衬垫、多个第一和第二通孔、多个第一和第二迹线以及芯环生成电信号。
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