一种基于半导体多台阶深度刻蚀的表面金薄膜图形化方法

    公开(公告)号:CN110223957B

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN201910491834.X

    申请日:2019-06-06

    IPC分类号: H01L21/768

    摘要: 本发明属于半导体技术领域,具体涉及一种基于半导体多台阶深度刻蚀的表面金薄膜图形化方法。解决了现有技术中去除刻蚀结构上的金膜去除效率低、难度大及效果差的问题,采用优先沉积金薄膜并完成金薄膜的图形化成型,然后利用已图形过的金薄膜作为一种光刻掩蔽层材料,完成多台阶深度的刻蚀成型,以实现多台阶深度基底上金薄膜优异的图形结构的制备,从而保证良好的产品质量,丰富了金薄膜图形化的工艺路径设计,拓展了复杂金薄膜图形化的应用领域。

    一种应用于增材制造的气氛保护装置

    公开(公告)号:CN109648079B

    公开(公告)日:2021-04-27

    申请号:CN201811564387.8

    申请日:2018-12-20

    IPC分类号: B22F3/105 B33Y30/00

    摘要: 本发明提出一种应用于增材制造的气氛保护装置,可针对当前打印工作的区域进行惰性气氛保护,克服了现有增材制造工艺中气氛保护需要在较大空间内充入惰性气体保护的问题。该气氛保护装置包括架设于粉缸顶部表面的局部粉床防护罩,局部粉床防护罩的下端面为空并作为与粉缸顶部表面的接触面,局部粉床防护罩前、后侧的内壁分别设置有科恩达腔体,科恩达腔体的导气细缝位于局部粉床防护罩下端面;科恩达腔体与粉缸的外边缘保持间距以留出烟尘气流通道;局部粉床防护罩前、后侧的上部设置有进气管和出气管,贯穿科恩达腔体与铺粉区域连通,进气管用于通入惰性气体,并与出气管构成循环管路。

    一种激光焦耳复合热源金属细丝增材制造装置及方法

    公开(公告)号:CN112643205A

    公开(公告)日:2021-04-13

    申请号:CN202110099818.3

    申请日:2021-01-25

    摘要: 本发明公开了一种激光焦耳复合热源金属细丝增材制造装置及方法,利用激光装置、送丝机构、焦耳加热装置、成形基板和控制器形成激光焦耳复合增材制造装置,将焦耳加热装置设置于成形基板上端,送丝机构的送丝口与焦耳加热装置的进丝口对齐,丝材通过送丝机构送丝进入焦耳加热装置加热后到达成形基板,激光装置的加热点和焦耳加热装置的出丝口出丝均位于待成型点上,通过将电流通入丝材,丝材由于焦耳热的作用被加热至接近熔点的温度,利用激光辅助提供部分热量用于熔化丝材,并且在基板上或前一层表面形成熔池,使其形成冶金结合,能够有效的利用电能,减小所需激光的功率,提高整体能量利用率。

    一种辐射自屏蔽的工业在线CT

    公开(公告)号:CN112577980A

    公开(公告)日:2021-03-30

    申请号:CN202011459804.X

    申请日:2020-12-11

    IPC分类号: G01N23/046 G21F3/00

    摘要: 本发明提供一种辐射自屏蔽的工业在线CT,解决传统工业CT采用自屏蔽装置与检测大尺寸零件相互冲突,使得可检测零件的尺寸相对较小以及现有自屏蔽装置只能离线检测的问题。该工业在线CT包括立柱转台、立柱、横梁、屏蔽仓转台、辐射屏蔽仓、安装支架、探测器、射线源和N个工件转台,其中,N大于等于1;立柱设置在立柱转台上;横梁设置在立柱上;屏蔽仓转台悬挂在横梁下端,辐射屏蔽仓设置屏蔽仓转台下端;辐射屏蔽仓的两侧设置有开口,且开口处设置有铅橡胶防止辐射泄露;安装支架位于工件转台的上方,且设置在辐射屏蔽仓内;探测器、射线源设置在安装支架内,用于对设置在工件转台上的被检测件进行检测。

    一种3D打印制备仿生中空人体部位模型的方法

    公开(公告)号:CN112497728A

    公开(公告)日:2021-03-16

    申请号:CN202011041545.9

    申请日:2020-09-28

    摘要: 本发明涉及一种制备人体部位模型的方法,具体涉及一种3D打印制备仿生中空人体部位模型的方法。解决传统铸造和注塑工艺制备模型时间长、成本高、个体化差异小以及3D打印的医学模型无法在手术缝合,反复撕扯等训练应用的缺陷,包括数据采集,数据处理,建立模型,制备壳体模具、中空内模模具及装配件模具,模具处理,模具组装固位,硅胶灌注,模具拔模等步骤。通过本方法制备的仿生中空人体部位模型真实,接近目标人体部位真实表面硬度,表面光滑不发粘,模型厚度及分布与人体部位一致,组织结构观察明显,耐受反复撕扯。适用于手术模拟,缝合手术训练,临床教学等。

    一种基于随动粉缸的EBSM设备的成型方法

    公开(公告)号:CN112317746A

    公开(公告)日:2021-02-05

    申请号:CN202011041602.3

    申请日:2020-09-28

    摘要: 本发明涉及一种基于随动粉缸的EBSM设备的成型方法。以解决传统EBSM设备存在的不能满足大构件的制作要求及加工效率低的技术问题。包括确定扫描路径与参数;控制工作台到达打印位置,把粉定量送给铺粉压实组件,将粉铺匀压实到工作台的基板上;工作台匀速旋转并下降;控制工作台每转一周过程中,工作台按指令在工作台支撑驱动装置作用下逐渐降低至少j个层厚的高度;j为大于等于2的正整数;工作台转到首次经过的打印扫描区时,控制系统打开所有的打印组件,控制打印组件按照确定的扫描路径进行扫描,熔化打印模型截面内的粉末,使之凝固、沉积形成待成型工件截面及随动粉缸截面;打印完成后,工作台及其上的随动粉缸,移出真空打印室。

    强化组件、具有在线强化效果的增材加工装置及加工方法

    公开(公告)号:CN109530689B

    公开(公告)日:2021-02-02

    申请号:CN201811416083.7

    申请日:2018-11-26

    IPC分类号: B22F3/105 C23C24/10 B33Y30/00

    摘要: 本发明公开了强化组件、具有在线强化效果的增材加工装置及加工方法,为了解决现有增材加工装置在进行增材强化时部分区域强化不到的技术问题,本发明的增材加工装置包括机床及打印头,机床包括主轴箱及工作台,工作台位于主轴箱的下方,主轴箱的下端具有主轴接口;打印头包括激光熔覆头及强化组件,激光熔覆头安装于主轴箱上,且位于主轴箱的外侧,相对于主轴箱可上下移动;强化组件安装在主轴箱的主轴接口处;加工时,熔覆头下移至指定位置,进行单层的激光熔覆;之后,安装与主轴刀柄接口内的强化组件,按照熔覆轨迹进行强化。本发明能够消除熔覆层组织内的空洞、疏松、微裂纹等缺陷,提高工件致密度。

    一种复合增减材加工成形装置及方法

    公开(公告)号:CN111957968A

    公开(公告)日:2020-11-20

    申请号:CN202010916895.9

    申请日:2020-09-03

    摘要: 本发明公开了一种复合增减材加工成形装置及方法,通过在工作台板上设置铺粉刮刀,工作台板上开设有通孔,工作台板下端固定有与工作台板通孔连通的成形缸体,成形缸体内设有能够在成型缸体内上下移动的活塞组件,活塞组件上设有打印基板,工作台板上通过铺粉刮刀能够将打印粉料铺设在打印基板上,利用多类型激光协同复合扫描系统与能够在工作台板上增材成形的铺粉刮刀系统形成能够同时增减材装置,采用脉冲激光冲击加工零件表面,能有效调控零件在长时间交替热作用下的残余应力状态,从而减少零件翘曲变形,提高成形质量,能够在增材成形过程中消除增材制造参与应力的问题,同时不需要分离空间,可在一个氛围空间下完成增减材,提高了生产效率。