公开(公告)号：CN112404696A

公开(公告)日：2021-02-26

申请号：CN202010778290.8

申请日：2020-08-05

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 李成用 ,  铃木俊成 ,  明承镐 ,  韩京熙 ,  韩圭完

IPC分类号： B23K26/00 ,  B23K26/70

摘要： 本公开涉及一种激光设备，包括：第一真空腔室，其中在第一真空腔室中的目标基底上执行加工；激光器，面对第一真空腔室；载体，设置在第一真空腔室中，其中目标基底坐置在载体上；腔室窗，设置在第一真空腔室的一个表面中，其中由激光器发射的激光束穿过腔室窗；第一保护窗，位于载体和腔室窗之间；第二真空腔室，设置在第一真空腔室的第一侧处；和传送单元，配置为将第一保护窗传送到第二真空腔室。

公开(公告)号：CN112305771A

公开(公告)日：2021-02-02

申请号：CN202010323975.3

申请日：2020-04-22

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 埃米尔·阿斯拉诺夫 ,  朴喆镐 ,  亚历山大·沃罗诺夫 ,  韩圭完

IPC分类号： G02B27/09

摘要： 公开了利用棱镜的激光束均化器及包括其的激光热处理装置，激光束均化器包括对输入的激光束的行进方向进行变更的棱镜。所述棱镜包括：分离面，将输入的所述激光束分离成向与所述激光束的行进方向垂直的方向行进的反射成分和向所述棱镜内部进入的折射成分；以及至少两个以上的内部反射面，在内部反射所述折射成分。所述激光束均化器输出包括第一成分和第二成分的激光束，所述第一成分定义为所述反射成分，所述第二成分在所述内部反射面反射后通过所述分离面放射并跟随所述第一成分的路径，所述第二成分具有与所述第一成分的强度模式相比针对第一轴翻转的强度模式。

公开(公告)号：CN111266725A

公开(公告)日：2020-06-12

申请号：CN201911220089.1

申请日：2019-12-03

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 三宫晓史 ,  金炯柱 ,  亚历山大·乌若诺夫 ,  崔银善 ,  韩圭完

IPC分类号： B23K26/064

摘要： 本申请涉及激光加工装置。根据示例性实施方式的激光加工装置包括：光源，生成激光束；以及光会聚单元，将激光束会聚至待加工对象上的焦点，其中，光会聚单元包括：第一光学元件，包括穿透第一光学元件的通孔；第二光学元件，包括反射激光束的第一区域和透射激光束的第二区域；以及第三光学元件，包括作为凸透镜的聚焦透镜，第一光学元件的下表面是凹面镜，并且第二光学元件的上表面是凸的且第二光学元件的下表面是凹的。

公开(公告)号：CN104283099B

公开(公告)日：2019-08-02

申请号：CN201410119974.1

申请日：2014-03-27

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 吴郎燫 ,  柳济吉 ,  亚历山大·沃罗诺夫 ,  韩圭完

IPC分类号： H01S3/10

CPC分类号： H01L21/268 ,  B23K26/0648 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02675 ,  H01L21/02691

摘要： 提供了一种执行激光晶化的方法。所述方法包括：产生激光束；使激光束折射，以使激光束的强度在激光束的焦平面处均匀化；将强度被均匀化的激光束施加到安装在工作台上的目标基底。

公开(公告)号：CN109932808A

公开(公告)日：2019-06-25

申请号：CN201811533022.9

申请日：2018-12-14

申请人： 三星显示有限公司

发明人： E·阿斯拉诺夫 ,  亚历山大·沃罗诺夫 ,  韩圭完

IPC分类号： G02B13/00 ,  G02B27/42

摘要： 提供了一种包括具有衍射光学元件的F-θ透镜的光学系统。所述F-θ透镜包括衍射光学元件和多个球面透镜。衍射光学元件包括具有三级或更多级并且被限定在衍射光学元件的表面上的多级衍射结构，衍射光学元件在激光束的路径上布置在球面透镜之前。

公开(公告)号：CN109719390A

公开(公告)日：2019-05-07

申请号：CN201811285146.X

申请日：2018-10-31

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 金道善 ,  姜泽教 ,  明承镐 ,  崔珉圭 ,  韩圭完

IPC分类号： B23K26/14

CPC分类号： B23K26/38 ,  B08B5/02 ,  B08B15/04 ,  B23K26/142 ,  B23K26/147 ,  B23K26/1476 ,  B23K26/361 ,  B23K26/702 ,  B23K2103/50

摘要： 提供了一种激光加工设备，该激光加工设备可以包括：激光发生器，被构造为产生激光束；平台，被构造为支撑目标对象；至少一个供给喷嘴，位于平台上以朝向平台喷射空气；吸单元，被构造为吸入外部空气；以及吸结构，位于平台上方并且邻近于所述至少一个供给喷嘴。吸结构可以包括连接到吸单元的吸孔以吸入外部空气。吸结构可以包括限定有吸孔的倾斜表面。吸结构可以包括邻近于供给喷嘴的第一表面，开口可以被限定在第一表面的与底表面邻近的区域中。倾斜表面与目标对象之间的距离可以小于或等于开口的高度。

公开(公告)号：CN103722292B

公开(公告)日：2017-10-31

申请号：CN201310013802.1

申请日：2013-01-15

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 丁一荣 ,  韩圭完 ,  金俊亨

IPC分类号： B23K26/142

CPC分类号： B23K26/142 ,  B23K26/361 ,  B23K26/362

摘要： 本发明涉及一种激光加工装置，该激光加工装置利用激光，包括：光源，用于沿第一方向形成中空激光束；反射部件，用于将沿第一方向的所述中空激光束的行进路径改变为朝向所述基板的第二方向；透镜，用于汇聚由所述反射部件反射的所述中空激光束；及空气供给部，用于向由所述中空激光束加工所述基板时所产生的颗粒供给空气，所述透镜包括贯穿所述透镜的第一通孔，所述反射部件包括贯穿所述反射部件的第二通孔，所述第一通孔及所述第二通孔形成所述颗粒的排出路径。

公开(公告)号：CN104283099A

公开(公告)日：2015-01-14

申请号：CN201410119974.1

申请日：2014-03-27

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 吴郎燫 ,  柳济吉 ,  亚历山大·沃罗诺夫 ,  韩圭完

IPC分类号： H01S3/10

CPC分类号： H01L21/268 ,  B23K26/0648 ,  H01L21/02532 ,  H01L21/02675 ,  H01L21/02691

摘要： 提供了一种执行激光晶化的方法。所述方法包括：产生激光束；使激光束折射，以使激光束的强度在激光束的焦平面处均匀化；将强度被均匀化的激光束施加到安装在工作台上的目标基底。

公开(公告)号：CN103424866A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201310079420.9

申请日：2013-03-13

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 金佖奎 ,  韩圭完 ,  柳济吉 ,  金兑龙 ,  金硕焕 ,  金成坤

IPC分类号： G02B26/08

CPC分类号： G02B26/0816 ,  B41J2/471 ,  G02B26/105

摘要： 一种用于照射激光束的光学模块，包括：镜支架；联接到所述镜支架的中心的旋转轴；联接到所述镜支架的一端的振动构件，该振动构件使所述镜支架的所述一端沿前后方向振动；固定到所述镜支架的镜，该镜通过借助所述镜支架执行相对于所述旋转轴的往复旋转运动来照射激光束；以及布置在所述镜支架的第一侧和第二侧中的至少一个上的重量块。所述重量块位于所述旋转轴与所述第一侧和所述第二侧中的所述至少一个之间，以补偿所述镜的同轴性。

公开(公告)号：CN109872961B

公开(公告)日：2024-07-05

申请号：CN201811470485.5

申请日：2018-12-04

申请人： 三星显示有限公司

发明人： 三宫暁史 ,  李惠淑 ,  柳济吉 ,  韩圭完 ,  崔银善

IPC分类号： H01L21/67

摘要： 本发明公开一种激光晶化装置。根据本发明的实施例的激光晶化装置包括：激光发生器，发生激光束形态的至少一个输入光；光学系统，将所述输入光转换为至少一个输出光；以及工作台，安装被加工物，并被所述输出光照射，其中，所述光学系统包括：第一偏振旋转器，改变所述输入光的偏振状态；偏振分束器，在光路上布置于所述第一偏振旋转器的后方，并根据偏振状态将入射的光透射或反射，从而将所述输入光分支为沿第一方向及与所述第一方向交叉的第二方向行进的光；以及多个镜子，将从所述偏振分束器分支后的光中沿所述第一方向行进的光反射而使其再次朝向所述偏振分束器，从而形成环路。