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公开(公告)号：CN106544641A
公开(公告)日：2017-03-29
申请号：CN201610920894.5
申请日：2016-10-21
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明涉及一种制备硬质合金基体金刚石涂层的喷砂预处理方法；该方法针对硬质合金基体；首先，采用喷砂技术对硬质合金基体表面进行冲蚀粗化，然后采用酸处理以对基体进行脱钴，制备出适合金刚石薄膜生长的均匀粗化的表面形貌。本发明涉及的预处理方法与常规酸碱两步法预处理相比，可以有效控制硬质合金基体表面粗糙度，极大提高金刚石涂层沉积初期的形核密度，并且在预处理后不会形成疏松层，有效提高了金刚石涂层与基体的附着力。该预处理方法不受基体形状的限制，适用于复杂形状硬质合金基体的金刚石涂层制备，且操作简单、应用方便，生产效率高、无污染，产业化前景光明，因而具有显著地经济效益。
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公开(公告)号：CN101736323B
公开(公告)日：2012-01-04
申请号：CN200910311897.9
申请日：2009-12-21
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种刀具制造技术领域的刀具表面掺硼金刚石复合涂层制备装置，包括：反应罩、合金钻头、支撑台及冷却装置、直流偏压电源、热丝电源、气压控制装置、耐高温弹簧、热丝和钻头支架，其中：合金钻头和耐高温弹簧分别竖直设置于钻头支架上，热丝的两端分别与耐高温弹簧相连接，钻头支架固定设置于支撑台及冷却装置上，反应装置固定设置于支撑台及冷却装置以及钻头支架的外部并与气压控制装置相连接，直流偏压电源分别于热丝及反应罩外壳相连，热丝电源的分别与热丝及耐高温弹簧相连。能够保证金刚石复合薄膜与基体之间具有良好的附着强度，并且能够有效改善金刚石薄膜的表面质量和均匀性，从而提高金刚石薄膜涂层刀具的使用寿命和切削性能。
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公开(公告)号：CN1167827C
公开(公告)日：2004-09-22
申请号：CN01113027.X
申请日：2001-05-31
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种金刚石复合涂层拉丝模制备方法，以大孔径硬质合金拉丝模为衬底，经稀盐酸滴加双氧水腐蚀，清洗后用穿孔热丝CVD法首先沉积一层常规金刚石薄膜，然后降低反应气体压力，增加碳源体积浓度，并添加Ar气，原位继续沉积一层纳米金刚石膜组成复合涂层。本发明的复合涂层既具有常规涂层耐磨，附着力强的优点，又兼有纳米金刚石涂层表面光滑，摩擦系数小，易研磨抛光等特点，适用于各种金属材料的拉丝。
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公开(公告)号：CN1401818A
公开(公告)日：2003-03-12
申请号：CN02136951.8
申请日：2002-09-12
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种大孔径金刚石涂层拉拔模制备方法，以孔径大于φ15毫米的硬质合金拉拔模为衬底，内孔表面经稀盐酸滴加双氧水腐蚀、清洗后置于反应室中，采用由多根热丝组成并由圆形钼片均匀隔离分布的鼠笼式热丝组件来替代单根热丝，热丝组件穿过模孔后用耐高温弹簧拉直，并使热丝组件轴线与模孔轴线相重合，然后用热丝CVD法在内孔表面沉积得到金刚石涂层及纳米金刚石复合涂层。由于本发明采用的鼠笼式多根热丝分布的对称性与均匀性，以及热丝与孔径表面的距离缩短，涂层的质量和厚度都能得到保证。制备的涂层拉拔模可用于多股电线的绞合和紧压，也可用于金属管的管壁减薄、管壁对焊、定径等各种用途，具有摩擦系数小、使用寿命长等优点。
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公开(公告)号：CN1327084A
公开(公告)日：2001-12-19
申请号：CN01113027.X
申请日：2001-05-31
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种金刚石复合涂层拉丝模制备方法,以大孔径硬质合金拉丝模为衬底,经稀盐酸滴加双氧水腐蚀,清洗后用穿孔热丝CVD法首先沉积一层常规金刚石薄膜,然后降低反应气体压力,增加碳源体积浓度,并添加Ar气,原位继续沉积一层纳米金刚石膜组成复合涂层。本发明的复合涂层既具有常规涂层耐磨,附着力强的优点,又兼有纳米金刚石涂层表面光滑,摩擦系数小,易研磨抛光等特点,适用于各种金属材料的拉丝。
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公开(公告)号：CN1211635A
公开(公告)日：1999-03-24
申请号：CN98110896.2
申请日：1998-06-12
申请人： 上海交通大学 , 南京新金刚石工具有限公司
摘要： 一种金刚石涂层拉丝模及其制备方法,以市售大孔径硬质合金拉丝模为衬底,内孔表面酸处理腐蚀钴时滴加双氧水进行促进和控制,以平行气流穿孔热丝CVD沉积方法制备金刚石薄膜涂层,即将热灯丝拉直穿过拉丝模的孔并置于模孔的轴心,所需的反应气体气流与热灯丝方向一致。这种拉丝模涂层均匀,附着力强,与常规的硬质合金拉丝模相比,工作寿命可提高5倍以上。
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公开(公告)号：CN106544641B
公开(公告)日：2019-08-23
申请号：CN201610920894.5
申请日：2016-10-21
申请人： 上海交通大学 , 上海交闵精密耐磨器件有限公司
摘要： 本发明涉及一种制备硬质合金基体金刚石涂层的喷砂预处理方法；该方法针对硬质合金基体；首先，采用喷砂技术对硬质合金基体表面进行冲蚀粗化，然后采用酸处理以对基体进行脱钴，制备出适合金刚石薄膜生长的均匀粗化的表面形貌。本发明涉及的预处理方法与常规酸碱两步法预处理相比，可以有效控制硬质合金基体表面粗糙度，极大提高金刚石涂层沉积初期的形核密度，并且在预处理后不会形成疏松层，有效提高了金刚石涂层与基体的附着力。该预处理方法不受基体形状的限制，适用于复杂形状硬质合金基体的金刚石涂层制备，且操作简单、应用方便，生产效率高、无污染，产业化前景光明，因而具有显著地经济效益。
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公开(公告)号：CN105624641A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201610053751.9
申请日：2016-01-26
申请人： 上海交通大学 , 上海交闵精密耐磨器件有限公司
CPC分类号： C23C16/271 , C23C16/0254 , C23C16/46
摘要： 本发明公开了一种金刚石涂层机械密封环的制备方法，以硬质合金、碳化硅/氮化硅陶瓷机械密封环为基体，通过热丝化学气相沉积法在机械密封环的工作表面沉积金刚石薄膜。具体工艺方法为：首先在基体表面沉积一层晶粒粗壮、耐磨损性能优异但不易抛光的微米金刚石薄膜，再通过改变工艺参数在微米金刚石颗粒间沉积细化的纳米金刚石颗粒，以填充粗壮微米金刚石颗粒间的凹陷部位，达到降低金刚石涂层表面粗糙度，便于后续研磨抛光的目的。本发明通过两步沉积法得到的金刚石涂层机械密封环，可大幅降低接触端面的磨损率，其工作寿命较未涂层机械密封环大幅提升。
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公开(公告)号：CN1294293C
公开(公告)日：2007-01-10
申请号：CN200410067571.3
申请日：2004-10-28
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： C23C16/503 , C23C16/27
摘要： 一种镀覆技术领域的制备纳米金刚石薄膜的辅助栅极热丝化学气相沉积法，在热丝CVD沉积金刚石薄膜的基础上，增加一种辅助栅极，辅助栅极在热丝沉积初期，先行沉积一层金刚石薄膜，然后在栅极和热丝之间加上直流偏压，栅极为负，栅极表面的金刚石薄膜即发射电子而形成直流放电，其中正离子将轰击栅极，被轰击下来的金刚石原子和原子集团将溅落到衬底上，成为金刚石形核和生长驱动点，溅射对衬底上金刚石的高密度形核和二次形核起了关键作用，衬底表面沉积得到纳米金刚石薄膜。本发明能达到极高的形核密度，同时在生长过程中有很高的二次形核速率，能生长得到纳米级的金刚石薄膜，沉积后薄膜无须研磨抛光就能达到较高的光洁度，满足使用要求。
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公开(公告)号：CN104674186B
公开(公告)日：2018-05-29
申请号：CN201510056617.X
申请日：2015-02-03
申请人： 上海交通大学
摘要： 本发明公开了一种制备非晶碳化硅陶瓷‑金刚石复合涂层的方法；首先，采用大分子有机硅烷作为前驱体，采用大分子前驱裂解的方法在衬底表面裂解生成非晶碳化硅陶瓷薄膜，然后采用热丝化学气相沉积法原位沉积微米金刚石薄膜，以制备非晶碳化硅陶瓷‑金刚石复合涂层。与现有技术相比，本发明采用大分子前驱裂解的方法制备的非晶碳化硅过渡层可以有效阻隔两步法与处理之后硬质合金基体表面的残余钴相，同时改善硬质合金基体的粗化表面，制备获得的非晶碳化硅陶瓷‑金刚石复合涂层既具有优异的附着性能，又具有极高的耐磨损性能，适合用于制备高质量金刚石涂层刀具。
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