一种用于钴互连阻挡层钛的化学机械抛光液及化学机械抛光方法

    公开(公告)号:CN118791973A

    公开(公告)日:2024-10-18

    申请号:CN202410792194.7

    申请日:2024-06-19

    IPC分类号: C09G1/02 H01L21/306

    摘要: 本发明公开了一种用于钴互连阻挡层钛的化学机械抛光液及化学机械抛光方法,所述化学机械抛光液由1‑10wt.%的磨料、0.5‑5wt.%的氧化剂、10‑150mmol/L的络合剂、pH调节剂以及余量的水组成,所述络合剂为柠檬酸或柠檬酸盐。本发明的化学机械抛光液选用合适的氧化剂、络合剂种类和浓度配比,在抛光液中化学物质的化学反应和磨粒的机械磨损协同作用下,提高金属钛的材料去除速率,并获得优质光滑的表面在钴互连阻挡层钛的CMP工艺中具有广阔的应用前景。

    一种超声波清理储煤仓装置
    38.
    发明公开

    公开(公告)号:CN112744464A

    公开(公告)日:2021-05-04

    申请号:CN202010696392.5

    申请日:2020-07-20

    IPC分类号: B65D88/66

    摘要: 本发明提供一种超声波清理储煤仓装置,采用超声波振动清理储煤仓。本装置主要包括超声波发生器、保护壳体、热风干燥装置。超声波发生器安装在储煤仓内壁,外部安装一层保护壳体,热风干燥装置安装在保护壳体内部。超声波在水介质中传播并且发生空化作用清理挂壁煤。利用超声波发生器发出超声波与液体间发生空化作用,液体中的微小气泡核在超声波作用下产生振动,当声压达到一定值时,气泡将迅速膨胀,然后突然闭合,在气泡闭合时产生冲击波,因而在液体中产生一个力,将附着在储煤仓内壁的煤击落。本发明要解决的问题是采用清理力度强且结构简单的超声波装置清理储煤仓,实现储煤仓挂壁煤的高效清理。

    钛铁矿氧化活化方法
    39.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110433963B

    公开(公告)日:2021-04-09

    申请号:CN201910703429.X

    申请日:2019-07-31

    IPC分类号: B03D1/00 B03D103/02

    摘要: 本发明是一种钛铁矿氧化活化方法。将钛铁矿原矿或次级精矿磨矿至单体基本解离,添加调整剂调整矿浆pH,添加高锰酸钾并使之与钛铁矿充分发生氧化还原反应,形成三价铁离子覆盖的钛铁矿新表面,然后添加油酸钠并使其基团与钛铁矿新表面的三价铁离子活性位点充分附着和稳定吸附,形成疏水表面,然后进行钛铁矿常规浮选,获得钛铁矿精矿。本发明所述方法能使氧化活化后的钛铁矿表面与捕收剂基团发生稳固化学吸附,表面疏水性大幅增加,实现高效捕收。