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公开(公告)号：CN205899055U
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201620721670.7
申请日：2016-07-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B1/115
Abstract: 本专利公开了一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片，该保护片以Ta2O5和SiO2为高低折射率材料，入射面采用负滤光片加多层分光膜的膜系设计方法辅以等效匹配层，获得满足要求的设计结果；背面设计了宽光谱减反射膜，以消除因剩余反射而引起的鬼像。VNIR狭缝保护片在制备过程中采用了离子辅助沉积、合适的沉积温度及沉积速率等特定工艺。该VNIR狭缝保护片能够实现对480-700nm波段的中性分光，同时对400-440nm、800-1100nm的宽光谱波段实现高透射。本专利VNIR狭缝保护片性能稳定，适合于高光谱相机VNIR波段的光谱选择与能量控制使用。
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