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公开(公告)号：CN115201941B
公开(公告)日：2023-09-12
申请号：CN202110392524.X
申请日：2021-04-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种适用于空间环境的高效红外宽光谱减反射膜，该减反射膜是在红外透镜或窗口基底上，以Ge、YbF3为高低折射率材料进行主膜系构建，以ZnS为粘合层改善基底与膜层材料间的结合特性，辅以最外层ZnS为保护层提高减反射膜的空间环境使用可靠性。膜系设计采用考虑介质吸收的高低折射率交替膜系设计方法辅以粘合层，获得满足技术要求的设计结果。该宽光谱减反射膜在制备过程中采用了离子辅助沉积、合适的沉积温度及沉积速率等特定工艺，能够实现对2‑16μm波段能量高效透射，同时具有良好的空间环境可靠性，适合于多谱段红外遥感仪器的透镜和窗口使用，在保证红外光学系统能量的高效传递的同时减少了鬼像对成像系统的影响。
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公开(公告)号：CN112162340B
公开(公告)日：2022-03-29
申请号：CN202010965503.8
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种以锗为基底45度角倾斜使用的红外宽光谱分色片，该分色片入射面采用长波通滤光片的膜系结构形式，实现短波红外反射，中长波红外透射的光谱分光功能，膜系采用锗和硫化锌作为高低折射率材料。通过使用双反射堆来实现多通道宽带反射，反射堆两端加匹配层，匹配层中使用氟化镱，优化匹配层压缩透射通道波纹；出射面设计了宽光谱减反射膜，以获得透射通道高透射率。分色片在制备过程中采用合适的沉积速率、沉积温度与离子辅助沉积等工艺。该分色片能实现在1.29μm～1.38μm、1.58μm～1.83μm、1.95μm～2.32μm三个通道内高反射，3.70μm～12.50μm内多个通道高透射。本发明的分色片可靠性好、光学及物理性能稳定。
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公开(公告)号：CN107132603B
公开(公告)日：2019-07-23
申请号：CN201710387548.X
申请日：2017-05-27
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种从紫外到短波红外的宽光谱低偏振灵敏度分色片，该分色片以石英为基底，膜系以Nb2O5和Ta2O5为高折射率材料、以SiO2为低折射率材料。在石英基底一面依次添加中心波长从近红外至紫外逐渐递减的长波通反射膜Ⅰ、反射膜Ⅱ、反射膜Ⅲ和反射膜Ⅳ，在反射膜Ⅰ与基底之间插入匹配层Ⅰ，在反射膜Ⅳ与空气之间添加匹配层Ⅱ，最后保持全部高折射率膜层厚度不变，将低折射率膜层厚度作为唯一优化参数对初始膜系进行优化从而获得最终分色膜系。本发明分色片光谱覆盖范围宽、偏振灵敏度低，能够有效地将波段相近的近红外光谱进行分离，适合于多光谱低偏振灵敏度航天海洋遥感仪器的分色使用。
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公开(公告)号：CN106644069B
公开(公告)日：2019-04-02
申请号：CN201610893673.3
申请日：2016-10-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J3/04
Abstract: 本发明公开了一种以蓝宝石为基底的亚微米级厚度的光学狭缝，该狭缝通过在蓝宝石片基底的入射面先镀制一层亚微米级厚的镍铬合金消光膜层形成狭缝图形，然后再分别在入射面和出射面镀制相应波段的增透膜。该狭缝可以使得在0.95～2.50微米光谱区间，透明狭缝区域的光谱透过率大于97％,不透明区域的光谱平均透过率低于0.1％。该狭缝宽度和形状可调，线性精度可达1微米。狭缝厚度仅为200～300纳米，可有效去除杂散光，狭缝结构简洁，定位精度高。该狭缝可应用于短波红外成像光谱仪等短波红外仪器中。
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公开(公告)号：CN107894283A
公开(公告)日：2018-04-10
申请号：CN201711000670.3
申请日：2017-10-24
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种宽光谱范围F-P可调谐滤波器多级透射峰的抑制方法。该方法具体是指根据高光谱遥感覆盖的波段，通过合理划分Fabry-Perot可调谐滤波器的工作光谱范围，并确定Fabry-Perot腔的腔长变化区间，来消除Fabry-Perot腔多级透射峰的影响，使Fabry-Perot可调谐滤波器在[λmin,λmax]内只存在单一透射峰，确保Fabry-Perot可调谐滤波器的波长扫描模式满足高光谱成像应用要求。本发明可以有效扩展基于空间遥感应用的Fabry-Perot可调谐滤波器的工作光谱范围，加速高光谱、超光谱成像设备的小型化和轻量化。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105758522A
公开(公告)日：2016-07-13
申请号：CN201610243071.3
申请日：2016-04-19
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G01J3/04
CPC classification number: G01J3/04
Abstract: 本发明公开了一种以蓝宝石为基底的亚微米级厚度的光学狭缝，该狭缝通过在蓝宝石片基底的入射面先镀制一层亚微米级厚的镍铬合金消光膜层形成狭缝图形，然后再分别在入射面和出射面镀制相应波段的增透膜。该狭缝可以使得在0.95～2.50微米光谱区间，透明狭缝区域的光谱透过率大于97％,不透明区域的光谱平均透过率低于0.1％。该狭缝宽度和形状可调，线性精度可达1微米。狭缝厚度仅为200～300纳米，可有效去除杂散光，狭缝结构简洁，定位精度高。该狭缝可应用于短波红外成像光谱仪等短波红外仪器中。
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公开(公告)号：CN115201941A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202110392524.X
申请日：2021-04-13
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种适用于空间环境的高效红外宽光谱减反射膜，该减反射膜是在红外透镜或窗口基底上，以Ge、YbF3为高低折射率材料进行主膜系构建，以ZnS为粘合层改善基底与膜层材料间的结合特性，辅以最外层ZnS为保护层提高减反射膜的空间环境使用可靠性。膜系设计采用考虑介质吸收的高低折射率交替膜系设计方法辅以粘合层，获得满足技术要求的设计结果。该宽光谱减反射膜在制备过程中采用了离子辅助沉积、合适的沉积温度及沉积速率等特定工艺，能够实现对2‑16μm波段能量高效透射，同时具有良好的空间环境可靠性，适合于多谱段红外遥感仪器的透镜和窗口使用，在保证红外光学系统能量的高效传递的同时减少了鬼像对成像系统的影响。
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公开(公告)号：CN108388023A
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201810090458.9
申请日：2018-01-30
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
Abstract: 本发明公开了一种大口径宽光谱F-P可调谐滤波器的高精密装配系统，该装配系统主要由定镜安装模块、动镜安装模块、压电惯性驱动器、三维微位移平台和二维电动位移台组成，采用粗调、微调和精调三重调节机构调节对F-P腔的初始腔长和反射镜面间平行度进行精确设定，腔长调节分辨率可以达到10nm量级，腔内两反射镜面间平行度可以达到10-1μrad量级。该高精密装配系统位移定位精度高，平行度调节能力强，能够确保大口径宽光谱范围F-P可调谐滤波器的F-P腔的初始腔长和反射镜面间平行度满足高光谱遥感应用要求。
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公开(公告)号：CN106019426B
公开(公告)日：2017-10-13
申请号：CN201610538955.1
申请日：2016-07-11
Applicant: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC: G02B1/115
Abstract: 本发明公开了一种以蓝宝石为基底的可见光近红外波段狭缝保护片，该保护片以Ta2O5和SiO2为高低折射率材料，入射面采用负滤光片加多层分光膜的膜系设计方法辅以等效匹配层，获得满足要求的设计结果；背面设计了宽光谱减反射膜，以消除因剩余反射而引起的鬼像。VNIR狭缝保护片在制备过程中采用了离子辅助沉积、合适的沉积温度及沉积速率等特定工艺。该VNIR狭缝保护片能够实现对480‑700nm波段的中性分光，同时对400‑440nm、800‑1100nm的宽光谱波段实现高透射。本发明VNIR狭缝保护片性能稳定，适合于高光谱相机VNIR波段的光谱选择与能量控制使用。
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