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公开(公告)号:CN117420628A
公开(公告)日:2024-01-19
申请号:CN202210811407.7
申请日:2022-07-11
申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC分类号: G02B5/28
摘要: 本发明公开了一种对紫外可见光截止的宽光谱红外透射滤光窗口,该窗口基底为硒化锌晶体,基底一面上设计宽带截止膜,其主膜系采用长波通滤光片式的膜系结构,以硒化锌和氟化镱分别作为高、低折射率材料。使用两个截止膜堆实现宽带截止,主膜系两端添加匹配层,通过优化匹配层提升红外波段透射率;基底另一面设计了宽光谱减反膜。滤光窗口的光学薄膜制备过程中采用了合适的沉积温度、沉积速率以及离子辅助沉积等工艺。该窗口能阻止0.20μm~0.80μm宽波段内的光通过,允许0.92μm~15.50μm宽波段的光通过,经过后续光路到达红外探测器响应区。本发明的滤光窗口性能稳定、可靠性好,适合于红外成像系统中的光谱选择使用。
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公开(公告)号:CN110488402B
公开(公告)日:2023-07-04
申请号:CN201910618839.4
申请日:2019-07-10
申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC分类号: G02B5/08 , G02B1/10 , C23C14/02 , C23C14/08 , C23C14/18 , C23C14/24 , C23C14/30 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C28/00
摘要: 本发明公开了一种紫外可见红外高效反射的银基薄膜结构及镀膜方法。该银基薄膜结构采用银反射膜加上长波通的介质反射膜构成膜系主体,功能设计上,银膜高效反射可见红外波段,长波通介质反射膜反射紫外波段,同时作为银膜保护层。所述镀膜方法为采用常温蒸镀技术与原子层沉积技术的结合,常温蒸镀技术保持银膜光学性能,原子层沉积技术镀制无针孔致密膜,对银膜形成有效保护。本发明的优点在于实现了紫外可见红外高效反射、提高了银膜的耐环境特性、可有效保持镜面面形和光洁度,适用于高端光学仪器和遥感载荷的光学系统的多波段高效传递。
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公开(公告)号:CN108388023B
公开(公告)日:2023-05-05
申请号:CN201810090458.9
申请日:2018-01-30
申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
摘要: 本发明公开了一种大口径宽光谱F‑P可调谐滤波器的高精密装配系统,该装配系统主要由定镜安装模块、动镜安装模块、压电惯性驱动器、三维微位移平台和二维电动位移台组成,采用粗调、微调和精调三重调节机构调节对F‑P腔的初始腔长和反射镜面间平行度进行精确设定,腔长调节分辨率可以达到10nm量级,腔内两反射镜面间平行度可以达到10‑1μrad量级。该高精密装配系统位移定位精度高,平行度调节能力强,能够确保大口径宽光谱范围F‑P可调谐滤波器的F‑P腔的初始腔长和反射镜面间平行度满足高光谱遥感应用要求。
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公开(公告)号:CN112162341A
公开(公告)日:2021-01-01
申请号:CN202010965517.X
申请日:2020-09-15
申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
摘要: 本发明公开了一种光栅多级次光谱和红外背景辐射抑制的光学滤光片。在光学基片的正面上,利用线性渐变前截止滤光片,实现超光谱光学成像系统宽波段范围内,由于光栅分光引起的二级光谱的抑制与消除;在同一光学基片的背面,划分两块不同的区域,分别制备后截止滤光片和窄带滤光片,分别实现红外背景辐射抑制和光栅零级次光谱的消除。其中,光学滤光片背面区域的划分,由凸面光栅零级次光谱出现的位置来具体确定。该光学滤光片具有高度的功能集成性、结构紧凑、光学效率高等特点。
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公开(公告)号:CN110488402A
公开(公告)日:2019-11-22
申请号:CN201910618839.4
申请日:2019-07-10
申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC分类号: G02B5/08 , G02B1/10 , C23C14/02 , C23C14/08 , C23C14/18 , C23C14/24 , C23C14/30 , C23C16/40 , C23C16/455 , C23C28/00
摘要: 本发明公开了一种紫外可见红外高效反射的银基薄膜结构及镀膜方法。该银基薄膜结构采用银反射膜加上长波通的介质反射膜构成膜系主体,功能设计上,银膜高效反射可见红外波段,长波通介质反射膜反射紫外波段,同时作为银膜保护层。所述镀膜方法为采用常温蒸镀技术与原子层沉积技术的结合,常温蒸镀技术保持银膜光学性能,原子层沉积技术镀制无针孔致密膜,对银膜形成有效保护。本发明的优点在于实现了紫外可见红外高效反射、提高了银膜的耐环境特性、可有效保持镜面面形和光洁度,适用于高端光学仪器和遥感载荷的光学系统的多波段高效传递。
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公开(公告)号:CN107894283B
公开(公告)日:2019-09-27
申请号:CN201711000670.3
申请日:2017-10-24
申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
摘要: 本发明公开了一种宽光谱范围F‑P可调谐滤波器多级透射峰的抑制方法。该方法具体是指根据高光谱遥感覆盖的波段,通过合理划分Fabry‑Perot可调谐滤波器的工作光谱范围,并确定Fabry‑Perot腔的腔长变化区间,来消除Fabry‑Perot腔多级透射峰的影响,使Fabry‑Perot可调谐滤波器在[λmin,λmax]内只存在单一透射峰,确保Fabry‑Perot可调谐滤波器的波长扫描模式满足高光谱成像应用要求。本发明可以有效扩展基于空间遥感应用的Fabry‑Perot可调谐滤波器的工作光谱范围,加速高光谱、超光谱成像设备的小型化和轻量化。
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公开(公告)号:CN106324737B
公开(公告)日:2018-10-19
申请号:CN201610893828.3
申请日:2016-10-13
申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC分类号: G02B5/20
摘要: 本发明公开了一种以蓝宝石为基底的短波红外带通滤光片,该滤光片使用了硅、一氧化硅和二氧化硅为不同折射率的膜层材料,在基底的两个表面分别沉积多层光学薄膜。一氧化硅作为间隔层膜层材料,降低了硅薄膜在带通区域存在吸收的影响。该滤光片元件可以使得在1.36~1.39微米(μm)区间具有良好的透光效果,平均透过率>90%;在0.80~1.34μm和1.41~1.80μm区间截止,透过率小于1%。短波红外具有高灵敏度、高分辨率、昼夜成像等优点,广泛应用于遥感、测量等领域。该带通滤光片在短波红外具有很好的应用价值。
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公开(公告)号:CN106644069A
公开(公告)日:2017-05-10
申请号:CN201610893673.3
申请日:2016-10-13
申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC分类号: G01J3/04
CPC分类号: G01J3/04
摘要: 本发明公开了一种以蓝宝石为基底的亚微米级厚度的光学狭缝,该狭缝通过在蓝宝石片基底的入射面先镀制一层亚微米级厚的镍铬合金消光膜层形成狭缝图形,然后再分别在入射面和出射面镀制相应波段的增透膜。该狭缝可以使得在0.95~2.50微米光谱区间,透明狭缝区域的光谱透过率大于97%,不透明区域的光谱平均透过率低于0.1%。该狭缝宽度和形状可调,线性精度可达1微米。狭缝厚度仅为200~300纳米,可有效去除杂散光,狭缝结构简洁,定位精度高。该狭缝可应用于短波红外成像光谱仪等短波红外仪器中。
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公开(公告)号:CN103245999B
公开(公告)日:2016-01-13
申请号:CN201310148794.1
申请日:2013-04-26
申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
IPC分类号: G02B5/28
摘要: 本发明公开了一种宽光谱带外抑制光学滤光片,在光学基片的两面分别制备滤光片的主峰膜系和带外抑制膜系。滤光片主峰选用全介质薄膜材料,采用多谐振腔F-P结构或前后截止膜系结构,滤光片带外抑制选用介质与金属薄膜材料组合,利用诱导透射实现滤光片宽光谱范围的带外抑制。该光学滤光片具有光谱稳定,带外抑制范围宽,高可靠性,高信噪比等特点。
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