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公开(公告)号：CN106248564A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610548432.5
申请日：2016-07-13
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： G01N17/00
摘要： 本发明公开了一种极紫外辐照损伤测试系统，包括光源腔室、收集镜腔室和测量腔室，收集镜腔室与测量腔室之间装有快门，快门可通过开/关状态的切换来改变光束的后续传播；测试腔室容纳有样品调节台、能量校准单元和辐照能量在线测试单元，样品调节台用于装载辐照损伤测试样品，辐照能量在线测试单元设置在快门与样品调节台之间的光路上，用于测试辐照在样品表面的能量，能量校准单元设置于在线测试单元与样品调节台之间的光路上，用于校准辐照能量在线测试单元。本发明的系统可在辐照损伤测试过程中实时测试辐照能量，提高辐照损伤测试结果的准确性和可靠性，且结构简单，安装方便，容易操作。
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公开(公告)号：CN105784941A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610168958.0
申请日：2016-03-23
申请人： 中国科学院光电研究院
摘要： 本发明公开了一种在线式气体分析装置及方法，用于分析各种过程气体的成分和浓度，特别是在线测量和分析高压环境中气体成分和浓度，其中该装置包括高压气源、采样模块、安全阀、分流模块、第一阀门、限流器、第二阀门、分析模块、止回阀、吸收器、减压阀、标准气源和加热器，使用该装置的方法包括以下步骤：系统抽本底、调节采样气体流量、气体分析测试、采样气体抽除、关闭气体分析装置。采用该装置对高压气体进行自动在线分析，显著提高了采样气体量，消除了气体采样时的分子歧视效应，有效抵消限流装置的气体选择性，能够动态、实时、准确地反映高压气体的气体成分及浓度，并自带校准功能。
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公开(公告)号：CN105258925A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201510772679.0
申请日：2015-11-12
申请人： 中国科学院光电研究院
摘要： 本发明公开了一种极紫外光源性能参数测量系统，其包括：EUV光源腔室、反射镜腔室、测量腔室，其中设置有旋转调节装置；所述旋转调节装置包括：旋转圆盘、至少一个前置部件装载结构、至少一个测量仪器探测部件以及旋转转盘的支撑调节结构；所述旋转圆盘开有至少一个通光孔，所述至少一个测量仪器探测部件安装在所述至少一个通光孔后方；所述旋转转盘的支撑调节结构包括：第一调节杆，将所述旋转圆盘悬空连接到所述测量腔室后壁的接口法兰上；第二调节杆，其穿过所述第一调节杆内部及所述旋转圆盘中心孔，以旋钮方式固定在支撑板上；支撑板，其固定于所述测量腔室底部腔壁上。
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公开(公告)号：CN103281855B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201310182436.2
申请日：2013-05-16
申请人： 中国科学院光电研究院
摘要： 本发明公开了一种液态金属靶产生装置，其能够产生用于等离子激发的金属液滴，该装置包括：用于存储液态金属靶材料的储液箱，储液箱的底端与一个导管相连通；腔体，位于所述储液箱的下方，使得所述导管穿过腔体的上部进入腔体内部，以至于所述储液箱内的液态金属靶材料能通过该导管滴入到该腔体的内部；转轮，呈圆柱体形且能绕其中心轴转动，且该中心轴与该导管垂直，并且，该转轮与导管对准，以致从导管中滴下的液态金属靶材料能落到所述转轮的侧面，并通过转动的所述转轮的加速而形成所述金属液滴。本发明能够产生稳定、高频、高速的微小液态金属靶有效控制液态金属靶的直径，保证发光稳定性，有效控制发光过程中的系统污染。
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公开(公告)号：CN103364401B
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：CN201310319441.3
申请日：2013-07-26
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： G01N21/84
摘要： 本发明公开了一种极紫外辐照材料测试系统，EUV光源室用于容纳EUV光源，EUV光源用于辐射出宽谱近软X射线；滤波片室用于放置滤波片，滤波片用于将宽谱近软X射线滤波成窄谱EUV辐照；收集镜室用于放置收集镜，收集镜用于将EUV辐照汇聚到样品室中；光谱检测室用于安装一个反射镜和一个光谱仪，反射镜用于将来自收集镜室的EUV辐照反射到光谱议；样品室用于容纳所要测试的样品、CCD和能量计，并且能够使样品、CCD和能量计轮流移动至能够接受EUV辐照的同一位置。本发明能够得到不同样品的极紫外辐照损伤情况。
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公开(公告)号：CN103286031B
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：CN201310182453.6
申请日：2013-05-16
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： B05B17/04
摘要： 本发明公开了一种液滴产生装置，用于将静止的液体物料转化为液滴后以一定的速度射出，该装置包括用于存储液体物料(8)的储液箱(9)，该储液箱(9)的底端与至少一个进料导管(10)相连通，液滴产生装置包括一个腔体，腔体的中心位置设置一个转轮(11)，其中心轴平行于水平面；进料导管(10)从腔体上部穿透到达转轮(11)所在的空间，以便储液箱(9)内的液体物料(8)通过进料导管(10)能够滴落到转轮(11)的侧面，从而该转轮(11)为流入的液体物料加速后从该转轮(11)侧面的一个切向将液体物料以液滴形式甩出。本发明能够产生出射频率与直径均稳定可调、且具有一定初速度的微米级液滴。
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公开(公告)号：CN104619055A
公开(公告)日：2015-05-13
申请号：CN201410789102.6
申请日：2014-12-17
申请人： 东南大学 , 中国科学院光电研究院
IPC分类号： H05B3/42
摘要： 本发明公开了一种真空内局部加热方法，该方法包括如下步骤：提供需要在真空中进行加热的加热丝(1)、小陶瓷珠(2)和紫铜管(3)；将需要进行加热的加热丝(1)、小陶瓷珠(2)和紫铜管(3)表面进行清洁处理；加热丝(1)上穿上小陶瓷珠(2)，使加热丝(1)与外层金属绝缘，再将上述组件以一定的排列顺序紧密放入紫铜管(3)内部或外部，实现紫铜管温度的均匀分布；将加热丝(1)固定在法兰接线柱(4)上，从真空外部加上电压，从而实现了局部加热。可以提高加热效率，避免管壁放气的干扰。
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公开(公告)号：CN104597115A
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201510076613.8
申请日：2015-02-12
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： G01N27/64
摘要： 本发明公开了一种用于EUV辐照材料测试系统的真空获得装置及相应测试方法，测试系统包括EUV光源腔室(A)、收集镜腔室(B)和样品腔室(C)，真空获得装置包括分别连接到各腔室的真空泵单元和真空计单元、连接于腔室之间的第一、第二插板阀(A3、B3)、连通第一、第二插板阀(A3、B3)的第一、第二气源(A4、B4)，以及通过阀门与收集镜腔室(B)的真空泵单元(B1)相连的气体分析单元(C5)。本发明能够对测试系统的各部分进行抽真空，有效阻止污染物由EUV光源腔室和样品腔室问收集镜腔室扩散，并且在真空压力不匹配的情况下能够测得样品腔室中的气体组分及分压。
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公开(公告)号：CN104391367A
公开(公告)日：2015-03-04
申请号：CN201410545200.5
申请日：2014-10-15
申请人： 中国科学院光电研究院
摘要： 本发明公开了一种反射镜片的装调装置，包括真空腔体、反射镜片、镜片支撑架、滑动系统、第一调节系统和第二调节系统，反射镜片位于真空腔体内，镜片支撑架安装反射镜片，滑动系统包括滑动通道和滑动体，滑动体置于滑动通道上并能够在滑动通道上滑动；镜片支撑架的底部开有球窝，以使镜片支撑架通过球窝与滑动体的配合装配在该滑动系统上；第一调节系统从真空腔体外伸入真空腔体内，并抵顶镜片支撑架，以使该镜片支撑架绕穿过滑动体的中心的两两之间相互垂直的三条轴线转动；第二调节系统从真空腔体外伸入真空腔体内，并抵顶滑动体，使滑动体沿着滑动通道滑动。本发明能够实现反射镜片和镜片支撑架的一维平动和三维转动的调节。
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