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公开(公告)号：CN103151679B
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：CN201310054167.1
申请日：2013-02-20
申请人： 中国科学院光电研究院
CPC分类号： H01S3/08 , H01S3/005 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/0384 , H01S3/0385 , H01S3/0388 , H01S3/076 , H01S3/08068 , H01S3/09713 , H01S3/10092 , H01S3/225 , H01S3/2333 , H01S3/235 , H01S3/2383
摘要： 本发明属于激光器技术领域，具体涉及一种单腔双电极放电腔及采用该放电腔的准分子激光器，其包括腔体和两套主放电电极，所述腔体包括左右两室，以形成对称的双室结构腔形，每个室的截面形状均为上小下大的“梨”形，所述左右两室在整个放电腔的对称面处交界并连通，所述两套主放电电极分别位于左右两室的上侧。所述腔体内设置两套风机叶轮来驱动气体，以保证每次经过放电区的气体为新鲜气体；并且，所述风机叶轮为贯流风机叶轮。本发明通过一个单腔结构实现双腔功能，既降低了系统的复杂性，又保证了放电腔的放电同步性。同时，在放电腔中采用的叶轮中风叶的布局方式，可以提高风机轴向的均匀性，并降低风机系统的噪声。
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公开(公告)号：CN105071202A
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：CN201510501812.9
申请日：2015-08-14
申请人： 中国科学院光电研究院
摘要： 本发明公开了一种一体化气体激光器，气体激光器的腔体(1)的两端的外侧分别具有一个腔镜调节装置(8)，该两个腔镜调节装置8分别用于固定和保持输出耦合镜(4)和全反射镜(6)，并分别将两个布儒斯特窗(5)中的一个包裹在内；腔镜调节装置(8)与腔体(1)密封连接，以使输出耦合镜(4)与腔体(1)之间，以及全反射镜(6)与腔体(1)之间均形成密闭空间。本发明能排除空气中的水蒸气对镜片材料的潮解，避免空气中的粉尘粘附于镜片表面，使激光器的结构更紧凑，输出激光能量的稳定性更高。
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公开(公告)号：CN104993364A
公开(公告)日：2015-10-21
申请号：CN201510435001.3
申请日：2015-07-22
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： H01S3/083
摘要： 本发明公开了一种准分子激光系统，主振荡腔借助线宽压窄模块产生小能量窄线宽激光光脉冲作为种子光，该种子光经过主振荡腔波前工程箱折射后，通过所述分束系统进入所述功率放大腔，分束系统、第一高反镜、第二高反镜和第三高反镜组成四边形的环形光路，功率放大腔具有第一布儒斯特窗口对和第二布儒斯特窗口对，第一布儒斯特窗口对与该功率放大腔的放电电极同处于所述环形光路的第一光路，第二布儒斯特窗口对处于平行于所述第一放大光路的所述环形光路的第二光路。本发明缩短了环形腔结构的准分子激光系统的环形腔腔长，增加了放大次数，实现了较传统结构更深的增益饱和放大，改善了准分子激光系统输出特性。
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公开(公告)号：CN104577684A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201410840961.3
申请日：2014-12-30
申请人： 中国科学院光电研究院
摘要： 本发明公开了一种采用双通结构的双腔准分子激光器，包括主振荡腔(MO)、线宽压窄模块(LNM)、输出耦合镜(OC)、功率放大腔(PA)、第一高反镜(M1)、PA光路传输模块(1)、PA光路转置模块(2)。主振荡腔(MO)与功率放大腔(PA)在垂直于水平面的方向上放置，PA光路传输模块(1)由三个高反镜组成，PA光路转置模块由双面反射镜组成，由PA光路传输模块(1)入射到功率放大腔(PA)的激光与从(PA)光路转置模块(2)返回的激光位于同一水平面内，且具有一个微小夹角。本发明能降低光路对准难度，提高对准精度，还能降低元件的成本，具有结构灵活、散热效果好的优点。
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公开(公告)号：CN103852190A
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：CN201210513131.0
申请日：2012-12-04
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： G01K11/32
摘要： 本发明公开了一种精确测量ArF准分子激光器腔内温度的光纤光栅传感器，包括：由再涂覆后的光纤光栅传感头(1)、连接在光纤光栅传感头(1)一端的传输光纤(2)，以及充满不锈钢管(5)内部的导热胶(3)组成的光纤光栅传感元；可插入待测腔体的、封装光纤光栅传感元的表面镀镍的不锈钢管(5)；设置在不锈钢管(5)周圈的固定环臂(6)、固定环臂(6)上的固定螺孔(7)，和固定环臂(6)内侧的密封圈(10)；设置在不锈钢管(5)开口顶端的光缆衔接管(4)、开口顶端凸出的出线管(9)，和出线管输出的光缆(8)。本发明可用于高压、强腐蚀性环境下温度的测量，可靠性高，寿命长。
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公开(公告)号：CN103138144A
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201310054955.0
申请日：2013-02-20
申请人： 中国科学院光电研究院
摘要： 本发明公开了一种分立式气体激光器，包括激光放电系统、气动流场系统和温控系统，所述激光放电系统用于实现高压气体放电过程以形成激光辐射；所述气动流场系统用于为所述激光放电系统产生高速气体流场；所述温控系统用于控制所述激光放电系统的温度，并且，所述激光放电系统、气动流场系统和温控系统是相互之间独立的且进行封闭控制的系统。本发明将传统的激光放电腔从功能上进行分解，使之成为各自独立的控制三个系统，各系统以单一功能实现为目的，最大限度的拓展各系统材料元器件使用的适应性和使用寿命，提高各系统功能实现的有效性，增强整体系统的稳定性。
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公开(公告)号：CN103018012A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210524943.5
申请日：2012-12-07
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： G01M11/02
摘要： 本发明公开了一种光学元件透过率测量方法和相应的装置。其中方法包括：将特定波长的激光光束进行分束，得到两束激光，使之分别通过一个参考光路和一个测量光路；在测量光路上不放置光学元件，测量得到通过参考光路的激光光束的能量E1，通过测量光路的激光能量为E2；在测量光路上放置元学元件，测量得到通过参考光路的激光光束的能量E1’，通过测量光路的激光能量为E3；根据公式T＝E1E3/E1’E2计算该光学元件的透过率T。本发明的测量方法和装置采用双光路等光程测量，达到了实时在线测量的目的，能够有效地消除光源能量抖动对测量结果的重复性以及对高透过镜片透过率测定的影响，能够对用于任何紫外脉冲激光器的光学元件透过率实现精确且方便的测量。
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公开(公告)号：CN102522680A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110436813.1
申请日：2011-12-23
申请人： 中国科学院光电研究院
IPC分类号： H01S3/034
摘要： 一种布儒斯特窗片的设计方法，是在布儒斯特窗片的衬底晶体制备过程中，使衬底晶轴生长方向与激光传输方向相一致，晶体切割面法线方向与晶轴生长方向成相应的布儒斯特角度。本发明提供的布儒斯特窗片设计方法，在保证激光起偏的前提下，有效的改善了以往激光传输吸收和损耗加剧的问题，提高了布儒斯特窗片使用寿命，为整体系统的稳定长效运转提供保障。
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公开(公告)号：CN105784941B
公开(公告)日：2017-12-26
申请号：CN201610168958.0
申请日：2016-03-23
申请人： 中国科学院光电研究院
摘要： 本发明公开了一种在线式气体分析装置及方法，用于分析各种过程气体的成分和浓度，特别是在线测量和分析高压环境中气体成分和浓度，其中该装置包括高压气源、采样模块、安全阀、分流模块、第一阀门、限流器、第二阀门、分析模块、止回阀、吸收器、减压阀、标准气源和加热器，使用该装置的方法包括以下步骤：系统抽本底、调节采样气体流量、气体分析测试、采样气体抽除、关闭气体分析装置。采用该装置对高压气体进行自动在线分析，显著提高了采样气体量，消除了气体采样时的分子歧视效应，有效抵消限流装置的气体选择性，能够动态、实时、准确地反映高压气体的气体成分及浓度，并自带校准功能。
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公开(公告)号：CN105071202B
公开(公告)日：2017-12-22
申请号：CN201510501812.9
申请日：2015-08-14
申请人： 中国科学院光电研究院
摘要： 本发明公开了一种一体化气体激光器，气体激光器的腔体(1)的两端的外侧分别具有一个腔镜调节装置(8)，该两个腔镜调节装置8分别用于固定和保持输出耦合镜(4)和全反射镜(6)，并分别将两个布儒斯特窗(5)中的一个包裹在内；腔镜调节装置(8)与腔体(1)密封连接，以使输出耦合镜(4)与腔体(1)之间，以及全反射镜(6)与腔体(1)之间均形成密闭空间。本发明能排除空气中的水蒸气对镜片材料的潮解，避免空气中的粉尘粘附于镜片表面，使激光器的结构更紧凑，输出激光能量的稳定性更高。
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