公开(公告)号：CN217588845U

公开(公告)日：2022-10-14

申请号：CN202221153296.7

申请日：2022-05-13

Applicant: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 ,  天津国科医工科技发展有限公司

Inventor： 王晶 ,  李亮 ,  李振 ,  刘广才 ,  冯新用 ,  郭宇 ,  曹祥宽 ,  卢会峰 ,  凌星 ,  程文播 ,  吴杰

IPC: H01J49/42 ,  H02P8/22 ,  H03J5/14

Abstract: 本实用新型涉及一种四极杆射频电源自调谐系统，包括：下位机、电机、谐振电路，谐振电路包括第一可调电感、第二可调电感、第一固定电容、第二固定电容，第一固定电容和第二固定电容串联，第一可调电感、第二可调电感与电容串联支路串联，第一可调电感与第一固定电容连接，第二可调电感与第二固定电容连接，下位机与电机连接，电机与第一可调电感、第二可调电感连接。针对原有电路采用手动调谐方式达到谐振状态，调节精度差、操作繁琐的缺点，通过下位机控制电机调节谐振电路中谐振线圈的电感值，实现对谐振回路的自动调谐，效率高、精度高、操作简单；采用调节电感的方法调谐，避免使用高精密可调电容，降低了成本。