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公开(公告)号：CN217122835U
公开(公告)日：2022-08-05
申请号：CN202220050398.X
申请日：2022-01-10
申请人： 合肥微睿光电科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种带配重的研磨头，包括有研磨头本体，研磨头本体上可拆式安装有若干个配重块。本实用新型在研磨头上安装可拆的若干个配重块，既可进行自由组合搭配相同或不同重量的配重块，又可根据需要增减配重块的数量和重量，在保证研磨效果的基础上，避免了研磨头产生不必要的损耗，延长了其使用寿命，且拆装十分方便，安装牢固可靠，不会因高速旋转的研磨头在工作时产生的震动而脱落。
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公开(公告)号：CN216990588U
公开(公告)日：2022-07-19
申请号：CN202220315422.8
申请日：2022-02-16
申请人： 合肥微睿光电科技有限公司
IPC分类号： B23K37/04
摘要： 本实用新型涉及法兰管连接技术领域，公开一种法兰管定位工装。法兰管定位工装用于将法兰管定位在板体的法兰管安装孔处，法兰管定位工装包括基板、支撑架和定位板，基板形成有敞开孔，支撑架设置在基板的上侧板面上，支撑架的侧向包括敞开口；定位板包括法兰管定位结构，定位板能够设置在支撑架上；基板、支撑架和定位板之间形成法兰管容纳空间，法兰管定位结构配置为用于对位于法兰管容纳空间内的法兰管的法兰连接凸缘上周向间隔布置的多个连接孔进行定位，从而确保法兰管焊接时的精准定位，实现法兰管准确地焊接在板体上，避免非必要的人工检测成本，使得法兰连接凸缘能够与客户端的管体的对应位置准确连接，避免产生非必要的损失。
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公开(公告)号：CN214080876U
公开(公告)日：2021-08-31
申请号：CN202023280609.9
申请日：2020-12-30
申请人： 合肥微睿光电科技有限公司
摘要： 本实用新型公开了一种上部电极表面研磨用定位工装，包括有上部电极本体、内、外环形接触部位、第一内、外定位块和第二内、外定位块，第一内、外定位块分别对应与内、外环形接触部位的非拐角位置相对应，且第一内、外定位块上分别设有对应与内、外环形接触部位的非拐角位置相重合的第一定位狭缝；第二内、外定位块分别对应与内、外环形接触部位的拐角位置相对应，且第二内、外定位块上分别设有对应与内、外环形接触部位的拐角位置相重合的第二定位狭缝。本实用新型结构简单，实现了对内、外环形接触部位的准确定位，能够准确的确定研磨范围和位置，杜绝了不良品的产生，提高了加工效率，缩短了工时，满足了使用端客户的周期需求。
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公开(公告)号：CN212770953U
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202021402630.9
申请日：2020-07-16
申请人： 合肥微睿光电科技有限公司
IPC分类号： C23C16/458 , C23C16/50
摘要： 本实用新型公开了一种薄膜沉积设备用基座支撑机构，包括有反应箱室、基座和支撑管，基座的背面在支撑管的两侧分别固定连接有左散热板和右散热板，反应箱室内的底面上在支撑管的两侧分别设有左底座和右底座，左散热板的一侧与左底座之间转动连接有左支撑连杆组，右散热板的一侧与右底座之间转动连接有右支撑连杆组。本实用新型在基座的背面设置散热板，并在散热板与反应箱室的内底面之间设置包括有四个连杆组合成菱形结构的支撑连杆组，取代了由传统的普通陶瓷的托架对基座的支撑，既具有很高的导热性能，有利于基座的散热，又能够随升降的基座产生可重复进行的伸缩，可为基座提供辅助支撑，适应了薄膜沉积工艺的需要。
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