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公开(公告)号：CN113649954B
公开(公告)日：2023-03-31
申请号：CN202110903697.3
申请日：2021-08-06
申请人： 合肥微睿光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种应用于TFT‑LCD行业类半导体备品的喷砂装置，包括喷砂房和上部镂空的收集箱，收集箱上设有驱动设备，该驱动设备包括电机，由电机轴驱动的第一传动齿轮，连接转轴上与第一传动齿轮啮合的第二传动齿轮，与第二传动齿轮同轴转动的圆辊，连接于电机上与第一传动齿轮同轴作为配重的配重块，以及设于喷砂房外部的传动设备，圆辊上设有凸块，在该凸块设有一块拨块驱动传动设备给进运动。
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公开(公告)号：CN114405918B
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202210031877.1
申请日：2022-01-12
申请人： 合肥微睿光电科技有限公司
摘要： 本申请涉及再生蚀刻机或PECVD设备的衬里的方法，该方法包括以下连续步骤：（a）用软质擦拭物对所述衬里的表面进行湿式研磨；（b）任选地，在40‑60℃下，用中性脱脂剂清洗所述衬里的表面；（c）任选地，在40‑60℃下，用浓度为0.05重量%‑5重量%的柠檬酸溶液清洗所述衬里的表面；和（d）干燥所述衬里的表面。本申请能够实现简化蚀刻机或PECVD设备的衬里的再生工艺、提高其再生次数并有效降低生产成本。
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公开(公告)号：CN111663161A
公开(公告)日：2020-09-15
申请号：CN202010685595.4
申请日：2020-07-16
申请人： 合肥微睿光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种大尺寸上部电极板阳极氧化用挂具，包括有导电横梁、挂杆、连接杆和挂点连接组件，导电横梁上通过夹紧固定器连接有多个并列竖直间隔设置的挂杆，其两侧的挂杆与待氧化上部电极板两侧边对应，其余的挂杆集中分布于待氧化上部电极板的中部，且中部的挂杆之间通过连接杆连接，挂杆和连接杆上分别分布有装挂孔，装挂时待氧化上部电极板通过挂点连接组件与对应位置的挂杆和连接杆连接固定，挂点连接组件包括有导电连接件和绝缘连接件。本发明结构设计合理，通过对挂具进行改进，可使在待氧化上部电极板的中心位置增加通电位，有效的降低了上部电极两侧而提升了中心区域氧化膜厚度，达到提升整个上部电极氧化膜均匀性的目的。
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公开(公告)号：CN114472340B
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202210328148.2
申请日：2022-03-31
申请人： 合肥微睿光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种陶瓷板的清洗方法，属于陶瓷生产及环保技术领域。该发明的方法将微孔分子筛封装纳米金属离子除氟材料应用于陶瓷清洗液中，所述微孔分子筛封装纳米金属离子除氟材料由金属离子配合物引入微孔分子筛合成体系中制得，在晶化过程中将金属离子封装在微孔分子筛孔道中，经过后续焙烧，除去微孔分子筛孔道中的结构导向剂和金属离子的配体。本发明的方法能实现高效除氟、稳定性高、可进行多次循环利用，且不在陶瓷板表面引入新的杂质。
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公开(公告)号：CN114346800B
公开(公告)日：2022-11-11
申请号：CN202210023325.6
申请日：2022-01-10
申请人： 合肥微睿光电科技有限公司
IPC分类号： B24B7/24 , B24B27/00 , B24B41/047 , B24B45/00
摘要： 本发明涉及研磨技术领域，公开一种表面研磨方法、工件、沉积设备和研磨站。该表面研磨方法包括：提供研磨装置，研磨装置包括连接臂、研磨头承载装置和研磨头，研磨头承载装置包括能够进行摆动的承载板，研磨头安装在承载板上，研磨头包括能够转动的研磨盘组件；研磨时，连接臂移动以使得研磨盘组件接触待研磨表面，承载板进行摆动以带动研磨头摆动，同时研磨盘组件转动，并且连接臂移动以带动研磨头承载装置沿着待研磨表面以预定移动路径移动，以使得研磨盘组件对待研磨表面进行研磨作业，以能够进行自动化研磨，使得表面均匀性和生产效率都能得到质的提升，使得表面的光泽度、粗糙度都能有效达到特定要求，同时品质重现性良好，返工率显著降低。
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公开(公告)号：CN114396790A
公开(公告)日：2022-04-26
申请号：CN202210031516.7
申请日：2022-01-12
申请人： 合肥微睿光电科技有限公司
摘要： 本发明涉及待干燥部件干燥技术领域，公开一种吹扫干燥装置和吹扫干燥系统。该吹扫干燥装置包括支撑台板和支撑侧壁，支撑台板用于铺设在框架上，支撑台板包括在台板厚度方向上相对布置的上侧板面和下侧板面；支撑侧壁设置在上侧板面上并围住支撑台板的至少一部分板区，支撑侧壁和至少一部分板区围成气腔，支撑侧壁的上部敞开以形成气腔的出气口，支撑侧壁配置为用于支撑待干燥部件以使得支撑在支撑侧壁上的待干燥部件能够封盖住出气口，其中，气腔的腔壁上设置有与气腔连通的进气结构。该吹扫干燥装置能够对待干燥部件例如扩散器烘干的同时进行吹扫，以缩短烘干时间、减少劳动强度并提升生成效率。
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公开(公告)号：CN115464002A
公开(公告)日：2022-12-13
申请号：CN202211070553.5
申请日：2022-09-02
申请人： 合肥微睿光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种气体扩散器整形装置及气体扩散器矫正方法，属于气体扩散器整形加工技术领域，所述整形装置具有凸起的弧形面；所述弧形面弧度大于标准成型面弧度，以使所述弧形面贴合在所述标准成型面上时，两者之间具有间隙量；所述间隙量等于所述气体扩散器因内应力或受外力所产生的变形量。整形装置整形后所预留的间隙量，能抵消该回弹量和自身重力影响的形变量。抵消后，气体扩散器的成型面正好与标准成型面保持一致。提高了整形精度。
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公开(公告)号：CN114535186A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202210034753.9
申请日：2022-01-12
申请人： 合肥微睿光电科技有限公司
IPC分类号： B08B3/02 , B08B3/08 , B08B3/12 , B08B7/00 , B24B1/00 , B24C1/08 , C23G1/02 , C23F1/16 , C23F1/32 , C23F1/08 , C23G3/00
摘要： 本公开涉及再生PECVD设备或DRY ETCH设备腔体中的构件的方法，该方法包括以下连续步骤：(a)对所述构件的表面进行喷砂处理；(b)用浓度为40‑100g/L的无机酸溶液清洗所述构件的表面；(c)检查所述构件的表面；(d)对所述构件的表面进行激光定点清洗；(e)对所述构件的表面进行超声波清洗；(f)对所述构件的表面进行研磨处理；(g)对所述构件的表面进行喷砂处理；(h)使用干冰对所述构件的表面进行清洗；(i)用酸性或碱性溶液对所述构件的表面进行化学刻蚀；(j)对所述构件的表面进行超声波清洗；(k)对所述构件的表面进行高压清洗；以及(l)干燥所述构件的表面。
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公开(公告)号：CN114472340A
公开(公告)日：2022-05-13
申请号：CN202210328148.2
申请日：2022-03-31
申请人： 合肥微睿光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种陶瓷板的清洗方法，属于陶瓷生产及环保技术领域。该发明的方法将微孔分子筛封装纳米金属离子除氟材料应用于陶瓷清洗液中，所述微孔分子筛封装纳米金属离子除氟材料由金属离子配合物引入微孔分子筛合成体系中制得，在晶化过程中将金属离子封装在微孔分子筛孔道中，经过后续焙烧，除去微孔分子筛孔道中的结构导向剂和金属离子的配体。本发明的方法能实现高效除氟、稳定性高、可进行多次循环利用，且不在陶瓷板表面引入新的杂质。
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公开(公告)号：CN113649954A
公开(公告)日：2021-11-16
申请号：CN202110903697.3
申请日：2021-08-06
申请人： 合肥微睿光电科技有限公司
摘要： 本发明公开了一种应用于TFT‑LCD行业类半导体备品的喷砂装置，包括喷砂房和上部镂空的收集箱，收集箱上设有驱动设备，该驱动设备包括电机，由电机轴驱动的第一传动齿轮，连接转轴上与第一传动齿轮啮合的第二传动齿轮，与第二传动齿轮同轴转动的圆辊，连接于电机上与第一传动齿轮同轴作为配重的配重块，以及设于喷砂房外部的传动设备，圆辊上设有凸块，在该凸块设有一块拨块驱动传动设备给进运动。
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