一种基于傅里叶变换的SF6气体分解产物分析装置

    公开(公告)号:CN104865217A

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201510276375.5

    申请日:2015-05-27

    IPC分类号: G01N21/3518

    摘要: 本发明公开了一种基于傅里叶变换的SF6气体分解产物分析装置,包括依次连通的初效过滤器、取样管、流量调节机构、FTIR分析仪和废气收集机构;流量调节机构包括依次相连的流量调节阀、流量计和压力表,且流量调节阀的入口与取样管的出口连通,而压力表与FTIR分析仪连接;取样管包括取样管本体,且取样管本体的入口和出口分别设有第一自封接头和第二自封接头,而第一自封接头和第二自封接头分别与初效过滤器和流量调节阀连通。本发明提供的基于傅里叶变换的SF6气体分解产物分析装置能将气体取样和气体检测合二为一,可避免二次污染,并且还具有检测精度高、所需气体量小且能精准控制气体量的优点。