一种获得等离子体电子密度的诊断系统

    公开(公告)号:CN119317010A

    公开(公告)日:2025-01-14

    申请号:CN202411655949.5

    申请日:2024-11-19

    Abstract: 本发明提出一种获得等离子体电子密度的诊断系统,包括电压探头、电流探头、示波器、电源、电脑、光谱诊断系统、等离子体反应器,反应器由高压电极与低压电极组成,所述的反应器由电源激励产生等离子体,电压探头测量高压电极与低压电极之间激励电压随时间的变化,电流探头测量等离子体中放电电流随时间的变化,电脑自动调用程序,通过建立的等离子体电子密度与放电电压、放电电流之间的关系,能够获得等离子体电子密度随放电时间变化的曲线。光谱诊断系统包括光谱仪和光纤探头,用于诊断等离子体中气体温度与电子温度。该发明所述的等离子体电子密度诊断方法适用于等离子体放电通道尺寸已知的反应器等离子体电子密度测量,解决了高分辨率光谱仪无法测量低密度等离子体电子密度的缺点,具有测量装置系统和方法简单,非介入式、无测量下限与上限的优点。

    一种用于脉冲驱动大气压气体放电的动态阻抗匹配系统及方法

    公开(公告)号:CN119135123A

    公开(公告)日:2024-12-13

    申请号:CN202411352742.0

    申请日:2024-09-26

    Abstract: 本发明提供一种用于脉冲驱动大气压气体放电的动态阻抗匹配系统及方法,系统包括模块化脉冲功率发生器和阻抗动态反馈匹配系统,模块化脉冲功率发生器采用全固态直线变压驱动器SSLTD系统;阻抗动态反馈匹配系统与SSLTD系统相适应,阻抗动态反馈匹配系统包括ADC、电流探头、电压探头、FPGA微机和预设FPGA阻抗动态匹配算法;SSLTD系统包括若干独立SSLTD模块,每个SSLTD模块至少包括一个磁芯、若干个由放电开关和电容构成的单元组、以及若干个二极管;阻抗动态匹配系统通过实时监测放电过程中的电压、电流和阻抗变化,利用反馈控制机制对模块化脉冲功率发生器进行动态调整,以实现不同放电模式下的阻抗动态匹配。

    循环水式等离子体磁稳流化床转化装置及其处理CO2制备液态燃料方法

    公开(公告)号:CN117065672A

    公开(公告)日:2023-11-17

    申请号:CN202311129400.8

    申请日:2023-09-04

    Abstract: 本发明涉及一种循环水式等离子体磁稳流化床转化装置及其处理CO2制备液态燃料方法,装置包含供电/气单元、等离子体流化床单元、磁控单元及燃料收集单元;将含CO2原料的混合气体通入磁稳流化床反应器中,磁性疏水催化剂在气流和磁场的双重作用下稳定悬浮于反应器中心区域,进一步与非平衡态等离子体耦合,可将高通量CO2气体在温和条件下快速转化为甲醇、醋酸等高值液态化学品;所述的磁稳流化床可利用清洁电能供电,反应器外侧设有循环水系统,反应温度、放电功率和磁场强度可独立调节,利于转化过程调控,实现等离子体与磁性疏水催化剂之间的最大化协同;该装置可拓展用于其它等离子体技术主导的能源转化过程,提升目标小分子温和条件下的一步高值化利用。

    一种固体绝缘材料气固界面电荷分布的原位实时测量系统和方法

    公开(公告)号:CN116243061A

    公开(公告)日:2023-06-09

    申请号:CN202211666467.0

    申请日:2022-12-23

    Abstract: 本发明公开一种固体绝缘材料气固界面电荷分布的原位实时测量系统和方法。该系统使用纳秒脉冲激光器;以凸透镜、高透镜、高反镜、滤波片、色散棱镜组成光路单元;将针板电极和固体绝缘材料安置于密闭腔体中作为放电单元;以红外光电二极管、光电倍增管作为激光接收装置;以示波器和电脑作为数据处理端。该系统基于电场诱导二次谐波产生效应,泵浦激光通过电场区域产生的二次谐波信号强度与被测点处的电场强度的平方呈线性关系。对二者标定之后,可测得针板电极充电和断电过程中固体绝缘材料气固界面电场强度,再通过电荷反演算法得到实时的电荷分布情况。该系统可实现原位、实时测量,且对固体绝缘材料性质、形状要求较低,故应用范围广泛。

    一种电容器薄膜分级处理装置及方法

    公开(公告)号:CN114836738A

    公开(公告)日:2022-08-02

    申请号:CN202210492843.2

    申请日:2022-05-07

    Abstract: 本发明公开一种电容器薄膜分级处理装置及方法,在薄膜金属化之前引入预处理单元和功能层沉积单元,形成分级、连续的成套处理装置,对薄膜进行处理。预处理单元通过放电等离子体表面处理,调控薄膜表面粗糙度,提高薄膜基底附着力。功能层沉积单元通过原子层沉积技术,在薄膜基底上沉积纳米功能层,抑制金属层对薄膜材料的电荷注入,提高金属化薄膜的击穿场强阈值,改善金属化薄膜的隔离自愈性能。本发明将等离子体技术和原子层沉积技术相结合,在薄膜表面快速沉积稳定功能涂层,大幅改善电容器薄膜电气性能。相比于现有的技术,本发明提出的分级连续处理方法,具备成本低廉、装置简便、灵活高效等优点,适合投入大规模工业生产应用。

    一种等离子体沉积装置及沉积方法

    公开(公告)号:CN109778146B

    公开(公告)日:2021-11-19

    申请号:CN201910095020.4

    申请日:2019-01-30

    Abstract: 本发明属于等离子体放电技术领域,具体涉及一种等离子体沉积装置及沉积方法。该装置包括至少一个等离子激发器、等离子体前驱体制备器、薄膜输出装置和薄膜收集装置;所述等离子激发器包括若干电极、阻挡介质、间隙;所述电极外表面具有若干突起,所述电极外部包覆有阻挡介质。该装置通过在电极上设置若干突起,可以提高该突起附近区域的局部电场,提高该区域的施加电压,进而减小间隙击穿电压,降低装置能正常工作的最低激发电压和维持介质阻挡放电所需的工作电压;在放电过程中,若干突起会气化和电离,使电极表面恢复平整,使放电更加均匀。此外,使用该装置沉积得到的薄膜均匀、致密、介电常数高、介质损耗小,且绝缘性能好。

    一种固体绝缘表面裂纹修复方法及其修复装置

    公开(公告)号:CN112951527A

    公开(公告)日:2021-06-11

    申请号:CN202110144983.6

    申请日:2021-02-02

    Abstract: 本发明公开了一种固体绝缘表面裂纹修复方法及其修复装置,其中,一种固体绝缘表面裂纹修复方法,包括:根据固体绝缘部件的类型,选用与等离子体反应后生成介电常数或电阻率为固体绝缘部件±50%的物质的介质溶液作为前驱物,利用微波等离子体射流使含前驱物的等离子体对固体绝缘部件的表面缺陷进行喷涂即可。该方法可以有效提高固体绝缘与介质之间的结合力,进而实现具有表面缺陷的固体绝缘部件的有效修复。

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