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实用新型
一种具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚失效

公开(公告)号：CN204198898U

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN201420684649.5

申请日：2014-11-14

申请人： 扬州荣德新能源科技有限公司

发明人： 常传波 , 杨振帮 , 袁聪 , 冯琰

IPC分类号： C30B28/06 , C30B29/06

摘要： 本实用新型公开了一种具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚，包括坩埚本体、坩埚护板和坩埚盖板，在坩埚本体内设置有用于将坩埚本体的内部空腔分隔成第一空间和第二空间的隔板，坩埚本体的底部内侧设置有用于使隔板通过插接固定于坩埚本体内的插槽；第一空间的形状与坩埚本体内部空腔的形状一致。该坩埚还包括设置于坩埚本体底部内表面的球形SiO2颗粒层、设置在颗粒层之上的疏松的第一氮化硅涂层以及设置在坩埚本体的侧壁内表面的坚硬致密的第二氮化硅涂层。该坩埚不需要冷冲击，就能生产出底部红区短，晶粒尺寸小而均匀的高质量多晶硅锭，同时，也能提高铸锭过程中的硅料融化效率，缩短融化时间，减少坩埚涂层的腐蚀和缩短铸锭周期。