导电性金属氧化物薄膜的除去方法及装置

    公开(公告)号:CN101416283B

    公开(公告)日:2010-05-19

    申请号:CN200680054217.4

    申请日:2006-09-25

    Abstract: 本发明提供除去导电性金属氧化物薄膜直至端部也无残留的方法及装置。将正电极(13)和第1负电极(14)与基材(11)表面的导电性金属氧化物薄膜(12)对向并以非接触状态并排设置。在正电极(13)和第1负电极(14)间,在导电性金属氧化物薄膜(12)的宽度方向以接触状态设置多个第2负电极(17)。以电解液存在于这些电极(13、14、17)和导电性金属氧化物薄膜(12)间的状态,对电极(13、14、17)施加电压。使基材(11)相对于电极(13、14、17)进行移动,使得导电性金属氧化物薄膜(12)在通过负电极(14、17)后通过正电极(13)。可不生成瑕疵或应力变形,而有效地除去导电性金属氧化物薄膜直至最终端部,可实现高价的功能性玻璃基板等的再生利用。

    蒸发装置、蒸镀装置以及蒸镀装置中的蒸发装置的切换方法

    公开(公告)号:CN100558929C

    公开(公告)日:2009-11-11

    申请号:CN200580014651.5

    申请日:2005-06-15

    CPC classification number: C23C14/243 C23C14/246

    Abstract: 一种在规定的真空度下使规定的材料蒸发的蒸发装置(4),包括:连接到真空泵(12)上,同时,在上壁部(11c)上设置能够放出蒸发的蒸发材料(B)的材料放出孔的蒸发用容器(11);借助升降用气缸装置(13)可以在该蒸发容器(11)内自由升降地设置、同时能够载置容纳蒸镀材料(A)的材料容纳容器(14)的载置台(15);在上述蒸发用容器(14)的材料放出孔(17)的周围,设置筒状的间隔壁构件(19),所述间隔壁构件(19),通过上述材料容纳容器(14)经由载置台(15)上升时覆盖其外周,抑制蒸发材料向所述蒸发用容器(11)内放出,并且,在上述载置台(15)及间隔壁构件(16)上,具有加热上述材料容纳容器(14)的加热装置(21)。

    放电破坏方法、系统及其制造方法

    公开(公告)号:CN1185766A

    公开(公告)日:1998-06-24

    申请号:CN96194284.3

    申请日:1996-07-22

    CPC classification number: E21C37/18 F42B3/087 F42D3/00 F42D3/04

    Abstract: 一种方法包括:一个步骤以形成一个孔(2)以把一种破坏物质(4)装进一个待破裂物体(1),一个步骤以把一对其末端之间连接一根细金属丝(5)的电极(6)插入该孔(2),一个步骤以把破坏物质(4)和细金属丝(5)安排在一个由橡胶制成的袋状容器(22)中,以便把一个电容器中累积的电能供给电极(6)以熔化和汽化细金属丝(5),由此使破坏物质(4)的体积膨胀并使待破裂物体(1)破坏,以及一个步骤以把袋状容器(22)与孔(2)相配合。这种方法即使在待破裂物体中形成的孔变形时,也保证向待破裂物体可靠地传递膨胀力。

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