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公开(公告)号：CN1703380A
公开(公告)日：2005-11-30
申请号：CN200380101204.4
申请日：2003-10-02
Applicant: 日立造船株式会社 , 日立造船金属工业股份有限公司
Abstract: 使用由倾斜配置的引导电解流的流下的金属平板电极(21)、安装在该金属平板电极(21)的上游或下游侧且一部分应浸渍于电解液中的辅助电极(22)、以及施加于上述两电极的直流电压电源(23)构成的金属薄膜的除去装置，在对上述金属平板电极(21)与辅助电极(22)施加了直流电压的状态下，使从上述金属平板电极(21)上流下的电解液(26)与绝缘物(24)表面的金属薄膜(24a)产生碰撞，由此将金属薄膜(24a)除去。
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公开(公告)号：CN1392804A
公开(公告)日：2003-01-22
申请号：CN01803118.8
申请日：2001-08-27
Applicant: 日立造船株式会社
Abstract: 一种复合型分离装置，包含圆筒状电极(4)、针状电极(5)和板状电极(9)，用于将混合物(A)中的铜线(A2)和塑料片(A1)分开，多个针状电极(5)配置为使得相邻针状电极(5)的放电部(5a)之间的间距X(cm)与从放电部(5a)到圆筒状电极(4)之间的距离L1关系满足0＜X/L1≤3。且各放电部(5a)形成为在圆筒状电极(4)上形成的电晕离子的照射区域的直径为距离L1(cm)三倍。且静电电极和旋转移动电极之间施加的电压满足0.5(kV/cm)≤V2/L2≤10(kV/cm)。
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公开(公告)号：CN103361607B
公开(公告)日：2017-03-01
申请号：CN201310092816.7
申请日：2013-03-21
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供真空蒸镀装置和真空蒸镀装置的坩锅更换方法。当更换第二坩锅(12B)时，利用第二闸阀(35B)关闭第二输送管(14B)，并将第二蒸发装置(13B)的坩锅收容件(31B)从第二输送管(14B)取下，来更换第二坩锅(12B)。此时，大气流入第二蒸发装置(13B)内和第二输送管(14B)内。但是，在将坩锅收容件(31B)安装于第二输送管(14B)之后，打开第二除气阀(33B)来进行除气而成为规定的真空条件，从而当打开第二闸阀(35B)开始进行蒸镀时，大气不会进入真空蒸镀容器(10)内，不需要伴随大气的进入而对真空蒸镀容器(10)内进行除气。因此，可以使第一、第二蒸发装置(13A、13B)结构简单，并且可以在大气中进行第一、第二坩锅(12A、12B)的更换作业，从而可以提高作业性。
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公开(公告)号：CN103924195A
公开(公告)日：2014-07-16
申请号：CN201310721942.4
申请日：2013-12-24
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种真空蒸镀装置，在真空下对基板（K）进行蒸镀，其包括：多个坩埚（2），分别使蒸镀材料（A）蒸发而成为蒸发材料；阀（51），与上述坩埚（2）的下游侧连接；扩散容器（21），从上述阀（51）通过导入管（11）导入蒸发材料并使导入的蒸发材料扩散；以及多个喷嘴（25），将在所述扩散容器的内部（22）扩散的蒸发材料朝向基板（K）释放，其中，全部的所述导入管（11）不具有分路部，蒸镀速率为0.1～10/sec，扩散容器的内部空间厚度（D）为1m以下且喷嘴间最大距离（L）为5m以下，并且扩散容器的内部空间厚度（D）与喷嘴间最大距离（L）的关系，满足规定的公式（1）～（3）中的任意一个。
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公开(公告)号：CN101233088B
公开(公告)日：2012-03-28
申请号：CN200680027925.9
申请日：2006-07-31
Applicant: 日立造船株式会社
CPC classification number: C25F1/00 , C03C17/002 , C03C2218/328
Abstract: 本发明提供不留伤痕或应力变形等地除去导电性金属氧化物薄膜的方法以及装置。所述装置具有以一端浸渍于电解液17的状态配置的第1电极18；以浸渍于加工槽16内的电解液17的基材12的导电性金属有机物薄膜11为负极的条件，以一端浸渍于电解液17的状态配置，所述一端与导电性金属氧化物薄膜11相对的第2电极13；以该第2电极13为正极、且第1电极18为负极的条件施加直流电压的电源14。在两电极13、18上施加交流电压，通过还原反应除去导电性金属氧化物氧化物薄膜11。本发明可以将导电性金属氧化物氧化物薄膜不发生损伤或应力变形地高效率地除去，能够实现高价的功能性玻璃基板等的再生利用。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1281329C
公开(公告)日：2006-10-25
申请号：CN01803118.8
申请日：2001-08-27
Applicant: 日立造船株式会社
Abstract: 一种复合型分离装置，包含圆筒状电极(4)、针状电极(5)和板状电极(9)，用于将混合物(A)中的铜线(A2)和塑料片(A1)分开，多个针状电极(5)配置为使得相邻针状电极(5)的放电部(5a)之间的间距X(cm)与从放电部(5a)到圆筒状电极(4)之间的距离L1关系满足0＜X/L1≤3；且各放电部(5a)形成为在圆筒状电极(4)上形成的电晕离子的照射区域的直径为距离L1(cm)的三倍；且针状电极(5)和圆筒状电极(4)之间施加的电压满足0.5(kV/cm)≤V1/L1≤10(kV/cm)。
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公开(公告)号：CN104561903B
公开(公告)日：2019-01-15
申请号：CN201410520985.0
申请日：2014-09-30
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种提高蒸镀材料的利用效率的真空蒸镀装置用岐管。该真空蒸镀装置用岐管是联机式真空蒸镀装置用岐管，在单一岐管(11)的与基板(12)相对的基板对置面(11a)上设置有喷嘴列(14F、14R)，上述喷嘴列(14F、14R)沿基板(12)的宽度方向隔开规定的喷嘴间距(P)突出设置多个具有喷嘴口的喷出用喷嘴(13)，并且将喷嘴列(14F、14R)在基板(12)的移动方向上隔开规定的喷嘴列间隔(Lp)进行配置，基板(12)移动方向后方的喷嘴列(14R)的喷出用喷嘴(13)与基板(12)移动方向前方的喷嘴列(14F)的喷出用喷嘴(13)在基板(12)的移动方向上相对配置。
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公开(公告)号：CN103361608B
公开(公告)日：2016-09-21
申请号：CN201310095050.8
申请日：2013-03-22
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供一种蒸镀装置，在规定的蒸镀速率所必要的坩埚（22）的最小限温度下进行蒸镀，当坩埚（22）内的蒸镀材料（24）减少、来自坩埚（22）的蒸镀材料（24）的蒸发量（从坩埚（22）供给的蒸发粒子的形成）减少而导致蒸镀速率降低，为了维持规定的蒸镀速率而使流量控制阀（19）的开度急剧变大的情况下，使坩埚（22）的目标加热温度以增量上升。其结果，来自坩埚（22）的蒸镀材料（24）的蒸发量增加，维持了规定的蒸镀速率。通过使目标温度依次以增量上升，不仅能防止蒸镀材料（24）的热劣化且可以将蒸镀材料（24）使用到最后，并可以将蒸镀材料（24）的残留降到最低值。
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公开(公告)号：CN103361607A
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201310092816.7
申请日：2013-03-21
Applicant: 日立造船株式会社
IPC: C23C14/24
Abstract: 本发明提供真空蒸镀装置和真空蒸镀装置的坩锅更换方法。当更换第二坩锅(12B)时，利用第二闸阀(35B)关闭第二输送管(14B)，并将第二蒸发装置(13B)的坩锅收容件(31B)从第二输送管(14B)取下，来更换第二坩锅(12B)。此时，大气流入第二蒸发装置(13B)内和第二输送管(14B)内。但是，在将坩锅收容件(31B)安装于第二输送管(14B)之后，打开第二除气阀(33B)来进行除气而成为规定的真空条件，从而当打开第二闸阀(35B)开始进行蒸镀时，大气不会进入真空蒸镀容器(10)内，不需要伴随大气的进入而对真空蒸镀容器(10)内进行除气。因此，可以使第一、第二蒸发装置(13A、13B)结构简单，并且可以在大气中进行第一、第二坩锅(12A、12B)的更换作业，从而可以提高作业性。
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公开(公告)号：CN103305797A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310070826.0
申请日：2013-03-06
Applicant: 日立造船株式会社
CPC classification number: C23C14/24 , C23C14/544
Abstract: 本发明提供一种蒸镀装置。在所述蒸镀装置中，在将蒸发粒子向玻璃基板（12）引导的材料输送管（17）上，设置有用于调节流路的开度的流量控制阀（18），在比流量控制阀（18）靠向下游侧的材料输送管（17）内设有第一压力传感器（21），在真空室（11）内设有第二压力传感器（22）。控制器（24）利用上述两台压力传感器（21、22）测量出的压力（P1、P2）的压力差（P1-P2）求出蒸发粒子的流量，从而测量蒸发粒子向玻璃基板（12）的蒸镀速率。并且控制器（24）利用流量控制阀（18）调节材料输送管（17）的开度，以使所述测量的蒸镀速率成为规定的蒸镀速率。
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