公开(公告)号：CN100558929C

公开(公告)日：2009-11-11

申请号：CN200580014651.5

申请日：2005-06-15

Applicant: 日立造船株式会社

Inventor： 松本祐司 ,  前羽良保 ,  铃木和人 ,  井上铁也 ,  大工博之

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/02

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/246

Abstract: 一种在规定的真空度下使规定的材料蒸发的蒸发装置(4)，包括：连接到真空泵(12)上，同时，在上壁部(11c)上设置能够放出蒸发的蒸发材料(B)的材料放出孔的蒸发用容器(11)；借助升降用气缸装置(13)可以在该蒸发容器(11)内自由升降地设置、同时能够载置容纳蒸镀材料(A)的材料容纳容器(14)的载置台(15)；在上述蒸发用容器(14)的材料放出孔(17)的周围，设置筒状的间隔壁构件(19)，所述间隔壁构件(19)，通过上述材料容纳容器(14)经由载置台(15)上升时覆盖其外周，抑制蒸发材料向所述蒸发用容器(11)内放出，并且，在上述载置台(15)及间隔壁构件(16)上，具有加热上述材料容纳容器(14)的加热装置(21)。

公开(公告)号：CN1950537A

公开(公告)日：2007-04-18

申请号：CN200580014651.5

申请日：2005-06-15

Applicant: 日立造船株式会社

Inventor： 松本祐司 ,  前羽良保 ,  铃木和人 ,  井上铁也 ,  大工博之

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/02

CPC classification number: C23C14/243 ,  C23C14/246

Abstract: 一种在规定的真空度下使规定的材料蒸发的蒸发装置(4)，包括：连接到真空泵(12)上，同时，在上壁部(11c)上设置能够放出蒸发的蒸发材料(B)的材料放出孔的蒸发用容器(11)；借助升降用气缸装置(13)可以在该蒸发容器(11)内自由升降地设置、同时能够载置容纳蒸镀材料(A)的材料容纳容器(14)的载置台(15)；在上述蒸发用容器(14)的材料放出孔(17)的周围，设置筒状的间隔壁构件(19)，所述间隔壁构件(19)，通过上述材料容纳容器(14)经由载置台(15)上升时覆盖其外周，抑制蒸发材料向所述蒸发用容器(11)内放出，并且，在上述载置台(15)及间隔壁构件(16)上，具有加热上述材料容纳容器(14)的加热装置(21)。