公开(公告)号：CN103827560B

公开(公告)日：2016-06-22

申请号：CN201280047669.5

申请日：2012-09-26

申请人： 株式会社富士金

发明人： 广濑隆 ,  山路道雄

IPC分类号： F16K27/00 ,  F15B11/00

CPC分类号： F16K27/003 ,  Y10T137/4259 ,  Y10T137/86485 ,  Y10T137/86493 ,  Y10T137/87885

摘要： 本发明的气体供给装置谋求气体供给管路和气体装置的进一步小型化，并且更容易进行各仪器类的维修管理。本发明在由气体入口侧块、气体出口侧块和多个流体控制仪器形成有供给管路是供给装置中，在前述气体供给装置上形成有至少两个气体供给管路，各气体供给管路的前述流体控制仪器包含至少一个流量控制器，一方的气体供给管路的流量控制器的入口侧块与另一方的气体供给管路的流量控制器的入口侧块以对向状相对于前述入口侧块连接，一方的流量控制器的出口侧块与另一方的流量控制器的出口侧块以对向状相对于前述气体出口侧块连接。

公开(公告)号：CN1359454A

公开(公告)日：2002-07-17

申请号：CN00809795.X

申请日：2000-06-05

申请人： 株式会社富士金 ,  大见忠弘

发明人： 大见忠弘 ,  西野功二 ,  池田信一 ,  山路道雄 ,  土肥亮介 ,  出田英二 ,  广濑隆

IPC分类号： F16K47/08

摘要： 提供一种节流孔内设阀,可用于具有半导体制造装置或化学品制造设备中所使用的压力式流量控制装置的供气设备中,不仅能够降低制造成本,而且能够提高节流孔的加工精度并在进行阀的组装时能够防止节流孔变形,从而能够获得优良的流量控制特性。为此,本发明中,由形成有与上开口的阀室连通的气体流入通路和气体流出通路的耐热材料制造的阀本体,设置在阀本体的阀室内的、形成有与所说阀本体的气体流出通路连通的气体流出通路及阀座的合成树脂制造的阀座体,可自由拆装地安装在阀座体的气体流出通路中的耐热材料制造的节流孔盘,以及形成于节流孔盘上的、使阀座体的气体流出通路缩径的节流孔构成节流孔内设阀的主要部分;预先在不锈钢制造的节流孔盘上形成节流孔,并且,将另行加工而形成了该节流孔的金属制造的节流孔盘和合成树脂制造的阀座体可自由拆装地加以组合,经由金属制造的节流孔盘推压合成树脂制造的阀座体使其压缩,从而将二者呈气密状态组装在阀本体上。

公开(公告)号：CN303980017S

公开(公告)日：2016-12-21

申请号：CN201630149550.X

申请日：2016-04-28

申请人： 株式会社富士金

设计人： 执行耕平 ,  广濑隆 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  安本直史

摘要： 1．本外观设计的产品名称：流体控制器用接合部件。
2．本外观设计产品的用途：用于引导以及排出流体。
3．本外观设计的设计要点：产品的形状。
4．最能表明设计要点的图片或者照片：主视图。
5．右视图与左视图对称，故省略右视图。

公开(公告)号：CN303970651S

公开(公告)日：2016-12-14

申请号：CN201630149551.4

申请日：2016-04-28

申请人： 株式会社富士金

设计人： 执行耕平 ,  广濑隆 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  安本直史

摘要： 1．本外观设计的产品名称：流体控制阀单元。
2．本外观设计产品的用途：对流体进行控制。
3．本外观设计的设计要点：产品的形状。
4．最能表明设计要点的图片或者照片：设计1立体图1。
5．指定设计1为2个相似外观设计的基本设计。