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    流体控制器及流量控制装置
    2.
    发明授权
    流体控制器及流量控制装置 有权

    公开(公告)号：CN102770697B

    公开(公告)日：2014-07-16

    申请号：CN201080062408.1

    申请日：2010-11-25

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 广濑隆 ,  小川普 ,  吉田俊英 ,  执行耕平

    IPC分类号： F16K37/00 ,  F16K31/124 ,  G05D7/00

    CPC分类号： F16K31/124 ,  F16K31/1226 ,  F16K37/0066 ,  G05D7/0635

    摘要： 本发明提供一种可以使组合有阀和限位开关的流体控制器小型化的流体控制器。阀(6)具有从壳体(21)的开口突出的突出部，以及作为移动部件的活塞(26)，该活塞(26)随着阀(6)的开闭直线移动而抵接于限位开关(7)。限位开关(7)面对活塞(26)，以能够通过限位开关定位机构(8)调整位置的方式安装。限位开关定位机构(8)具有：固定于主体(2)上的第一螺栓(42)，固定于限位开关(7)上的第二螺栓(43)，以及连接两螺栓(42，43)的连接螺柱(44)，第一螺栓(42)和第二螺栓(43)的螺距不同。

    垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置
    3.
    发明授权
    垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置 失效

    公开(公告)号：CN102265043B

    公开(公告)日：2013-12-04

    申请号：CN200980152480.0

    申请日：2009-11-12

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 广濑隆 ,  筱原努 ,  吉田俊英 ,  执行耕平 ,  山路道雄

    IPC分类号： F15D1/02 ,  F16L55/00 ,  G01F1/00 ,  G01F1/42

    CPC分类号： F16L23/20 ,  F15D1/025 ,  G01F1/40 ,  G01F1/42 ,  G05D7/0635

    摘要： 提供一种密封性良好、并且能够实现省空间化的垫圈型测流孔及使用该测流孔的压力式流量控制装置。本发明是由在中心部具有贯通状的通路（2a）的测流孔基座（2），在中心部具有连通到上述测流孔基座（2）的通路（2a）的贯通状的通路（3a）的测流孔基座（3），和以气密状插装在两测流孔基座（2、3）之间的在中心部形成有测流孔口的测流孔板（4）构成，配设在流体通路中、将两测流孔基座（2、3）的外侧端面分别作为密封面（2c、3c）的垫圈型测流孔（1），将上述两测流孔基座（2、3）中的位于下游侧的测流孔基座（3）的外径形成为比位于上游侧的测流孔基座（2）的外径大，将位于下游侧的测流孔基座（3）的内侧端面的外周缘部分作为密封面（3d）。

    阀装置
    5.
    发明公开
    阀装置 无效

    公开(公告)号：CN111316026A

    公开(公告)日：2020-06-19

    申请号：CN201880071444.0

    申请日：2018-10-22

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 渡边一诚 ,  执行耕平 ,  相川献治 ,  中田知宏 ,  松田隆博 ,  篠原努

    IPC分类号： F16K27/02 ,  F16K7/12

    摘要： 提供一种能够确保所需的流量并且能够飞跃性地提高阀体的流路的配置自由度的小型化了的阀装置。所述阀装置具有：阀座支承件(50)，其设于收纳凹部(22)内，具有与阀座(16)的密封面(16f)抵接并且对来自该密封面(16f)的按压力进行支承的支承面(50f1)；以及隔膜(14)，其以能够与阀座(16)的座面(16s)抵接和分离的方式设置在收纳凹部(22)内，将收纳凹部(22)的开口侧密闭，阀座支承件(50)具有与收纳凹部(22)的内壁面的一部分协同动作而将初级侧流路(21)和次级侧流路(24)之间的连通切断的密封面(50b1、50b2、50b3)、以及连接初级侧流路(21)和阀座(16)的流通流路(16a)的迂回流路(50a)。

    流量控制装置用的流量控制阀
    6.
    发明公开
    流量控制装置用的流量控制阀 失效

    公开(公告)号：CN105190142A

    公开(公告)日：2015-12-23

    申请号：CN201480004461.4

    申请日：2014-03-17

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 广濑隆 ,  山路道雄 ,  吉田俊英 ,  执行耕平

    IPC分类号： F16K31/02 ,  F16K27/02

    摘要： 本发明通过实现在流量控制装置等中使用的压电元件驱动式金属隔膜控制阀的构造的简单化和小型化、组装及维护检修的容易化，不会造成半导体制造装置用集成化气体供给装置等的大型化，就可以应对供给气体种类、供给电路数量的增加的要求。本发明由下述部件构成：包括具有阀座(6)的上方敞口的阀室用孔部(1a)和与之连通的流体入口通路(7a)以及流体出口通路(7b)的阀主体(1)；在阀座(6)的上方相对状配设并且外周缘固定于阀室用孔部(1a)的底面的倒碟形的金属隔膜阀体(2)；螺纹旋插到阀室用孔部(1a)中并按压固定金属隔膜阀体(2)的外周缘的压紧螺钉(5)；通过压紧螺钉(5)内部并插入到阀室用孔部(1a)内，在前端部的底壁下方具备隔膜压件(3)，并且在侧壁上相对且贯通状地设置有从侧壁的上端到达中间部的长方形的切口(22a)的下部支承筒体(22)；螺接到下部支承筒体(22)的上端部而形成支承筒体(23)的圆筒状的上部支承筒体(21)；载置在下部支承筒体(22)的底壁上的具有保持部(8a)的碟簧承受台(8)；载置在碟簧承受台(8)上的碟簧(18)；插通下部支承筒体(22)的切口(22a)而水平配设，中央具有保持碟簧保持部(8a)的前端部的碟簧承受台引导孔(19)，并且在两端部设置有螺栓插入孔(20)的支承台架(16)；载置在支承台架(16)的碟簧承受台引导孔(19)的上方的下部承受台(9)；插入下部承受台(9)的上方的支承筒体(23)内的压电元件(10)；具备引导筒(24a)和从其下端部向两侧突出的凸缘部(24c)，使支承筒体(23)以能够向上下方向移动的方式插通到引导筒(24a)内，并且使凸缘部(24c)与支承台架(16)的两端部相对，利用固定用螺栓(17)与所述支承台架(16)一并被固定于阀主体(1)的引导体(24)；和螺接在上部支承筒体(21)的上端部的定位螺母(12)，通过压电元件(10)的伸长将支承筒体(23)推向上方，利用金属隔膜阀体(2)的弹力使其从阀座(6)分离。

    阀装置以及流体控制装置
    8.
    发明公开
    阀装置以及流体控制装置 无效

    公开(公告)号：CN111836985A

    公开(公告)日：2020-10-27

    申请号：CN201980016155.5

    申请日：2019-02-19

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 渡边一诚 ,  执行耕平 ,  泽田洋平 ,  中田知宏 ,  篠原努

    IPC分类号： F16K7/16 ,  F16K27/02 ,  H01L21/02

    摘要： 本发明提供进一步降低物理性冲击对阀芯的影响的阀装置。阀装置(1)具有：阀座(41)，其配置在与形成于阀体(3)内的流路连接的开口的周围；隔膜(5)，其通过在相对于阀座(41)接触的接触位置以及相对于阀座(41)不接触的非接触位置之间移动而进行流路的开闭；按压转接器(6)，其与隔膜(5)的周缘部接触；壳体(2)，其内置有使隔膜(5)动作的致动器，与形成于阀体(3)的螺纹孔螺纹结合而固定在阀体(3)；以及转接器固定环(7)，其与螺纹孔螺纹结合并对按压转接器(6)以及隔膜(5)进行按压，并且固定在阀体(3)内。

    流路组件以及阀装置
    9.
    发明公开
    流路组件以及阀装置 失效

    公开(公告)号：CN111295544A

    公开(公告)日：2020-06-16

    申请号：CN201880071418.8

    申请日：2018-10-24

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 渡边一诚 ,  执行耕平 ,  相川献治 ,  中田知宏 ,  松田隆博 ,  篠原努

    IPC分类号： F16L55/00 ,  F16K1/42 ,  F16K7/14 ,  F16K27/02 ,  F16K51/00

    摘要： 提供一种组装有节流孔、过滤器等功能部件的流路组件，功能部件与划定流路的流路部件之间被长期可靠地密封。在流路构件(51、52)的相对面(51f、52f)的外侧具有介于流路构件(51、52)之间的环状的弹性构件(54)，流路构件(52)具有凿紧部(52e_c)，凿紧部(52e_c)将流路构件(51、52)和板状构件一体化，以相对面(51f、52f)中的一者朝向相对面(51f、52f)中的另一者的方式对流路构件(52)施加力，对作为板状构件的节流孔板(53)与相对面(51f、52f)之间进行密封，弹性构件(54)在流路构件(51、52)之间被压扁而对流路构件(51、52)之间进行密封。

    压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置
    10.
    发明授权
    压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置 有权

    公开(公告)号：CN107925368B

    公开(公告)日：2019-06-18

    申请号：CN201680030926.2

    申请日：2016-08-09

    申请人： 株式会社富士金

    发明人： 执行耕平 ,  广濑隆 ,  西野功二 ,  土肥亮介 ,  安本直史

    IPC分类号： H02N2/04 ,  F16K31/02 ,  H01L41/053 ,  H01L41/083 ,  H01L41/09

    摘要： 本发明涉及压电式线性致动器、压电驱动阀以及流量控制装置。压电式线性致动器具备：积层压电致动器；支撑积层压电致动器，并且向积层压电致动器的左右侧方延伸的下部支撑部件；沿着积层压电致动器左右两侧延伸并相对于下部支撑部件可上下移动地交叉并传递因积层压电致动器的压电效果产生的位移的一对位移传递部件；以及在下部支撑部件下方被卡止在一对位移传递部件而将两位移传递部件的下端部彼此连结的输出部，位移传递部件各自形成为具有沿着积层压电致动器的外周面的圆弧状内周面且具有与圆弧状内周面相连的侧面的长条部件状，在各位移传递部件的下端部，以对向状形成有下部支撑部件插通的纵长的导孔，在该导孔的下方侧的内周缘部卡止有输出部。