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公开(公告)号：CN113219765B
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202110454468.8
申请日：2021-04-26
申请人： 深圳市华拓半导体技术有限公司
发明人： 罗建华
摘要： 本申请涉及光学检测的技术领域，尤其是涉及一种光学成像系统，包括支架，支架设有下罩体和拍摄装置，拍摄装置包括光源装置、激光发射器和多个成像组件；每一个成像组件均包括镜筒、相机和反射镜组；多个反射镜组分别以不同角度安装于支架；其中一个反射镜组的入光端所在平面的法线与激光发射器的激光发射路线所在直线呈一定角度。本申请有益效果1、通过设置多个成像组件，同步对被测物进行多个视角的拍摄成像，提高了检测效率，加快了对大批量的被测物进行外观检测的速度。2、通过设置激光发射器，让成像组件拍摄每一个被测物时，均能实现自动对焦，提高图像的清晰度，减少图像中的细节丢失。
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公开(公告)号：CN117923161A
公开(公告)日：2024-04-26
申请号：CN202410204204.0
申请日：2024-02-23
申请人： 深圳市华拓半导体技术有限公司
IPC分类号： B65G49/07 , B65G47/24 , B65G57/112
摘要： 本申请涉及料盒输送的技术领域，公开了一种可调宽的料盒输送装置，包括支撑架，支撑架的一侧设置有用于输送料盒的上料组件以及下料组件，支撑架的一侧设置有用于驳接上下料的升降组件，升降组件上设置有升降平台，升降平台上设置有用于对料盒夹紧固定的夹紧组件以及针对料盒不同宽度进行调节的调宽组件，位于升降组件的一侧设置有定位组件，定位组件横跨升降组件与上料组件、下料组件连接；上料组件、下料组件、升降组件、夹紧组件、调宽组件以及定位组件与设置在支撑架上的控制箱电性连接；通过设置调宽组件和定位组件，能够解决现有的料盒输送装置在输送料盒以及夹紧料盒过程中不能适用多种尺寸规格，从而存在兼容性差的问题。
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公开(公告)号：CN117522871B
公开(公告)日：2024-04-16
申请号：CN202410013044.1
申请日：2024-01-04
申请人： 深圳市华拓半导体技术有限公司
IPC分类号： G06T7/00 , G06N3/042 , G06N3/045 , G06N3/0464 , G06N3/08 , G06T3/40 , G06T7/11 , G06V10/762 , G06V10/80 , G06V10/82
摘要： 本发明公开了一种基于视觉图像交互的半导体晶圆检测方法及系统，包括，获取晶圆的晶圆图像，对预处理后晶圆图像进行视觉增益，获取全局特征并分割感兴趣区域；将感兴趣区域进行超分辨率重建，构建特征提取网络提取不同尺度超分辨率特征，并进行自适应特征融合；基于图卷积网络结合特征提取网络构建晶圆检测网络，利用缺陷数据集进行训练，获取融合特征在不同标签中的权重信息，根据权重信息与特征图结合获取标签表示；将标签表示导入图卷积网络获取标签节点向量，导入二分类器中输出最终缺陷类别。本发明通过提取超分辨率特征提高了细小缺陷的检测精度，实现晶圆中自动化检测，筛选出缺陷晶圆，提高半导体生产的良品率。
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公开(公告)号：CN117558660B
公开(公告)日：2024-04-12
申请号：CN202410036642.0
申请日：2024-01-10
申请人： 深圳市华拓半导体技术有限公司
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/66 , G06F18/20 , G06N3/0442 , G06N3/084 , G06Q10/0631
摘要： 本发明公开了一种半导体晶圆检测设备控制工作站的管理方法及系统，对目标半导体晶圆产品数据进行检测任务分析，得到产品检测需求数据；基于产品检测需求数据与工作站设备信息进行多种检测设备的联合任务需求分析，并形成工作站检测方案；基于工作站检测方案对目标晶圆进行检测，通过工作站，获取多种检测设备的实时检测数据，将检测数据进行数据转化并导入基于LSTM的预测模型中进行数据预测与产品评估，得到基于预测数据的晶圆检测评估数据；基于所述晶圆检测评估数据对工作站设备进行检测预警评估,并实时生成人员资源配置方案。通过本发明，能够有效实现晶圆检测预警分析与晶圆产品检测的人员优化配置，从而提高管理检测设备效率和自动化程度。
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公开(公告)号：CN117790393A
公开(公告)日：2024-03-29
申请号：CN202311750233.9
申请日：2023-12-19
申请人： 深圳市华拓半导体技术有限公司
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/66 , B25B11/00
摘要： 本申请涉及晶圆压紧的技术领域，公开了一种磁力压料工装机构，包括工作台板，工作台板的两侧分别设置有支撑组件，两个支撑组件之间设置有用于放置晶圆的载具，支撑组件上设置有磁性压紧组件，磁性压紧组件与支撑组件之间设置有弹性件，位于工作台板上设置有滑动组件，滑动组件上设置有电磁铁，电磁铁用于与磁性压紧组件配合，实现对载具的固定，且电磁铁与控制系统电性连接；利用磁性压紧组件与支撑组件之间的磁力相互吸引，实现对载具以及晶圆的固定，这种利用磁力压紧的方式与直接利用气缸带动压料组件相比，整体上相对柔和，有效降低冲击，同时也可以实现动力装置与压料模块的分离，使气管、线路不跟随压料机构运动，避免布置困难。
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公开(公告)号：CN117326500A
公开(公告)日：2024-01-02
申请号：CN202311317347.4
申请日：2023-10-12
申请人： 深圳市华拓半导体技术有限公司
IPC分类号： B66F11/00 , F16F15/023
摘要： 本申请涉及物料顶升的技术领域，公开了一种可调高度的顶升托盘快拆结构，包括用于与检测设备连接的固定板，固定板上设置有升降组件，升降组件的输出端连接有滑动板，滑动板上连接有放置板，放置板上设置有托盘，托盘的一侧与设置在放置板的一侧连接，托盘的另一侧与设置在放置板另一侧的卡紧组件连接，固定板上位于升降组件的两侧设置有用于滑动板缓冲的缓冲组件，固定板上位于升降组件的底部设置有电机，电机输出轴上设置有凸轮，凸轮用于限制滑动板移动；利用缓冲组件进行缓冲，避免料片被顶飞，利用电机旋转带动凸轮转动，从而限制托盘的顶升高度，针对不同厚度的料片，可以确保每一次顶升都在同一位置。
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公开(公告)号：CN117184854A
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202311260013.8
申请日：2023-09-27
申请人： 深圳市华拓半导体技术有限公司
摘要： 本申请涉及物料传输的技术领域，公开了一种垂直双通道物料传输机构，包括工作台，工作台的一侧连接有升降组件，工作台的另一侧设置有第一安装架以及第二安装架，第一安装架与工作台固定连接，第二安装架与工作台活动连接，第一安装架、第二安装架上均设置有上、下两层通道，上、下两层通道上设置有用于传送料片的传输组件，位于第一安装架的上、下通道设置有卸料组件，位于第二安装架的上、下通道设置有推料组件，推料组件、卸料组件靠近料片出料口设置，升降组件、传输组件、推料组件、卸料组件与控制箱电性连接；该机构通过上下两层通道实现不良品的传输，筛选过程中无需停顿和人工参与挑拣，整体上保证物料复检过程的流畅性，复检效率更高。
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公开(公告)号：CN216422497U
公开(公告)日：2022-05-03
申请号：CN202123077130.X
申请日：2021-12-08
申请人： 深圳市华拓半导体技术有限公司
IPC分类号： B25H1/16
摘要： 本实用新型公开一种自适应轨道调整装置，包括基准轨道、调节轨道、基准轨道安装板、调节轨道安装板、轨道调节机构和模块安装基座，所述基准轨道安装板设于所述模块安装基座上，所述基准轨道设于所述基准轨道安装板的顶部；所述调节轨道安装板设于所述模块安装基座上且位于所述基准轨道安装板的一侧；所述轨道调节机构分别设于所述调节轨道安装板的两端；所述调节轨道设于所述轨道调节机构的顶部。本实用新型以基准轨道的高度为基准，调节轨道的高度可根据检测需要自动调整，能满足于不同规格料片的支撑。
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公开(公告)号：CN217180566U
公开(公告)日：2022-08-12
申请号：CN202123448189.5
申请日：2021-12-30
申请人： 深圳市华拓半导体技术有限公司
摘要： 本申请涉及半导体领域，尤其是涉及一种半导体芯片筋切成型外观质量检测装置，包括检测主机和转动设置于所述检测主机上的箱门；所述检测主机上设置有锁紧机构，所述锁紧机构包括支架、防脱杆、防脱块和弹簧；所述支架固定于所述检测主机上，所述防脱杆穿过所述支架并与所述支架滑移配合；所述检测主机上开设有滑移孔，所述防脱杆穿过所述滑移孔并与所述滑移孔滑移配合；所述箱门上开设有防脱孔，所述防脱杆靠近所述箱门的一端与所述防脱孔滑移配合；所述防脱块固定于所述防脱杆上，所述弹簧套设于所述防脱杆上，所述弹簧的一端抵接于所述防脱块，所述弹簧的另一端抵接于所述支架。本申请能够限制关闭后的箱门发生转动。
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公开(公告)号：CN213023612U
公开(公告)日：2021-04-20
申请号：CN202021121538.5
申请日：2020-06-16
申请人： 深圳市华拓半导体技术有限公司
发明人： 罗建华
IPC分类号： G01V8/10
摘要： 本实用新型公开了一种光纤传感器检测装置，其中，包括：第一载台，第二载台，一端设置在所述第一载台上，另一端连接第二载台的支撑臂；所述第一载台相对于第二载台的表面上设置有光纤传感器发射端，所述第二载台相对于第一载台的表面上设置有光纤传感器接收端；第一载台外侧面设置有第一安装槽，第一安装槽内设置有第一调节装置，第二载台外侧面设置有第二安装槽，第二安装槽内设置有第二调节装置。本实用新型实施方式提供的光纤传感器检测装置可将光纤传感器传输的光幕调节至被测工件的出料口，有效解决检测时光幕与被测工件之间存在光幕死角的问题，提高了光纤传感器的检测稳定性。
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