用于散射仪的双光束设置
    34.
    发明公开

    公开(公告)号:CN101243313A

    公开(公告)日:2008-08-13

    申请号:CN200680029684.1

    申请日:2006-08-04

    发明人: S·瓦德曼

    摘要: 提供了一种具有双光束设置的散射仪或二次散射仪和使用其的方法,以产生光学参数测量值。双光束二次散射仪包括在底部由基底(320)密封的半球形穹面外壳(318)。辐射源(302)分成两个光束产生辐射:用于照明样本表面(308)的照明光束(304)和用于提供与照明光束(304)有关的光学特征信息的校准光束(330)。经由分立的光路将每个光束引导到半球形穹面外壳(318)之内。定位光学成像装置(324)以获取由被照明光束(304)照明的样本表面(308)散射的散射辐射(314)的图像,并同时获取校准光束的图像。在分析散射辐射数据时,利用校准光束图像补偿辐射源(302)的光输出的变化。