用于多腔室工具的臭氧系统

    公开(公告)号:CN101243369B

    公开(公告)日:2010-12-15

    申请号:CN200680030056.5

    申请日:2006-07-07

    IPC分类号: G05D11/00 C01B13/10 H01L21/00

    摘要: 用于控制与多腔室工具有关的臭氧浓度的改进系统和方法。该系统和方法包括与臭氧发生器相组合的第一和第二浓度控制器。第一浓度控制器检测EVENT(即,多腔室工具中的腔室之一进入在线或离线状态),并且作为响应根据预测控制算法而把功率指令提供给臭氧发生器。第一浓度控制器具有快速(即,约1秒)的响应时间。在EVENT期间,第二浓度控制器对于臭氧发生器而言是屏蔽起来的,但是在EVENT后消逝一段时间间隔之后就控制该发生器。第二浓度控制器具有比第一浓度控制器要慢的响应时间,然而,第二浓度控制器给系统提供了长期的稳定性,并且可以用于向预测控制算法提供经更新的数据。

    动态配料数字控制系统和方法

    公开(公告)号:CN100577272C

    公开(公告)日:2010-01-06

    申请号:CN200710168544.9

    申请日:2007-11-30

    发明人: 姚红兴 石祥林

    IPC分类号: B01F15/04 G05D11/00

    摘要: 本发明公开了一种动态配料数字控制系统,包括:计算机控制系统,用于根据生产计划确定总流量自动生成配料单并进行分配,和进行A/D转换以及获得变频器输出频率;配料圆盘,与所述计算机控制系统通信连接,用于根据所述配料单给出的具体的配料流量;称重传感器,安装在称重皮带与所述计算机控制系统通信,检测所述配料圆盘配给的矿石重量并将检测到的数据反馈给计算机控制系统;变频电机,与计算机控制系统和配料圆盘通信连接,用于按照计算机控制系统根据检测到的数据进行A/D转换获得的变频器输出频率调节速度,进而调节所述配料圆盘的转速。以及还公开了一种动态配料数字控制方法。因此通过本发明控制系统和控制方法减少工程建设成本和使用维护成本,提高配料精度。

    光束探测器和具有该光束探测器的光扫描器单元

    公开(公告)号:CN100388050C

    公开(公告)日:2008-05-14

    申请号:CN200610077732.6

    申请日:2006-04-24

    发明人: 李泰庚

    IPC分类号: G02B26/10 G05D11/00 G03G15/00

    CPC分类号: G02B26/127

    摘要: 本发明公开了一种光束探测器,该光束探测器包括:光束探测传感器,该光束探测传感器接收从光源发出的光束,并产生同步信号;狭缝元件,该狭缝元件其中形成有狭缝,以通过调节由光束探测传感器经狭缝接收到的光束量来控制产生光束探测传感器的同步信号的时间;以及托架,所述狭缝元件安装在该托架中。狭缝沿着竖直方向延伸,一对表面形成狭缝且彼此面对,并且被扫描的光束首先到达的所述对表面中的至少一个相对于竖直方向倾斜。

    具有防止堆叠辊旋转的结构的自动柜员机

    公开(公告)号:CN101097449A

    公开(公告)日:2008-01-02

    申请号:CN200710122725.8

    申请日:2007-07-02

    发明人: 郑允锡

    IPC分类号: G05D11/00 B65H3/06 B65H29/20

    摘要: 本发明的目的在于提供一种存入纸币时能够防止堆叠辊的旋转从而稳定堆叠纸币的自动柜员机。根据本发明的一个方面,一种自动柜员机由供给辊、堆叠辊和弹性部件组成。供给辊将由拾取辊一张张分离的纸币输送到纸币取出通道或将从纸币存入通道输送的纸币输送到循环箱内部,与纸币相接触的每个供给辊的外周面均是由橡胶材质形成。每个堆叠辊均沿着外周面设有多个翼片。当存入纸币时,堆叠辊的外周面与上述供给辊接触。而与纸币相接触的每个堆叠辊外周面均是由合成树脂形成。设有弹性部件推压上述堆叠辊靠压在上述供给辊的外周面上,所述弹性部件对上述堆叠辊施加弹力使要存入的纸币与上述堆叠辊之间的摩擦力小于要存入的纸币与供给辊之间的摩擦力。

    供应恒浓度臭氧化水的方法

    公开(公告)号:CN1318317C

    公开(公告)日:2007-05-30

    申请号:CN200410095253.8

    申请日:2004-11-22

    IPC分类号: C02F1/68 C02F1/78 G05D11/00

    摘要: 本发明提供一种装置,该装置可保持臭氧化水的浓度且免受所用臭氧化水量波动的影响。还提供一种用以供应恒浓度臭氧化水的方法,该方法包括采用臭氧化水制造装置及于该装置以外的地点使用该臭氧化水的系统,于该臭氧化水制造装置及臭氧化水使用地点之间配置循环管线,在该循环管线内循环臭氧化水,以使臭氧化水制造装置出口处流速恒定,监控该出口附近的臭氧浓度,依据监控结果调节供给臭氧化水制造装置的臭氧量及/或臭氧气体浓度,进一步监控臭氧化水使用地点的臭氧化水量,并依据该监控结果控制待制造的臭氧化水量。即使在使用地点暂时中断使用臭氧化水时,该臭氧化水仍可使用不必丢弃。可制造及供应恒浓度的臭氧化水并对臭氧进行有效利用。

    光束探测器和具有该光束探测器的光扫描器单元

    公开(公告)号:CN1851525A

    公开(公告)日:2006-10-25

    申请号:CN200610077732.6

    申请日:2006-04-24

    发明人: 李泰庚

    IPC分类号: G02B26/10 G05D11/00 G03G15/00

    CPC分类号: G02B26/127

    摘要: 本发明公开了一种光束探测器,该光束探测器包括:光束探测传感器,该光束探测传感器接收从光源发出的光束,并产生同步信号;狭缝元件,该狭缝元件其中形成有狭缝,以通过调节由光束探测传感器经狭缝接收到的光束量来控制产生光束探测传感器的同步信号的时间;以及托架,所述狭缝元件安装在该托架中。狭缝沿着竖直方向延伸,一对表面形成狭缝且彼此面对,并且被扫描的光束首先到达的所述对表面中的至少一个相对于竖直方向倾斜。