光刻胶膜卷材及其制造方法

    公开(公告)号:CN101203807B

    公开(公告)日:2011-09-14

    申请号:CN200680021965.2

    申请日:2006-05-26

    CPC classification number: G03F7/161

    Abstract: 本发明提供光刻胶膜卷材及其制造方法,该光刻胶膜卷材在感光性树脂层具有流动性且柔软的情况下可以防止冷流,在感光性树脂层硬的情况下可以抑制切断时产生碎片。光刻胶膜卷材中,按照感光性树脂层(2)的宽度小于支持膜(1a)的宽度的形式进行涂布,并且按照感光性树脂层(2)的宽度小于保护膜(1b)的宽度的形式进行粘接。

    感光性树脂组合物和使用它的感光性干膜

    公开(公告)号:CN101124517A

    公开(公告)日:2008-02-13

    申请号:CN200580039942.X

    申请日:2005-11-22

    CPC classification number: G03F7/031 Y10S430/111 Y10S430/146

    Abstract: 本发明提供一种感光性树脂组合物和感光性干膜,其感光度和稳定性优异,并在掩蔽强度、分辨率和电镀非污染性方面具有良好平衡。这种感光性树脂组合物包括碱溶性树脂(A)、光聚合化合物(B)和光聚合引发剂(C),其中聚合引发剂(C)包括作为必须成分的六芳基二咪唑类化合物(C1)和多官能硫醇化合物(C2)。所述感光性干膜在支持膜上至少具有由所述感光性树脂组合物形成的感光性树脂层。

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