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41.

外观设计
等离子体处理装置的微波导入窗顶板失效

公开(公告)号：CN3590879D

公开(公告)日：2006-12-20

申请号：CN200630001633.0

申请日：2006-01-27

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Designer： 太田欣也 , 田才忠 , 北川淳一

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