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公开(公告)号：CN103811834A
公开(公告)日：2014-05-21
申请号：CN201410052316.5
申请日：2014-02-17
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的微机械悬臂梁式π型连续可重构微波带通滤波器采用一个平面螺旋电感，通过将两个相同的并联连接到CPW信号线和地线之间的MEMS可变平行板电容以及两个相同的串联连接到CPW信号线上的MIM电容依次对称放置在平面螺旋电感的左右两侧，构成具有带通特性的π型拓扑结构；MEMS可变平行板电容基于静电原理实现不同的电容大小，它的上极板为MEMS悬臂梁而下极板为CPW信号线，其中MEMS悬臂梁横跨在CPW信号线上且在CPW信号线的附近放置驱动电极；在MEMS悬臂梁下方的CPW信号线和驱动电极上覆盖Si3N4绝缘介质层。该滤波器实现了中心频率和带宽的连续调谐，而且具有低的损耗、好的带外抑制、宽的频带调谐、小的芯片面积。
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公开(公告)号：CN102354789B
公开(公告)日：2014-04-16
申请号：CN201110283693.6
申请日：2011-09-22
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的微机械耦合度可重构微波功率耦合器不但具有传统微波功率耦合器的优点，如高的隔离度和好的方向性，而且能够实现低、中和高三种可重构的耦合度。该结构在砷化镓衬底上有两对MEMS悬臂梁结构，其一对较短MEMS悬臂梁的锚区在主线上而其另一对较长MEMS悬臂梁的锚区在耦合微带线上，每个MEMS悬臂梁的下方均设有驱动电极；通过控制长短MEMS悬臂梁的驱动电压，使该耦合器能够实现可选择的耦合通路，从而实现三种不同耦合度的可重构微波功率耦合器。
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公开(公告)号：CN102098067B
公开(公告)日：2013-10-30
申请号：CN201110003103.X
申请日：2011-01-07
Applicant: 东南大学
IPC: H04B1/06
Abstract: 本发明的基于在线式微电子机械微波功率传感器的微波接收机前端采用在线式MEMS微波功率传感器的自检测功能将部分被MEMS膜桥耦合的微波功率转换为直流电平，该直流电平在线控制可衰减和可放大预处理器，在微波天线接收到过大或过小的微波信号时使该微波接收机前端的输出保持相对稳定，同时在微波天线突发性接收到超大微波信号时起到保护低噪声放大器的作用，避免其过载，并且扩大了微波接收机前端的线性动态范围，从而代替了传统微波接收机前端中采用较复杂的AGC模块实现上述功能；而且由于这种微波接收机前端是基于MEMS技术实现的，因此它还具有较低的损耗和较小的体积等在线式MEMS微波功率传感器的特点。
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公开(公告)号：CN102243268B
公开(公告)日：2013-10-16
申请号：CN201010240182.1
申请日：2010-07-29
Applicant: 东南大学
Abstract: 微电子机械定向耦合式微波功率传感器及其制备方法，定向耦合式微波功率传感器由定向微波功率耦合器和基于热电堆的终端式微波功率传感器组成，定向微波功率耦合器的副线与主线耦合的部分设有MEMS固支梁，MEMS固支梁作为副线的一段耦合线段；MEMS固支梁下方设有驱动电极；定向微波功率耦合器的耦合输出端口设有终端发热电阻，热电堆设置在终端发热电阻旁，构成终端式微波功率传感器。本发明不但具有终端式微波功率传感器的优点，如低损耗、高灵敏度、宽频带和良好的线性度，而且通过控制MEMS固支梁的驱动电压使该定向耦合式微波功率传感器实现在线监测和不监测两种状态，减少不必要的功率损耗。
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公开(公告)号：CN102255128B
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201010240185.5
申请日：2010-07-29
Applicant: 东南大学
Abstract: 一种微电子机械固支梁式定向微波功率耦合器及其制备方法，耦合器为四端口微波器件，包括主线和副线，四端口为主线输入端口、主线输出端口、副线耦合输出端口和副线隔离端口，以砷化镓衬底为基底，在基底上设置主线和副线，副线与主线耦合的部分设有MEMS固支梁，MEMS固支梁作为副线的一段耦合线段；MEMS固支梁下方设有驱动电极，对应驱动电极在副线外侧设有压焊块，通过引线与驱动电极连接。本发明的微电子机械固支梁式定向微波功率耦合器不但具有传统定向微波功率耦合器的低损耗、高隔离度和良好的方向性的特点，而且通过控制MEMS固支梁的驱动电压使该微波功率耦合器能够实现耦合和不耦合两种状态，减少不必要的功率损耗。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102338825B
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201110229397.8
申请日：2011-08-11
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的呈120º角三通道微电子机械微波功率传感器不但具有传统热电式微波功率传感器的优点，如低损耗、高灵敏度、好的线性度，而且具有实现三通道微波功率的测量、高的集成度以及与砷化镓单片微波集成工艺兼容的优点。该结构在砷化镓衬底上，有三个用于传输微波信号的CPW输入端，它们彼此对称放置且相互之间呈120º的角，在每个CPW的输出端并联连接两个终端匹配电阻，每个终端匹配电阻附近有一个热电偶，将这三对热电偶也成对称放置并串联连接形成热电堆，这三对热电偶相互之间也同样呈120º的角；金属散热片被热电堆的冷端环绕；MEMS衬底膜结构位于终端匹配电阻和热电堆的热端下方。
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公开(公告)号：CN102645579A
公开(公告)日：2012-08-22
申请号：CN201110229462.7
申请日：2011-08-11
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的四输入微机械悬臂梁热电式微波功率传感器，实现了四输入微波功率的测量，同时也能够检测其中哪些输入了微波功率及其微波功率大小的比例。该结构在砷化镓衬底上将四个主线CPW对称放置，它们彼此相互之间呈90º的角，在每个主线CPW的输出端并联两个终端匹配电阻，每个终端匹配电阻附近有一个热电偶，将这四对热电偶相互之间同样呈90º的角放置并串联连接形成热电堆；在每个主线CPW信号线上横跨一个MEMS悬臂梁，其悬臂梁相互之间也呈90º的角，在悬臂梁下方有绝缘介质层，MEMS悬臂梁的一端未被固体而另一端固定在锚区上，其锚区与副线CPW信号线相连接，在副线CPW地线上有一个隔直电容，在每个副线CPW输出端并联两个100Ω的热电偶。
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公开(公告)号：CN101915871B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN201010223810.5
申请日：2010-07-12
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开了一种MEMS固支梁式在线微波功率传感器及其制备方法，所述微波功率传感器包括砷化镓衬底、主线CPW、副线CPW、MEMS固支梁式结构和终端微波功率监测系统：所述MEMS固支梁式结构包括固支梁和锚区，固支梁横跨在主线CPW信号线的上方，固支梁的两端固定在锚区上，锚区通过副线CPW信号线而不是CPW地线与终端微波功率监测系统相连接；所述固支梁结构下方设有驱动电极。本发明的MEMS固支梁式在线微波功率传感器，不但具有终端式微波功率传感器的优点，如低损耗和高灵敏度，而且具有在线微波功率测量、实现监测和不监测两种状态、多种耦合度的在线微波功率传感器的集成以及与砷化镓单片微波集成电路兼容的优点。
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公开(公告)号：CN101369679B
公开(公告)日：2012-05-23
申请号：CN200810156451.9
申请日：2008-10-10
Applicant: 东南大学
Abstract: 微电子机械二选一微波开关及其制备方法其结构简单、隔离度高、静态功耗低，且便于集成。以砷化镓为衬底(1)，第一微带线(3)、第二微带线(4)、第一锚区(5)、第一锚区(6)、膜桥(17)、电极(2)采用金为材料制备在衬底上，此外还包含覆盖在第一微带线(3)、第二微带线(4)和电极(2)上的第一氮化硅介质层(7)、第二氮化硅介质层(8)、第三氮化硅介质层(9)以及在衬底背面生长的金层(18)；其中，第一微带线(3)、第二微带线(4)分别位于电极(2)的两侧，而第一锚区(5)、第二锚区(6)则分布在开关结构的两侧；膜桥(17)悬空横跨在电极(2)和第一微带线(3)、第二微带线(4)上面，并由第一锚区(5)、第二锚区(6)进行支撑。
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公开(公告)号：CN102375090A
公开(公告)日：2012-03-14
申请号：CN201110283705.5
申请日：2011-09-22
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明的微机械悬臂梁开关在线式微波功率检测器，由一个耦合度可变的微电子机械悬臂梁开关式微波功率耦合器和一个直接加热式MEMS微波功率检测器构成。该结构以砷化镓为衬底，在耦合器中包含有MEMS悬臂梁开关结构，通过驱动电极的控制，悬臂梁开关将处于DOWN或UP状态，分别使输入微波功率以不同的比例耦合至热电偶上；由耦合输出的微波功率被热电偶直接吸收，并将电磁能量转化为热量，使得另一端的热电偶在输出压焊块上以恒定电势差的形式输出，该恒定电势差即对应了由耦合输出端得到的微波功率的大小。
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