一种工程结构振动试验装置
    1.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119688211A

    公开(公告)日:2025-03-25

    申请号:CN202510014854.3

    申请日:2025-01-06

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种工程结构振动试验装置,具体涉及振动试验技术领域,包括导向框、双向螺杆、调节电机以及配重振动间距调节机构;其中配重振动间距调节机构包括两个螺纹套条、凹形插块、锁紧电缸、工程结构件、感应块、距离传感器,还包括导向框的底端安装有横向配重振动角度调节机构,以及竖向配重振动角度调节机构。本发明通过配重振动间距调节机构,具有两个试验配重块能够按照指定间距,以及指定横向角度,还有指定竖向角度,进行配重振动试验,能够适用于不同间距位置的配重振动试验,振动试验适用范围更广的优点,从而解决了难以适用于不同位置的配重振动试验,试验局限性较大的问题。

    一种无线柔性温湿压集成传感器及其制备方法、传感系统

    公开(公告)号:CN118464076A

    公开(公告)日:2024-08-09

    申请号:CN202410552107.0

    申请日:2024-05-07

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种无线柔性温湿压集成传感器及其制备方法、传感系统,传感系统其主要由无线柔性温度传感器、无线柔性湿度传感器、无线柔性压力传感器以及无线低功耗唤醒电路构成,通过集成三种不同谐振频率的LC传感器,实现对温度、湿度和压力的无线测量。其中,温度传感器采用聚乙二醇作为温度敏感材料,湿度传感器采用氧化石墨烯作为湿度敏感材料,压力传感器把平行板电容作为压力敏感元件,从而温湿压的改变引起对应LC传感器的电容值改变。该无线柔性温湿压集成传感器为无源器件,具有柔性可穿戴和高灵敏度等特点;该低功耗唤醒电路实现对检测系统的休眠‑唤醒功能,降低该传感器系统的平均功耗,具有无线唤醒和响应速度快等特点。

    微型MEMS红外传感器及其制备方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN118183612A

    公开(公告)日:2024-06-14

    申请号:CN202410327932.0

    申请日:2024-03-21

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种微型MEMS红外传感器及其制备方法,通过在热电堆的上方设置超材料吸波结构,取代传统滤光片实现红外光的高效吸收。通过超材料吸波结构将待测物体辐射的红外光吸收并产生热,引起热电堆的冷热两端存在温差,基于Seebeck效应将温差转化为输出电压,从而实现温度测量。在此基础上,通过对热电堆上方的超材料吸波结构的参数设计,基于朗伯比尔定律构建红外气体传感器,从而实现待测气体浓度测量。在单个红外气体传感器的基础上,在相邻四种红外气体传感器之间设置隔离槽和隔离墙以构成红外气体传感器阵列,从而实现对不同类型气体的测量。本发明实现了非接触式温度和不同类型气体的微型化检测。

    一种MEMS压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114235232B

    公开(公告)日:2024-05-31

    申请号:CN202111540862.X

    申请日:2021-12-16

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS压力传感器及其制备方法,包括体硅层、衬底、埋氧层、顶硅层、压敏电阻、应力膜、欧姆接触、金属引线、绝缘介质层、小空腔、大空腔、内惠斯通电桥、外惠斯通电桥;顶硅层内部设有小空腔,体硅层内设有大空腔,压敏电阻位于两个空腔的四边中点的正上方,于顶硅层内。通过设置两套压敏电阻组成的两个位于不同厚度应力膜上的惠斯通电桥,分别测量不同量程范围的压力,在一定程度解决了低量程压力传感器在高压环境时失去线性度,以及高量程压力传感器在低压环境时灵敏度较低的问题,使压力传感器在具有大量程的同时兼顾低压环境的灵敏度;同时由于两个空腔在空间上上下堆叠,节约了芯片面积,提高了集成度。

    一种MEMS压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114235233B

    公开(公告)日:2024-01-05

    申请号:CN202111541027.8

    申请日:2021-12-16

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS压力传感器及其制备方法,主要包括体硅层、埋氧层、顶硅层、压敏电阻、重掺杂区、绝缘介质层、压焊块和钝化层;顶硅层中心位置设有大空腔,并在大空腔四边中心位置的上方设有小空腔;大空腔上方的顶硅层和绝缘介质层构成压力敏感薄膜;压力敏感薄膜上表面设置十字梁结构,在所述的十字梁结构四个端部设置有压敏电阻、重掺杂区和金属引线,各组压敏电阻通过重掺杂区与金属引线形成惠斯通电桥;所述的十字梁结构抑制了压力敏感薄膜的形变,进而提高了线性度;所述的小空腔结构提高了压敏电阻区域的应力集中,使得传感器在保持微型化的同时提高了灵敏度;此外该传感器制备方法与CMOS与MEMS工艺兼容,节约成本。

    可调功率分配比的MEMS五端口环形结及其制备方法

    公开(公告)号:CN115313010A

    公开(公告)日:2022-11-08

    申请号:CN202210978586.3

    申请日:2022-08-16

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明的一种可调功率分配比的MEMS五端口环形结及其制备方法,其主要由五端口环形结和MEMS悬臂梁构成。其中,五端口环形结的第一端口为输入端,第二端口、第三端口、第四端口、第五端口分别位于第一端口两侧且为输出端;MEMS悬臂梁位于第四端口和第五端口在环形结上的等分处,在下极板上施加驱动电压,基于静电原理MEMS悬臂梁的高度下降,即MEMS悬臂梁会与环形结信号线发生接触,使得信号线发生接地短路,从而改变整体电路的拓扑结构,进而调整输出端口的功率分配比。该可调功率分配比的MEMS五端口环形结属于无源器件,且具有微型化和可调节功率分配比等特点,与硅基CMOS工艺兼容,便于集成,成本低廉。

    对称型热电式MEMS微波驻波计及其制备方法

    公开(公告)号:CN111044796B

    公开(公告)日:2022-03-29

    申请号:CN201911412946.8

    申请日:2019-12-31

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明的对称型热电式MEMS微波驻波计通过将两端ACPS传输线的信号线对称分布于主传输线的上下两侧构成一个对称型定向耦合器,将入射和反射微波功率分别提取到上下两条支路的耦合端和隔离端;通过在上下两支路的每个CPW传输线末端分别连接一个热电式MEMS微波功率传感器测量两支路各端口的微波功率,对测得的输出热电压取平均值,可得更准确的入射和反射微波功率,进而得到驻波比的大小;若某条支路停止工作,另一条支路仍可正常工作,即MEMS微波驻波计仍可进行测量,减小了故障率;该对称型热电式MEMS微波驻波计提高了MEMS微波驻波计的可靠性,其采用了全无源结构具有零直流功耗以及与砷化镓单片微波集成电路工艺兼容的特点。

    一种热电式自检测MEMS微波功率分配器及其制备方法

    公开(公告)号:CN111049597B

    公开(公告)日:2022-03-11

    申请号:CN201911393741.X

    申请日:2019-12-30

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明提供了一种热电式自检测MEMS微波功率分配器及其制备方法,所述热电式自检测MEMS微波功率分配器包括位于砷化镓衬底上的微波功分器以及三个MEMS微波功率传感器;所述微波功分器为“T”型对称结构,包括三个端口;每个所述MEMS微波功率传感器通过CPW结构与所述微波功分器的一个端口相连,所述MEMS微波功率传感器用于测量三个所述端口处微波功率大小。本发明在线测量出输入和输出端口处微波功率大小,实现了MEMS微波功率分配器的实时在线功率自检测。

    一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN114088257A

    公开(公告)日:2022-02-25

    申请号:CN202111360679.1

    申请日:2021-11-17

    Applicant: 东南大学

    Abstract: 本发明公开了一种MEMS压阻式压力传感器及其制备方法,在敏感薄膜的上表面和下表面分别制备两个压敏电阻,且在敏感薄膜厚度方向上两组压敏电阻完全重合,并且同一表面的两个压敏电阻分别正对敏感薄膜一组相对边缘的中心位置;敏感薄膜下表面的两个压敏电阻的两端分别通过金属引线与结构上表面的电极层电连接,金属引线上设有绝缘层;四个压敏电阻之间采用惠斯通电桥方式连接。本发明中两组压敏电阻沿敏感薄膜厚度方向垂直分布,且两组压敏电阻在水平方向上均沿同一方向排布,结构具有高度的对称性,解决了压阻排布的不对称性导致传感器输出精度降低的问题。

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