公开(公告)号：CN103777472B

公开(公告)日：2015-07-29

申请号：CN201410029948.X

申请日：2014-01-23

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 朱菁 ,  王健 ,  黄惠杰 ,  张方 ,  杨宝喜 ,  陈明 ,  李璟 ,  魏张帆

IPC分类号： G03F7/20 ,  G02B27/09 ,  G02B27/00

摘要： 一种用于准分子激光光束整形的衍射光学元件设计方法，该方法包括下列步骤：测量入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L；计算衍射光学元件中位相单元的尺寸l；依据入射到衍射光学元件的光束的空间相干长度L，确定衍射光学元件中一个设计单元的周期d；等间隔采样所需远场光强分布，并计算远场振幅分布矩阵Aout；计算设计所需的入射光振幅分布矩阵Ain；采用盖师贝格-撒克斯通算法设计一个设计单元的位相分布矩阵；将周期化得到完整的衍射光学元件位相分布矩阵；评估所设计的衍射光学元件的准分子激光光束整形性能。本发明设计的衍射光学元件具有对入射光束的位置、尺寸形状与光强分布变化不敏感，远场光强分布均匀的特点。

公开(公告)号：CN103309175B

公开(公告)日：2015-06-17

申请号：CN201310227449.7

申请日：2013-06-07

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 张方 ,  朱菁 ,  杨宝喜 ,  黄惠杰 ,  黄立华 ,  曾爱军 ,  胡小邦 ,  刘蕾 ,  张佩 ,  肖艳芬 ,  陈明

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 一种光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法，该装置的构成包括平行光光源、光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元，上述部件的位置关系如下：沿平行光光源发射的平行光束的前进方向依次是同光轴的光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元,所述的对准台供待对准的级联微透镜阵列放置，所述的对准台具有垂直于所述的光轴平移的机构。本发明容易实现，不仅可以用于级联微球面透镜的对准，也可以用于级联微柱面透镜的对准。

公开(公告)号：CN103336367A

公开(公告)日：2013-10-02

申请号：CN201310227448.2

申请日：2013-06-07

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 朱菁 ,  葛丹丹 ,  宋强 ,  李兆泽 ,  张方 ,  曾爱军 ,  黄惠杰 ,  杨宝喜 ,  陈明 ,  李璟

IPC分类号： G02B27/09 ,  G02B27/28

摘要： 一种三维光场调控装置，包括激光器，沿该激光器发出的光束方向依次是同轴的起偏器、衍射光学元件、傅里叶变换透镜、径向偏振光转换器、振幅型波带片和高数值孔径聚焦透镜，所述的衍射光学元件和径向偏振光转换器分别位于所述的傅里叶变换透镜的前焦面和后焦面。本发明可实现长焦深、亚波长、可操控的三维光场。

公开(公告)号：CN103309175A

公开(公告)日：2013-09-18

申请号：CN201310227449.7

申请日：2013-06-07

申请人： 中国科学院上海光学精密机械研究所

发明人： 张方 ,  朱菁 ,  杨宝喜 ,  黄惠杰 ,  黄立华 ,  曾爱军 ,  胡小邦 ,  刘蕾 ,  张佩 ,  肖艳芬 ,  陈明

IPC分类号： G03F7/20

摘要： 一种光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法，该装置的构成包括平行光光源、光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元，上述部件的位置关系如下：沿平行光光源发射的平行光束的前进方向依次是同光轴的光阑、对准台、聚光镜和图像采集单元,所述的对准台供待对准的级联微透镜阵列放置，所述的对准台具有垂直于所述的光轴平移的机构。本发明容易实现，不仅可以用于级联微球面透镜的对准，也可以用于级联微柱面透镜的对准。