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公开(公告)号：CN100510629C
公开(公告)日：2009-07-08
申请号：CN200610116291.6
申请日：2006-09-21
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种双定子静电稳定电磁悬浮微转动陀螺，属于微机电系统技术领域。本发明包括：上基体、上定子、微转子、下定子、下基体、密封圈。微转子是一种导电圆环。上定子设在上基体上，并和上基体形成固定联接；下定子设在下基体上，并和下基体形成固定联接；在下基体的外缘设有密封圈，并和下基体形成固定联接；密封圈和上基体通过键合工艺形成固定联接，在上定子和下定子上，由外而内均依次分布有稳定悬浮线圈外圈、传感电极、联接线稳定悬浮线圈内圈、旋转线圈，下定子中央还设有防粘着柱。本发明中引入了静电电极结构，这种结构能增加微转子悬浮后的侧向刚度及整个微陀螺系统的抗冲击能力，推广微陀螺的应用范围。
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公开(公告)号：CN100451547C
公开(公告)日：2009-01-14
申请号：CN200610024507.6
申请日：2006-03-09
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种双定子电磁悬浮转子微转动陀螺，属于微机电系统技术领域。本发明包括：上基体、上定子、微转子、下定子、下基体、密封圈。微转子是一种导电圆环。上、下基体上采用光刻电镀方法制作的悬浮稳定线圈，传感电极，以及旋转线圈。除了在下定子上有微转子限位柱外，上定子的结构和下定子完全相同。激光加工方法制作的环形微转子采用导电性能好的材料制作而成。本发明提出的电磁悬浮转子微转动陀螺中引入了双定子结构，这种结构能增加微转子的旋转扭矩以及整个微陀螺系统的抗冲击能力，从而能提高的测量精度，推广微陀螺的应用领域。
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公开(公告)号：CN101339029A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200810041679.3
申请日：2008-08-14
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/56
摘要： 本发明公开一种微机电技术领域的具有“回”型柱状体振子磁致伸缩压电陀螺仪，由磁致伸缩振子和驱动电极，输出电极，模态检测电极组成。振子材料为压电材料，为具有正方形通孔的“回”型柱状体。所有电极关于磁致伸缩振子对称分布。利用磁致伸缩振子在一定频率下的特殊模态下的振动作为工作状态，在两个方向上均有磁致伸缩振子的上下表面的特殊位置在运动方向相反。当外界有角速度时，运动方向相反的位置产生方向相反柯氏力，使磁致伸缩振子拉伸或压缩，产生电势，通过检测输出电极上的电势检测外界双轴的角速度。本发明结构简单，抗冲击性强，不需要真空封装，具有方便固定的节点，双轴检敏感，加工工艺简单，不需要高速转动节省功耗。
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公开(公告)号：CN101339028A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200810041678.9
申请日：2008-08-14
申请人： 上海交通大学
IPC分类号： G01C19/56
摘要： 一种微机电技术领域的具有“回”型槽结构压电振子的全固态双轴陀螺仪。本发明由压电振子和驱动电极，输出电极，模态检测电极、悬臂梁组成。压电振子结构为在具有两面正方形的长方体的正方形表面设置“回”型孔、“回”型的内外边界为两个正方形。利用压电体在一定频率下的特殊模态下的特殊振动作为参考振动，此模态压电振子在两个方向上均有特殊位置在上下表面的运动方向相反。当外界有角速度时运动方向相反的位置产生方向相反的柯氏力，引发内应力，最终在输出电极上产生电势。通过输出电极上的电势检测外界双轴的角速度。本发明结构简单，抗冲击性强，不需要真空封装，方便固定，双轴检敏感，加工工艺简单，不需要高速转动节省功耗。
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公开(公告)号：CN101281503A
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200810038182.6
申请日：2008-05-29
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种信息安全技术领域的基于MEMS密码锁和双FPGA的IDE硬盘物理加密系统。本发明中，MEMS密码锁驱动及认证模块与用于物理认证的FPGA专用板通讯，PCI控制器把PCI总线上的指令转化为第一FPGA内部总线端指令，由I/O信号扩展芯片输出控制字到MEMS密码锁驱动电路驱动MEMS密码锁解码，同时产生密钥信号，密钥处理模块读取密钥信号判断是否正确，若正确，发送密钥到第一FPGA，第一FPGA首先给第二FPGA一个有效的使能信号，使其正常工作，然后把密钥传给加密/解密模块，同时第一FPGA给主机一个返回值，启动联接和扫描硬件模块，加密硬盘被识别；若错误，执行MEMS密码锁复位动作，同时传给主机错误密码的信息。
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公开(公告)号：CN101281501A
公开(公告)日：2008-10-08
申请号：CN200810038180.7
申请日：2008-05-29
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种微机电系统技术领域的基于MEMS强链和FPGA技术的移动硬盘加密系统。本发明中，移动硬盘加密卡与身份认证模块进行USB通讯，将认证密码通过I/O接口输出到驱动电路，驱动强链进行解码。同时，强链产生密钥信号，密钥处理模块读取密钥，判断正确码或错误码。若为正确码，密钥处理模块发送密钥到数据加密/解密模块，并返回正常运行信号到主机，身份认证成功。此时，主机识别出该移动硬盘。若为错误码，密钥处理模块发送复位相位到I/O接口，控制强链复位，并返回运行异常信号到主机，身份认证失败，需继续认证。本发明达到通过物理机械式的方法产生密钥，来加密移动硬盘数据信息的目的，安全性能高，使用简便。
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公开(公告)号：CN101216312A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810032476.8
申请日：2008-01-10
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种微机电系统领域的圆形及多环形轴向径向充磁永磁反磁转子静电旋转微陀螺，由上定子、转子和下定子构成，依靠上、下定子中的圆柱形及多环形轴向径向充磁永磁体对反磁转子提供悬浮力和侧向稳定力，实现无控制自稳起支悬浮，利用上下定子的旋转电极与转子形成变电容电机，拉动转子高速旋转，同时又利用上、下定子的轴向检测及反馈电极和下定子侧向检测及反馈电极与转子之间静电力来提高微陀螺的轴向刚度、侧向刚度和抗冲击能力，增强稳定悬浮性能，降低了转子的起支过程和起支控制难度，不需要复杂控制机构即可实现自稳定，功耗小、实现方便，尺寸小，可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的三轴线加速度以及绕X、Y轴二轴角加速度。
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公开(公告)号：CN101216307A
公开(公告)日：2008-07-09
申请号：CN200810032471.5
申请日：2008-01-10
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种微机电系统领域的圆形及多环形轴向充磁永磁反磁转子电荷驰豫旋转微陀螺，由上定子、转子和下定子构成，依靠上、下定子中的圆柱形及多环形轴向充磁永磁体对反磁转子提供悬浮力和侧向稳定力，实现无控制自稳起支悬浮，利用电荷驰豫，不需要转速检测既可以实现转子恒高速转动。同时又利用上、下定子的轴向检测及反馈电极和下定子侧向检测及反馈电极与转子之间静电力来提高微陀螺的轴向刚度、侧向刚度和抗冲击能力，增强稳定悬浮性能，降低了转子的起支过程和起支控制难度，不需要复杂控制机构即可实现自稳定，功耗小、实现方便，尺寸小，可以同时检测包括沿X、Y、Z轴的三轴线加速度以及绕X、Y轴二轴角加速度。
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公开(公告)号：CN100398994C
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200510027717.6
申请日：2005-07-14
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种微机电系统领域的电磁驱动动力调谐挠性转子微陀螺，包括：陀螺转子、上定子、壳体、下定子、驱动转子、轴、两个宝石轴承。上定子、下定子设置在壳体的上部和下部，一个宝石轴承设置在上定子的中心孔处，一个宝石轴承设置在下定子的中心孔处，轴设置在两个宝石轴承上，驱动转子设置在轴上，且驱动转子位于上定子和下定子之间，陀螺转子设置在轴上，且位于上定子之上。本发明工作可靠性及抗振性得到提高，陀螺转子为金属带多孔圆盘，上、下定子为微加工一体化结构，因而，需手工装配的零件少，结构简单，可靠性得到提高。同时，本发明体积小，重量轻，便于实现，可作为方位陀螺使用，应用场合广。
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公开(公告)号：CN100391147C
公开(公告)日：2008-05-28
申请号：CN200410066428.2
申请日：2004-09-16
申请人： 上海交通大学
摘要： 一种微机械信息安全网络认证系统，用于网络安全保护技术领域。包括：PCI插卡、微机械密码鉴码器，PCI插卡插在本地计算机的PCI插槽中，包括：PCI接口控制器、数据传输控制器、微处理器、PCI配置存储器、A/D转换器、随机数产生电路、微马达驱动器，PCI接口控制器与本地计算机相连，PCI接口控制器与PCI配置存储器相连，通过本地总线分别与数据传输控制器和微马达驱动器相连，数据传输控制器与微处理器相连，微处理器的数据口与连有随机数产生电路的A/D转换器相连，微马达驱动器输出与微机械密码鉴码器相连。本发明安全可靠、成本低、实用方便，非常适合政府部门的电子政务和企事业单位涉及网络连接的各种应用场合。
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