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公开(公告)号：CN206533541U
公开(公告)日：2017-09-29
申请号：CN201720106652.2
申请日：2017-01-25
Applicant: 歌尔股份有限公司
IPC: H04R19/04
CPC classification number: H04R19/04
Abstract: 本实用新型公开了一种MEMS麦克风，包括具有背腔的衬底，在所述衬底上设置有由振膜和背极、支撑部构成的平板电容器结构；在所述振膜上设置有泄压装置，在所述振膜与背极之间形成了保压通道，所述振膜上的泄压装置构成了该保压通道的入口。本实用新型的麦克风，通过进入至保压通道内的气压与振膜外界受到的瞬间冲击力进行对抗，来获得二者之间的动态平衡，可以很好地缓冲振膜所受到的冲击力；采用这种结构的泄压方式，使得不用在振膜上进行过多的泄压设计，保证了振膜的可靠性。
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